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公开(公告)号：KR1020100044369A
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：KR1020080103477
申请日：2008-10-22
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/054
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/054
Abstract: PURPOSE: A solar cell is provided to collect the every wavelength of sunlight in order to absorb the sunlight by arranging a photoelectric conversion layer which absorbs a long wavelength and a short wavelength on the front and the rear end of a light collecting unit. CONSTITUTION: A first photoelectric conversion layer(230) absorbs incident sunlight and converts the sunlight to electrical signal. A second photoelectric conversion layer(260) is arranged on the front end of the first photoelectric conversion layer. The second photoelectric conversion layer absorbs the sunlight and converts the sunlight to the electrical signal. A light collection unit(210) is arranged between the first photoelectric conversion layer and the second photoelectric conversion layer.
Abstract translation: 目的：提供一种太阳能电池，用于通过布置在聚光单元的前端和后端上吸收长波长和短波长的光电转换层来收集每一个波长的阳光以吸收太阳光。 构成：第一光电转换层（230）吸收入射的太阳光并将太阳光转换成电信号。 第二光电转换层（260）布置在第一光电转换层的前端。 第二光电转换层吸收太阳光并将太阳光转换成电信号。 第一光电转换层和第二光电转换层之间布置有光收集单元（210）。
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32.发明公开플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈 有权一种柔性太阳能电池的制造方法，由此制造的柔性太阳能电池以及使用该柔性太阳能电池的柔性太阳能电池模块
公开(公告)号：KR1020170113797A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020160036143
申请日：2016-03-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/18 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/0445 , H01L31/0682 , H01L31/186 , H01L31/1892
Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에경화성수지층을형성하는제2단계와, 상기경화성수지층을패터닝하고경화하여, 홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기홀패턴내부에후면전극을형성시키는제4단계와, 상기벌크기판을제거하는제5단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제6단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을적용하여플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시킬수 있도록하였으며, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种生产由此制造方法的柔性太阳能电池和所述柔性太阳能电池，在形成体衬底上的半导体层的第一步骤，以及形成在半导体层上的可固化树脂层的第二步骤，上 ，图案化的第五步骤和固化该可固化树脂层，以及第三步骤，以形成具有孔图案的柔性基片，以及形成在孔图案的内部的背面电极的第四步骤中，去除所述体衬底 并且，包含该步骤6和使用该太阳能电池的柔性柔性太阳能电池模块，所述柔性太阳能电池的第一制造方法和它产生由此形成下面的技术要旨的半导体层中的前电极。 这种做发明是应用具有孔图案的柔性基板，所述柔性基板以改进电性能和热性能使用时的问题是这样可提高太阳能电池的性能，采用设置有这种孔图案的柔性基板的柔性太阳能电池 具有串联连接时要使用的模块化的，可以提供灵活的重量轻的太阳能电池或挠性重量轻的太阳能电池模块，其能够显着减轻重量能够更正背面电极连接问题的问题。
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公开(公告)号：KR101775982B1
