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公开(公告)号：CN117961366A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311644662.8
申请日：2023-12-04
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B23K37/00
Abstract: 本发明提供一种用于MEMS器件的快速封焊装置，该装置包括温控模块；石墨工装；压力控制系统，包括配重支撑板，与多个定位槽一一对应设置的多个配重柱，与多个配重柱一一对应设置的多个弹性件和弧形阵列盖板组件，多个配重柱均穿设在所述配重支撑板上，多个配重柱与多个MEMS器件一一对应设置，任意所述配重柱上开设有空腔，所述弹性件放置在对应空腔内，所述弧形阵列盖板组件由弧形阵列盖板和多个施力柱组成，所述弧形阵列盖板凸起的一面朝向所述配重柱设置，多个施力柱设置在所述弧形阵列盖板凸起的一面上，且由中心向外围，所述施力柱的长度呈增大趋势；多个施力柱与多个配重柱一一对应设置，所述施力柱置于对应配重柱空腔内，以对弹性件施加压力。
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公开(公告)号：CN111964690A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010678964.7
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种石英音叉陀螺表头筛选测试装置，包括工装外壳结构(2)、表头安装支架(12)、测控电路(4)、减振组件、锁紧组件、圆孔插座、柔性金属带。石英音叉陀螺表头(1)通过锁紧组件安装在表头安装支架(12)上，所述表头安装支架(12)通过金属带(6)与测控电路(4)的电源地信号连接。所述表头安装支架(12)通过减振组件实现同工装外壳结构(2)的固连。在表头安装支架(12)对应表头对外引线位置处进行开孔，孔内布置圆孔插座，表头引线插入圆孔插座，圆孔插座引线端通过柔性金属带与测控电路(4)连接。本发明用于石英音叉陀螺表头筛选，有效抑制了测试的干扰误差，提高了测试效率。
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公开(公告)号：CN109848569A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711224703.2
申请日：2017-11-29
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B23K26/362 , B23K26/12
Abstract: 本发明属于微加工技术领域，涉及一种MEMS硅结构的激光刻蚀方法；该方法包括以下步骤：激光束经物镜对硅材料表面进行局部辐照，硅材料吸收部分能量后被加热；辐照区域表面融化成熔融区，被融化的部分硅材料汽化成烟流和熔融飞溅物，被融化的部分散落在硅材料加工表面形成固体飞溅物；激光辐照结束，硅材料冷凝，硅材料辐照区域呈现热影响区和裂痕。本发明在不改变激光束平均功率和脉宽的条件下，通过减小激光器重复频率、提高单次脉冲能量可减少重铸层影响和周围飞溅物污染；通过离焦量补偿，获得最大的局部辐照强度、最小的刻蚀直径并减轻刻蚀飞溅；通过辅助真空环境，减少激光传递过程中的耗散，获得相对较高的辐照强度并减少热影响区。
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公开(公告)号：CN106908626A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510979830.8
申请日：2015-12-23
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。
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公开(公告)号：CN106153026A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201510144495.X
申请日：2015-03-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种微机电陀螺。一种音叉型微机电陀螺，其中，包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在布局上呈左右对称布置，并且左部分或右部分呈上下对称布置，左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分。本发明的效果是：能够抑制耦合误差，减小能量损失、获取高灵敏度，解决无耦合和低耦合引起的相差、频差难题，提高陀螺的环境适应能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103256926A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201210040745.1
申请日：2012-02-21
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明属于石英音叉，具体涉及一种石英音叉止挡结构。它包括一种石英音叉止挡结构，包括底座、支撑框和上盖，石英音叉位于底座、支撑框和上盖组成的腔体内部。本发明的显著效果是：(1)提高石英音叉抗冲击性能；(2)整个止挡为全石英结构，其加工工艺与现有的石英音叉微加工工艺相兼容，易于批量化实现；(3)保证粘接时装配间隙的均匀性；(4)实现对止挡间隙均匀性误差的精确控制(±2μm以内)；(5)引入装配工装，并结合止挡结构的晶向确定定位基准，实现对平面定位误差的精确控制(±20μm以内)。
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公开(公告)号：CN119786122A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411778104.5
申请日：2024-12-05
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种用于微惯性器件信号传输的柔性导电材料，该导电材料包括成型剂和骨料，其中成型剂采用聚氯脂和硅橡胶混合而成；骨料由低熔点的微米级金属铟、银粉和碳粉组成。与常规连接方式相比，采用本发明方案在保证导电功能正常的同时，可提供良好的抗振动和抗冲击能力。
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公开(公告)号：CN114994362B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
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公开(公告)号：CN117842930A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311648758.1
申请日：2023-12-04
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种用于惯性MEMS器件的敏感结构加工方法，该加工方法包括：步骤一、在衬底正面加工N个第一槽，用于对应待增厚的敏感结构释放；步骤二、在衬底正面除第一槽的位置加工引线；步骤三、在敏感结构层背面刻蚀第二槽，第二槽用于除待增厚的敏感结构之外的敏感结构释放；敏感结构层背面未加工第二槽的位置作为锚点；待增厚的敏感结构所在的位置需预留出锚点；步骤四、将敏感结构层背面与衬底正面进行键合，其中，任意第一槽与对应待增厚的敏感结构所在的位置的锚点正对，不发生键合；步骤五、对敏感结构层正面进行结构刻蚀，加工器件的敏感结构。本发明可以在保证非增厚敏感结构加工精度的条件下增大待增厚敏感结构厚度。
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公开(公告)号：CN114427854B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202210019836.0
申请日：2022-01-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种微机电陀螺正交耦合误差抑制电路，包括：C/V转换电路、放大电路、可调移相电路、相敏解调电路、控制器以及反馈加力电路；C/V转换电路根据检测电容阵列产生的电流信号转换成电压信号；放大电路与C/V转换电路连接以放大电压信号；可调移相电路用于相位调整输出解调波；相敏解调电路分别与放大电路和可调移相电路连接以根据放大后的电压信号和解调波进行相敏解调；控制器与相敏解调电路连接以根据相敏解调后的电压信号输出控制信号；反馈加力电路与控制器连接以根据控制信号向微机电陀螺的检测电容阵列输出正交抑制电压。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中微机电陀螺的正交耦合误差大导致微机电陀螺的综合性能降低的技术问题。
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