Verkapseltes MEMS-Bauelement und zugehöriges Herstellungsverfahren

    公开(公告)号:DE102014216223B4

    公开(公告)日:2022-08-25

    申请号:DE102014216223

    申请日:2014-08-14

    Abstract: Verkapseltes MEMS-Bauelement (100), das Folgendes umfasst:eine Einbettungsanordnung (170, 252), die eine Vergussmasse (252) umfasst;ein MEMS-Bauelement (110), das in die Vergussmasse (252) der Einbettungsanordnung (170, 252) eingebettet ist, wobei das MEMS-Bauelement (110) eine Membran (112) und eine Elektroden-Rückplatte (114) zur Schallwandlung aufweist, und wobei die Vergussmasse (252) die Membran (112) und die Elektroden-Rückplatte (114) verankert;einen Schalldurchgang (180), der in der Einbettungsanordnung (170, 252) angeordnet ist, wobei der Schalldurchgang (180) akustisch mit dem MEMS-Bauelement (110) gekoppelt ist; undein Gitter (172), das in dem Schalldurchgang (180) angeordnet ist.

    Verfahren zum Herstellen von Halbleitervorrichtungen

    公开(公告)号:DE102008028072B4

    公开(公告)日:2018-01-11

    申请号:DE102008028072

    申请日:2008-06-12

    Abstract: Verfahren, aufweisend: Anordnen eines ersten Halbleiterchips (101) auf einem Träger (119), wobei eine aktive Hauptoberfläche des ersten Halbleiterchips (101) dem Träger (119) zugewandt ist; Bedecken des ersten Halbleiterchips (101) mit einer Pressmasse (102), wobei die dadurch erzeugte Pressmassenschicht (102) eine erste Hauptfläche (105) und eine der ersten Hauptfläche (105) gegenüber liegende zweite Hauptfläche (104) aufweist; Entfernen des Trägers (119) nach dem Bedecken des ersten Halbleiterchips (101) mit der Pressmasse (102); Abscheiden einer Maskierschicht (120) auf der aktiven Hauptoberfläche des ersten Halbleiterchips (101) nach dem Entfernen des Trägers (119); Ausbilden eines Durchgangslochs (103) in der Pressmasse (102); Abscheiden einer Metallschicht (121) gleichzeitig auf der ersten und zweiten Hauptfläche (104, 105) der Pressmassenschicht (102); Entfernen der Maskierschicht (120) nach dem Abscheiden der Metallschicht (121); und Abscheiden eines Lötmaterials (106) in das Durchgangsloch (103).

    Halbleiter-Bauelement
    38.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102010016696B4

    公开(公告)日:2014-10-09

    申请号:DE102010016696

    申请日:2010-04-29

    Abstract: Halbleiter-Bauelement, das Folgendes umfasst: einen Halbleiterchip, der eine erste Fläche und eine zweite Fläche gegenüber der ersten Fläche definiert, wobei der Halbleiterchip mindestens ein Kontaktelement auf der ersten Fläche des Halbleiterchips umfasst; einen Kapselungskörper, der den Halbleiterchip kapselt, wobei der Kapselungskörper eine erste Fläche und eine zweite Fläche gegenüber der ersten Fläche aufweist; eine Umverdrahtungsschicht, die sich über den Halbleiterchip und die erste Fläche des Kapselungskörpers erstreckt und eine Metallisierungsschicht enthält, die Kontaktbereiche umfasst, die mit den Kontaktelementen des Halbleiterchips verbunden sind; und ein Array von externen Kontaktelementen, die sich auf der zweiten Fläche des Kapselungskörpers befinden, gekennzeichnet durch eine Funktionsschicht, welche über der Metallisierungsschicht aufgebracht ist, wobei der Halbleiterchip auf der ersten Fläche mindestens ein weiteres Kontaktelement aufweist, welches mit der Funktionsschicht verbunden ist.

    Verfahren und Herstellung eines Elektronikmoduls und Elektronikmodul

    公开(公告)号:DE102013108967A1

    公开(公告)日:2014-02-27

    申请号:DE102013108967

    申请日:2013-08-20

    Abstract: KURZDARSTELLUNG DER OFFENBARUNG Eine Anzahl von Halbleiterchips beinhaltet jeweils eine erste Hauptseite und eine der ersten Hauptseite gegenüberliegende zweite Hauptseite. Die zweite Hauptseite beinhaltet mindestens ein elektrisches Kontaktelement. Die Halbleiterchips werden auf einen Träger platziert. Eine Materialschicht wird in die Zwischenräume zwischen benachbarten Halbleiterchips eingebracht. Der Träger wird entfernt, und eine erste elektrische Kontaktschicht wird auf die ersten Hauptseiten der Halbleiterchips aufgebracht, so dass die elektrische Kontaktschicht elektrisch mit jedem der elektrischen Kontaktelemente verbunden ist.

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