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：KR1020150182202
申请日：2015-12-18
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은은 나노와이어를이용한나노패턴메탈메쉬구현공정방법및 이를이용한하이브리드메탈메쉬에관한것으로서, 상기방법은, 기판상에은 나노와이어를분산하고, 제1 임프린트레진을이용하여상기은 나노와이어의패턴을본 뜨는패턴형성단계; 상기제1 임프린트레진에형성된상기패턴을제2 임프린트레진으로찍어내상기패턴을포함한메탈몰드를형성하는단계; 및제3 임프린트레진을포함한투명기판상에, 상기메탈몰드의상기패턴을찍어패턴을형성하고, 스퀴징(Squeezing) 및열 경화(Thermal Curing) 공정을거쳐메탈메쉬를형성하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101734077B1
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020150188846
申请日：2015-12-29
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/068 , H01L31/046 , H01L31/18 , H01L21/027 , H01L21/3213
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은다중접합태양전지및 그제조방법에관한것이다. 본발명에따른다중접합태양전지의제조방법은, 기판의상면에하부, 중부, 상부태양전지층및 포토레지스트층을차례로적층형성하는단계와; 포토레지스트층및 그하부의상부태양전지층의일부를각각메사식각하는단계와; 상부태양전지층의식각후, 포토레지스트를리플로우하고열처리하여식각된상부태양전지층을포토레지스트로보호하는단계와; 상부태양전지층하부에위치하는중부태양전지층의일부를식각한후, 포토레지스트를리플로우하고열처리하여식각된중부태양전지층을포토레지스트로보호하는단계와; 중부태양전지층하부에위치하는하부태양전지층의일부를식각하는단계; 및상부태양전지층위에위치하는포토레지스트층과, 상기식각부보호용으로형성된포토레지스트를제거하여다중접합태양전지구조체를완성하는단계를포함한다. 이와같은본 발명에의하면, 다중접합태양전지의제조공정에다단계습식식각공정을도입함으로써, 메사습식식각공정에서의언더컷발생문제를해결하여메사습식식각공정으로인한활성면적감소를원천적으로방지할수 있고, 이에따라태양전지의효율저하문제를근본적으로해결할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种多结太阳能电池及其制造方法。 按照本发明制造键合的太阳能电池的方法包括：形成下部，中部，并依次层叠顶部太阳能电池层和所述衬底的所述顶表面上的光致抗蚀剂层的工序; 分别在光致抗蚀剂层下方蚀刻光致抗蚀剂层和部分上太阳能电池层; 在蚀刻上太阳能电池层之后，回流并热处理光致抗蚀剂以用光致抗蚀剂保护蚀刻的上太阳能电池层; 进一步包括：蚀刻，其位于顶太阳能电池层底部中央的太阳能电池层的一部分，保护所述中心太阳能电池层蚀刻所述回流热处理，并在光致抗蚀剂和光致抗蚀剂之后; 蚀刻位于中间太阳能电池层下方的下部太阳能电池层的一部分; 以及形成顶部太阳能电池层上，除去蚀刻保护部形成光致抗蚀剂，包括步骤完成的多结太阳能电池结构的光致抗蚀剂层。 因此，根据如本发明，通过在结太阳能电池的制造过程中引入的多步骤湿蚀刻工艺多，台面湿法蚀刻工艺eseoui并能解决底切问题，从根本上防止活性区域由于台面湿法蚀刻工艺减小， 因此，可以从根本上解决降低太阳能电池效率的问题。
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公开(公告)号：KR1020170047721A
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150148153
申请日：2015-10-23
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은집광형태양광발전방법및 시스템에관한것으로서, 상기방법은태양추적방식에따라태양의황도를계산하여태양전지판을조정하는단계, 상기태양전지판을구성하는하나이상의단위모듈에서태양광을집광하는단계,단위모듈에장착된온도센서를이용하여, 온도분포를측정하는단계및 측정한온도분포결과에따라하나이상의단위모듈을보정하는단계를포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101672396B1
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：KR1020140165305
申请日：2014-11-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L29/778
CPC classification number: H01L29/778
Abstract: 본발명에따른갈륨면 4원계질화물전력반도체소자는기판위에형성된질화갈륨버퍼층, 질화갈륨버퍼층위에형성된 4원계질화물층, 상기 4원계질화물층위에형성된질화갈륨캡층을포함하고, 4원계질화물층의조성비를조절함으로써분극방향이 4원계질화물층의상면을향하도록형성하여 2차원전자가스가상기 4원계질화물층의상단에형성되는것을특징으로한다. 상기 4원계질화물은 In, Al, Ga 및 N의 4종류의원소로이루어지고, In과 Al은소정의조성비를가짐으로써상기 4원계질화물층에압축응력이작용하여상기 4원계질화물층의분극이상부방향을향하도록조절된다.
