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公开(公告)号：KR100767994B1
公开(公告)日：2007-10-18
申请号：KR1020050110592
申请日：2005-11-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 입자빔(particle beam)을 이용한 나노 크기 물질(nanometer-scale material)의 변형 방법 및 그러한 방법을 이용하여 제조되는 나노 공구(nano-tool)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자빔을 이용한 나노 크기 물질의 변형 방법은 나노 크기 물질에 입자빔을 조사하여 상기 나노 크기 물질을 상기 입자빔의 방향으로 휘게 하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用粒子束改性纳米级材料的方法和使用这种方法制造的纳米工具。 与根据本发明的特征在于，粒子束所述纳米级材料的变形经线在所述粒子束的方向上的纳米尺寸的材料照射粒子束的纳米级材料。
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公开(公告)号：KR100679613B1
公开(公告)日：2007-02-06
申请号：KR1020050044794
申请日：2005-05-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 탄소나노튜브 에미터를 구비하는 전계 방출 디스플레이(Field Emmision Display : FED) 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 전계 방출 디스플레이의 에미터 역할을 하는 탄소나노튜브의 지향 방향 및 형상을 이온빔, 특히 집속된 이온빔을 이용하여 조절함으로써 탄소나노튜브 에미터의 전자 방출 효율을 극대화하여 저전압으로도 높은 휘도를 낼 수 있으며, 또한 탄소나노튜브 에미터에 의한 전자 방출을 균일화하여 균일한 휘도를 낼 수 있는 탄소나노튜브 에미터를 구비하는 전계 방출 디스플레이 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 탄소나노튜브 에미터를 구비하는 전계 방출 디스플레이는 하부 기판과, 상기 하부 기판 위에 형성되는 캐소드 전극과, 상기 캐소드 전극에 제공되는 탄소나노튜브 에미터와, 상기 탄소나노튜브 에미터를 둘러싸도록 형성되는 게이트 절연층과, 상기 게이트 절연층 위로 형성되는 게이트 전극과, 상기 게이트 전극과 스페이서에 의해 일정한 간극을 두고 상기 게이트 전극을 상부에서 덮는 전면판과, 상기 게이트 전극을 마주보도록 상기 전면판 아래로 형성되는 애노드 전극과, 상기 애노드 전극에 형성되어 상기 탄소나노튜브 에미터에서 방출되는 전자에 의해 발광되는 형광체층을 포함하며, 상기 탄소나노튜브 에미터는 이온빔의 조사에 의해 상기 탄소나노튜브 에미터의 전자 방출 방향으로 정렬되어 펴진 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101735696B1
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：KR1020150101358
申请日：2015-07-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하며, 상기시료를미세하게수평이동할수 있는시료스캐너; 및상기시료스캐너하부에구비되며상기시료및 시료스캐너를함께수평이동할수 있는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101725137B1
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：KR1020150117737
申请日：2015-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.
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公开(公告)号：KR101725506B1
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170027314A
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：KR1020160150962
申请日：2016-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , G01T1/20 , H01J37/22
Abstract: 본발명은 STEM 영상관찰을위해검출감도와신호대 잡음비가뛰어난복수개의고리형형광검출기(scintillation detector)를이용하여산란여부및 회절각분포에따른영상을고해상도로빠르게획득할수 있는형광검출기에관한것으로, 명시야영상과암시야영상을분리관찰하고전자검출에의해발생된광신호의색상을달리하여광 가이드를통해혼합광을전송한뒤 광분리부로분리하는것이가능하여분해능을높일수 있다. 또한, 후방산란전자영상검출기를좌우대칭또는사방대칭형의형광검출기로하여 3차원영상을획득할수 있는검출기및 이러한검출기능을가지는전자현미경을제공한다.
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公开(公告)号：KR1020170022584A
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：KR1020150117737
申请日：2015-08-21
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/16 , G02B21/0004 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/36 , G02B21/361 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/285 , H01J2237/166 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2808 , H01J2237/2855
Abstract: 본발명은전자, 이온, 중성입자등 입자광축을따라집속되는입자빔이입사하는틈(aperture)을일면에구비하고, 그대향면에광이투과하는탈착형시료홀더를구비하여, 입자빔과광으로시료를관측또는분석할수 있는입자및 광학장치용진공시료실에관한것으로, 전자현미경또는집속이온빔관찰장비의시료실에시료가출입할경우에도시료실내부진공을유지하여관찰시간을단축하고, 광원이나광학경통을시료실내부에삽입하지않고외부에서광학영상을획득할수 있는시료실및 그시료실을구비한광-전자융합현미경을구현한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于颗粒和光学装置的真空样品室，该真空样品室包括：在其一个表面上具有孔，沿着诸如电子，离子和中性的颗粒的光轴聚焦的粒子束 颗粒是事件; 并且在其相对表面上具有透光性的可拆卸的样品保持器，从而能够通过粒子束和光来观察和分析样品。 本发明实现了一种样品室，即使在将样品放入或从电子显微镜或聚焦离子束观察设备的样品室中取出，也能够获得光学图像的同时通过保持真空来减少观察时间 在其外部没有将光源或光学筒插入样品室中; 以及包含样品室的光电子融合显微镜。
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公开(公告)号：KR1020170010229A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：KR1020150101358
申请日：2015-07-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하며, 상기시료를미세하게수평이동할수 있는시료스캐너; 및상기시료스캐너하부에구비되며상기시료및 시료스캐너를함께수평이동할수 있는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101639581B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101618693B1
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140071894
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 현미경의주사신호제어방법에관한것으로, 보다구체적으로는하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 하전입자빔의조사방향을제어하는스캔프로파일을생성하여상기편향기에제공하는주사파형발생기; 및상기편향기에서실제로출력되는전류파형을제어하는주사파형제어부;를포함하는하전입자빔 현미경의주사신호를생성하는방법으로서상기편향기로부터기인하는시료표면의왜곡된영상을개선할수 있는주사신호의제어방법및 이를이용한장치에관한것이다.
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