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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170095757A
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR1020170020584
申请日：2017-02-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Inventor： 가와부치요스케 , 다치바나고우조우 , 나카모리미츠노리 , 오오이시고타로 , 에가시라게이스케 , 다나카고지 , 이나도미히로아키 , 야마시타마사미 , 후쿠다요시테루 , 야마시타고지 , 츠리후네유 , 마스즈미다쿠로
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/324
Abstract: 기판의표면의발수화처리를행하면서, 기판의패턴내에존재하는순수나발수화제의제거를제거하여건조한기판을신속하게얻는것이가능한액 처리방법등을제공한다. 수평으로유지된기판(W)에대하여순수를공급한후, 기판(W)의건조를행하는데 있어서, 제1 용제공급공정에서는순수공급후의기판(W)의표면에제1 용제를공급하고, 그후의발수화제공급공정에서는기판(W)의표면에발수화제를공급한다. 제2 용제공급공정에서는발수화된후의기판(W)의표면에제2 용제를공급하고, 그후의건조공정에서기판(W)의표면의제2 용제를제거한다. 그리고제1 용제의비중은, 상기발수화제의비중보다작고, 상기제2 용제의비중은, 상기발수화제의비중보다크다.
Abstract translation: 液体处理方法等能够通过除去存在于基板图案中的纯水蒸发剂，同时对基板表面进行防水处理，从而迅速除去干燥的基板。 在第一溶剂供应步骤中供应纯水之后，将第一溶剂供应至基板W的表面，以便在将纯水供应至水平保持的基板W之后干燥基板W， 在随后的供应防水剂的步骤中，防水剂被供应到基板W的表面。 在第二溶剂供应步骤中，第二溶剂在防水之后供应到基板W的表面，并且在随后的干燥步骤中从基板W的表面去除第二溶剂。 第一溶剂的比重小于防水剂的比重，第二溶剂的比重大于防水剂的比重。
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公开(公告)号：KR1020160120206A
公开(公告)日：2016-10-17
申请号：KR1020160039068
申请日：2016-03-31
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/02057 , H01L21/67017 , H01L21/67028 , H01L21/02054 , H01L21/02046 , H01L21/02052 , H01L21/67034 , H01L21/6704
Abstract: 본발명은, 기판의패턴붕괴를억제할수 있음과함께, 기판처리장치내의분위기온도를일정하게유지할수 있는기판처리방법및 기판처리장치를제공하는과제로한다. 실시형태의일 양태에따른기판처리방법은, 발수화제공급공정과, 린스공정과, 건조공정을포함한다. 발수화제공급공정은, 미리설정된제1 정해진온도까지가열된후, 제1 정해진온도보다낮은제2 정해진온도가된 발수화제를기판에공급한다. 린스공정은, 발수화제공급공정후의기판에대하여린스액을공급한다. 건조공정은, 린스공정후의기판의린스액을제거한다.
Abstract translation: 公开了一种基材处理方法，其包括拒水性步骤，漂洗步骤和干燥步骤。 在拒水性步骤中，将被加热到第一预定温度然后达到比第一预定温度低的第二预定温度的拒水剂供应到基底。 在漂洗步骤中，在拒水步骤之后，向基材供给冲洗液。 在干燥步骤中，去除漂洗步骤后的基材上的漂洗液。
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公开(公告)号：KR1020170102815A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：KR1020170026263
申请日：2017-02-28
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L21/02101 , B08B7/0021 , C09K3/00 , H01L21/02057 , H01L21/67017 , H01L21/67028 , H01L21/67034 , H01L21/67109
Abstract: [과제] 본발명은, 초임계유체또는아임계유체의공급원이되는액체로서하이드로플루오로올레핀을포함하는초임계처리용액을사용하여, 기판을건조시킬수 있는기판처리장치를제공하는것을목적으로한다. [해결수단] 기판처리장치(1)에있어서, 기판(W2)을챔버(510) 내에수용하기전 또는수용한후에, 초임계처리용액 공급부(57a, 57b)에의해기판(W2)에대하여하이드로플루오로올레핀을포함하는초임계처리용액(G)을공급하고, 이어서, 기판(W2)을챔버(510) 내에수용한상태에서가열부(52)에의해챔버(510) 내부를가열함으로써기판(W2)에대하여공급된초임계처리용액(G)을초임계유체또는아임계유체로변화시키고, 이어서, 배출부(54)에의해초임계유체또는아임계유체를챔버(510)로부터배출한다.