Abstract translation: 根据本发明的镓表面季氮化物功率半导体器件包括：形成在衬底上的氮化镓缓冲层; 形成在氮化镓缓冲层上的第四氮化物层; 以及形成在所述第四氮化物层上的氮化镓覆盖层，其中通过调节所述第四氮化物层的组成比使得偏振方向面向所述顶表面的方式，在所述第四氮化物层的顶端上形成二维电子气 的氮化物层。 四氮化物由In，Al，Ga和N等四种元素组成，其中In和Al具有预定的组成比，相应地将压应力施加到第四氮化物层，并且四氮化物层的极化 被调整为面向其顶部。
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公开(公告)号：KR1020160062795A
公开(公告)日：2016-06-03
申请号：KR1020140165305
申请日：2014-11-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L29/778
CPC classification number: H01L29/778 , H01L29/7781 , H01L29/7782 , H01L29/812
Abstract: 본발명에따른갈륨면 4원계질화물전력반도체소자는기판위에형성된질화갈륨버퍼층, 질화갈륨버퍼층위에형성된 4원계질화물층, 상기 4원계질화물층위에형성된질화갈륨캡층을포함하고, 4원계질화물층의조성비를조절함으로써분극방향이 4원계질화물층의상면을향하도록형성하여 2차원전자가스가상기 4원계질화물층의상단에형성되는것을특징으로한다. 상기 4원계질화물은 In, Al, Ga 및 N의 4종류의원소로이루어지고, In과 Al은소정의조성비를가짐으로써상기 4원계질화물층에압축응력이작용하여상기 4원계질화물층의분극이상부방향을향하도록조절된다.
Abstract translation: 根据本发明的第四氮化物功率半导体器件包括：形成在衬底上的氮化镓缓冲层; 形成在氮化镓缓冲层上的第四氮化物层; 以及形成在所述第四氮化物层上的氮化镓覆盖层。 通过控制四氮化物层的组成比，形成了与氮化物层的上表面相对的极化方向，使得在氮化物层的上端形成二次电子气。 四氮化物由In，Al，Ga和N等四种元素组成，其中In和Al具有预定的组成比，由此对氮化物层施加压缩应力，使得氮化物层的极化 被控制以面向上方向。
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公开(公告)号：KR1020150073645A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：KR1020130161605
申请日：2013-12-23
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: B82B3/0095 , B29C67/00
Abstract: 본발명은비대칭형나노구조체의형성방법에관한것으로서, 기판또는박막상에임프린트층을형성하는제1단계와, 상기임프린트층상에가변형임프린트용스탬프를위치시켜, 상기가변형임프린트용스탬프의패턴을변형시키기위한압력또는방향으로가변형임프린트용스탬프를가압하고, 경화공정을수행하여비대칭패턴층을형성하는제2단계와, 상기비대칭패턴층의잔류막을제거하여기판또는박막의일부영역을노출시키는제3단계와, 상기노출된기판또는박막영역및 비대칭패턴층상에금속또는금속산화물을증착하는제4단계와, 상기비대칭패턴층을제거하여기판또는박막상에금속또는금속산화물패턴을형성하는제5단계를포함하여구성되는것을특징으로하는비대칭형금속또는금속산화물나노구조체의형성방법을기술적요지로한다. 이에의해간단한공정에의해대면적의비대칭형금속또는금속산화물나노구조체를얻을수 있으며, 상기가변형임프린트용스탬프의압력또는방향에따라패턴의비대칭성정도를조절할수 있어다양한분야에활용할수 있는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及不对称金属或金属氧化物纳米结构体的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：在基板或薄膜上形成压印层的第一工序; 用于在压印层上定位可变压印印模的第二步骤，以适于转换可变印记印模图案的压力和方向按压可变印记印模，并在其上进行固化处理以形成不对称图案层; 用于去除所述不对称图案层的残留膜以暴露所述衬底或所述薄膜的一部分的第三步骤; 第四步，用于在基板或薄膜的暴露部分上去除金属或金属氧化物; 以及用于去除所述不对称图案层以在所述基板或所述薄膜上形成金属或金属氧化物图案的第五步骤。 因此，可以制造大面积不对称金属或金属氧化物纳米结构。 此外，可以根据可变印记印模的压力或方向来调整图案的不对称程度，由此本发明可以用于各种领域。
