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公开(公告)号：CN110986765A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911226915.3
申请日：2019-12-04
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及误差测量技术领域，公开了一种背面套刻误差测量方法。其中，该方法包括：通过光刻图形化得到正面对准标记和背面对准标记；对正面对准标记和背面对准标记进行图像采集，得到正面对准标记图像和背面对准标记图像；对正面对准标记图像和背面对准标记图像进行图像处理，得到正面对准标记突出显示的第一图像和背面对准标记突出显示的第二图像；对第一图像和第二图像进行合并处理，得到正面对准标记和背面对准标记合并的新图像；基于新图像中的正面水平测量游标和背面水平测量游标确定背面套刻的水平误差，基于新图像中的正面竖直测量游标和背面竖直测量游标确定背面套刻的竖直误差。由此无需使用额外标尺就可准确测量出背面套刻的实际误差。
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公开(公告)号：CN107782295A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610730782.3
申请日：2016-08-26
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明属于敏感结构，具体涉及一种带调频功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带调频功能的音叉型微机电陀螺敏感结构，包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在布局上呈左右对称布置，并且左部分或右部分呈上下对称布置，左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在检测部分设置调频梳齿组合。本发明的效果是：本发明敏感结构具备调频功能，通过调整调频梳齿上电压的极性和大小可实现对检测模态频率的调节，进而满足对频差的控制需求。
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公开(公告)号：CN119757795A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411943580.8
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供一种温度环境适应性增强的石英振梁加速度计，其中，敏感结构的TO封装不采用常规金属连接的方式固定安装到加速度计壳体，而是通过环形胶体固定到壳体内壁，可以降低外部环境温度变化的影响，提高加速度计的温度性能；电路与敏感结构表头之间安装隔热挡板，可以有效降低电路启动温升导致的敏感结构双梁间的温度梯度，减少加速度计启动时间。
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公开(公告)号：CN119584840A
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411529599.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H10N30/06 , H10N30/082 , H10N30/87 , H10N30/85
Abstract: 本发明提供一种用于石英器件的加工方法及石英器件，加工方法包括：步骤1、石英晶片准备；步骤2、根据所需要获得的石英器件确定需要被去除的区域，并采用激光改性石英晶片上需要被去除的区域；步骤3、在步骤2所得石英晶片的上下表面均制备一层金属膜层；步骤4、金属膜层图形化，确定石英结构图形，该图形与步骤2中激光改性图形大致一致，将需要被去除的区域暴露出来；步骤5、在图形化后的金属膜层表面制备第二层掩膜图形，用于确定电极图形；步骤6、采用化学溶液去除需要被去除的区域；步骤7、腐蚀金属膜层，将第二层掩膜上电极图形转移至金属膜层上；步骤8、去除第二层掩膜。本发明提高了石英结构加工精度及效率。
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公开(公告)号：CN117686740A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311562956.6
申请日：2023-11-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提出了一种石英谐振梁加速度计的温度误差建模和补偿方法，包括在加速度计振梁驱动电路及表头内部各放置一个温度传感器，对两个温度传感器的输出求差作为温度梯度值；在全温范围内选取一系列温度点，对每个温度点上测得的零位和标度因数取均值，作为拟合目标值；使用两个温度传感器的输出值、温度梯度值、温度变化率变量，进行多项式组合、加权，结合目标值进行最小二乘拟合，获得完整的温度补偿模型系数。本发明有效解决了常规温补方法难以减小或消除的温度滞回误差、滞后误差等难题，满足实际工程中如启动速度快、零偏及标度因数全温变化量小、强温度环境适应性等严苛应用要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111943131B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202010678993.3
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明公开了一体化石英振梁侧面电极的加工方法，对石英振梁敏感结构利用喷胶和侧面光刻的方法实现了高精度不同极性侧面电极的加工，并保证了侧面电极的尺寸精度，电极与音叉三维石英结构表面的相对位置误差可控制在±1μm之内，在同一侧面上可形成不同极性的电极且加工误差控制在±2μm以内。
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公开(公告)号：CN111137850B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201911186136.5
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C3/00
Abstract: 本发明一种实现低应力敏感结构贴片工艺的方法，能够解决目前采用环氧树脂等胶类的MEMS器件敏感结构贴片方式所存在的技术问题。该方法包括以下步骤：在MEMS器件管壳上镀上一层金层；在所述金层上制作若干个且按设定布局排列的金球；在所述敏感结构的贴装面镀上一层金层；将敏感结构置于所述MEMS器件管壳上，其中，所述金球与敏感结构的贴装面的金层对准，得到复合结构；在真空和高温环境下，对所述敏感结构施加一定压力，通过金金热压焊工艺实现贴装面与金球的连接以完成敏感结构贴片工艺。
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公开(公告)号：CN111964691B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202010678991.4
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种MEMS惯性器件敏感结构频率测试装置及方法，包括电动XY轴移动台(4)、承片台(2)、压电陶瓷(3)，所述压电陶瓷(3)刚性连接在承片台(2)下方，承片台(2)固定在电动XY轴移动台(4)上。通过信号发生器和功放装置驱动压电陶瓷(3)振动，按照wafer基片敏感结构上的顺序使多普勒测量仪对准其中一支敏感结构的驱动端位置，获得扫频周期内驱动端振动幅值最大点，所对应的频率即为该敏感结构的驱动谐振频率。本发明效率高、成本低。
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公开(公告)号：CN113791241A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202110913158.8
申请日：2021-08-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
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公开(公告)号：CN112607703A
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN202011435359.3
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种用于提升驱动增益的石英音叉敏感结构的制备方法，该制备方法包括：步骤一，根据音叉驱动梁结构设计上下表面具有凹槽结构的音叉敏感结构减薄光刻版图；步骤二，在石英晶片的正反两面均形成Cr/Au/Cr/Au掩膜；步骤三，形成音叉整体结构的Cr/Au/Cr/Au掩膜图形和挠性支撑的Cr/Au掩膜图形；步骤四，形成镂空的音叉结构及挠性支撑石英结构；步骤五，根据音叉敏感结构减薄光刻版图设计具有镂空区域的音叉敏感结构侧面电极加工用遮挡板；步骤六，制备音叉敏感结构的侧面电极和挠性支撑的表面电极引线。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中石英音叉的制备方法无法有效增加石英音叉敏感结构驱动端三维电极有效面积，导致无法有效提升驱动增益的技术问题。
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