Abstract translation: [问题]本发明中，第二作为液体是一个临界流体或通过使用含有烯烃的氢 - 氟的超临界处理溶液的超临界流体的子源，本发明是提供一种sikilsu干燥基板为目的的基板处理装置 。 在基板处理装置1中，在将基板W2收容于腔室510内之前或收纳基板W2之后，超临界处理液供给部57a， 在将基板W2收纳在腔室510内的状态下，利用加热部52对腔室510内进行加热，从而对基板W2进行加热。接着， （G）输送到超临界流体或浸没流体，然后将海藻临界流体或亚临界流体从腔室（510）排放到排放端口（54）。
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公开(公告)号：KR1020170042251A
公开(公告)日：2017-04-18
申请号：KR1020160129859
申请日：2016-10-07
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/0206 , B08B3/08 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67028 , H01L21/67051
Abstract: 본발명은, 이면에얼룩이없는기판을제공하는것을목적으로한다. 실시형태에따른기판처리방법은, 제1 면세정공정과, 제2 면세정공정과, 수분제거공정과, 발수화공정과, 건조공정을포함한다. 제1 면세정공정은, 기판에있어서의제1 면에대하여, 수분을포함한제1 세정액을공급한다. 제2 면세정공정은, 제1 면과는반대측의면인제2 면에대하여, 수분을포함한제2 세정액을공급한다. 수분제거공정은, 제2 면세정공정후, 기판에있어서의제2 면에잔존하는수분을제거한다. 발수화공정은, 수분제거공정후, 기판에있어서의제1 면에대하여발수화제를공급한다. 건조공정은, 발수화공정후, 기판을건조시킨다.
Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种在其背面上没有不平整的衬底。 根据实施例的基板处理方法包括第一表面清洁步骤，第二表面清洁步骤，除水步骤，防水步骤和干燥步骤。 第一表面清洁步骤将含有水的第一清洁液供应到基板的第一表面。 在第二表面清洁步骤中，将含有水的第二清洁液体供应到基板的与第一表面相对的表面的两个表面。 除水步骤在第二掩模挤压孔之后去除残留在基板的第二表面上的水分。 在除水步骤之后，防水步骤将防水剂供应到基底的第一表面。 在干燥步骤中，基底在防水步骤后干燥。
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公开(公告)号：KR1020150125586A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：KR1020150057995
申请日：2015-04-24
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67051 , B05B12/14 , B05C11/115 , H01L21/306 , H01L21/31 , H01L21/67017 , H01L21/6715
Abstract: 노즐내에서의가수분해열화에따른실릴화액의폐기량을저감한다. 노즐(43) 내의실릴화액유로(431)에차단유체를공급함으로써, 실릴화액유로내에있는실릴화액보다토출구(434)에가까운측에존재하는차단유체에의해실릴화액유로내에있는실릴화액을토출구의외부의분위기로부터차단한다.
Abstract translation: 由于喷嘴中的水解劣化引起的消耗的甲硅烷基化液体的量减少。 向喷嘴（43）中的甲硅烷基化液体流路（431）供给封闭流体，以通过存在于更靠近排出口的一侧的阻塞流体从排出孔的外部气氛中阻断甲硅烷醇化液体流路中的甲硅烷基化液体 （434）比硅烷化液体流路中的甲硅烷基化液体。
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