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公开(公告)号：KR1020150073641A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：KR1020130161597
申请日：2013-12-23
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은전기도금장치및 그방법에관한것으로서, 기판을수용하는도금조와, 상기기판의피도금면에대향되어위치하며, 도금금속이연결되는양극과, 상기양극과상기기판과의사이에소정의전기장이형성되도록상기기판과연결되는음극을포함하여구성된전기도금장치에있어서, 기판에전압을인가하는전원공급부와, 상기전원공급부에직렬연결된가변저항부와, 상기가변저항부및 상기기판에병렬연결된바이패스부와, 상기전원공급부, 가변저항부및 바이패스부와연결되어상기기판에인가되는전압및 전류밀도를제어하는제어부를포함하여이루어진것을특징으로하는전압과전류밀도를제어할수 있는전기도금장치및 그전기도금방법을기술적요지로한다. 이에의해전기도금공정을진행함에있어, 최적도금공정이가능한전압과전류밀도를동시에제어할수 있어고품질의도금공정의수행이가능한이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够控制电压和电流密度的电镀装置及其方法。 在具有接受基板的电镀槽的电镀装置中，与基板的电镀面相对的阳极和连接有电镀金属的阳极和连接到基板的阴极在阳极和基板之间形成电场 根据本发明的电镀装置包括：用于向基板施加电压的电源部件; 串联地连接到电源部分的可变电阻部分; 旁路部分并联连接到可变电阻部分和基板; 以及连接到电源部分，可变电阻部分和旁路部分的控制部分，以控制施加到基板的电压和电流密度。 因此，本发明可以通过在执行电镀工艺时同时控制电压和电流密度以实现最佳电镀工艺，从而进行高质量的电镀工艺。
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公开(公告)号：KR101508185B1
公开(公告)日：2015-04-07
申请号：KR1020130137855
申请日：2013-11-13
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: G03F7/0037 , G03F7/0002 , G03F7/0035 , G03F7/0045
Abstract: 본발명에따르면기판또는박막의상부에감광성금속-유기물전구체층을형성하는감광층형성단계; 상기감광성금속-유기물전구체층을 1차광을사용하여포토리소그래피하며, 상기 1차광은완전경화도즈(Dose) 보다낮고임계도즈보다높은강도로조사하는메타-포토리소그래피단계; 상기감광성금속-유기물전구체층에패턴이형성된임프린트용스탬프로가압하여패턴을형성하는임프린팅단계; 상기감광성금속-유기물전구체층에완전경화도즈이상으로 2차광또는열을조사하여금속산화박막패턴층을형성하는포토리소그래피완료단계; 상기임프린트용스탬프를상기금속산화박막패턴층으로부터제거하고현상(Developing)하는단계를포함하는것을특징으로하는 3차원금속산화물구조체제조방법을제공한다. 이를통해일회의현상공정을통해두 가지패턴을함께새길수 있고, 임프린팅단계에서압력의집중이일어나지않아서공정을단순화하고패턴을정밀하게새길수 있다.
Abstract translation: 根据本发明，提供了一种三维金属氧化物结构体的制造方法。 该方法包括在基板或薄膜的上侧形成感光金属 - 有机材料前体层的感光层形成步骤; 使用以强度低于完全固化剂量并高于阈值剂量发射的第一光进行感光金属 - 有机材料前体层上的光刻的元光刻步骤; 通过用感光金属 - 有机材料前体层压印印模来形成图案的压印步骤; 通过用强度为全固化剂量或更高的第二光照射感光金属 - 有机材料前体层或通过向感光金属 - 有机材料前体层提供热量来形成金属氧化物薄膜图案层的光刻精加工步骤; 以及从感光金属氧化物薄膜图案层去除印模的印模并显影感光金属氧化物薄膜图案层的显影步骤。 通过本发明的方法，可以通过一个显影步骤将两个图案印刷在一起，并且在印刷步骤期间压力不集中在一个区域上。 因此，可以简化处理，并且可以精确地印刷图案。
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