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公开(公告)号：CN110440798B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201910638589.0
申请日：2019-07-16
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种高精度集成化微惯性测量单元及惯性导航系统，该微惯性测量单元包括：电路模组、柔性部件和安装骨架，电路模组包括综合信息处理电路模块、陀螺电路模块单元和加速度计电路模块单元，柔性部件用于电连接电路模组中的任意两个电路模块以实现电路模组的一体化，电路模组中的七个电路模块一一对应设置在七个安装台面上。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中因陀螺和加速度计的台体构造和互连部件较为复杂所导致的在同等精度条件下微惯性测量单元体积较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN112658457A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011435358.9
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种带有减振功能的MEMS器件热压键合方法及工装，该方法包括：1)将载带支撑板固定在工装底板上；2)将载带放置在载带支撑板上；3)将载带压板放置在载带上；4)将载带金属腿压板放置在载带压板上以对载带的金属腿整形；5)取出整形后的载带；6)将传感器敏感结构固定在工装底板上；7)在传感器敏感结构上进行植球；8)对金球进行墩压；9)对准整形后的载带与顶部平整的金球；10)进行热压键合；11)分离工装底板和载带支撑板；12)对热压键合后的载带和传感器敏感结构组件进行外观检查和电气检查。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中带有减振功能的MEMS低应力贴片方法存在制备工艺复杂且制备精度和可靠性低的技术问题。
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公开(公告)号：CN110567450B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201910788548.X
申请日：2019-08-26
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5614 , G01C19/5621 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法，该参数匹配方法包括：获取MEMS哥氏振动陀螺仪的表头机械参数；根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成对MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置；依次对MEMS哥氏振动陀螺仪的各项性能进行测试和判断，若任一性能不满足预设的性能指标，则返回调整ASIC电路参数以优化MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置直至各项性能均满足预设的性能指标以完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配。应用本发明的技术方案，能够快速、全面且有效的完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配，使得MEMS哥氏振动陀螺仪的性能指标符合性能要求。
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公开(公告)号：CN111964691A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010678991.4
申请日：2020-07-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种MEMS惯性器件敏感结构频率测试装置及方法，包括电动XY轴移动台(4)、承片台(2)、压电陶瓷(3)，所述压电陶瓷(3)刚性连接在承片台(2)下方，承片台(2)固定在电动XY轴移动台(4)上。通过信号发生器和功放装置驱动压电陶瓷(3)振动，按照wafer基片敏感结构上的顺序使多普勒测量仪对准其中一支敏感结构的驱动端位置，获得扫频周期内驱动端振动幅值最大点，所对应的频率即为该敏感结构的驱动谐振频率。本发明效率高、成本低。
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公开(公告)号：CN119786122A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411778104.5
申请日：2024-12-05
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种用于微惯性器件信号传输的柔性导电材料，该导电材料包括成型剂和骨料，其中成型剂采用聚氯脂和硅橡胶混合而成；骨料由低熔点的微米级金属铟、银粉和碳粉组成。与常规连接方式相比，采用本发明方案在保证导电功能正常的同时，可提供良好的抗振动和抗冲击能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119779349A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411867734.X
申请日：2024-12-18
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种用于石英音叉陀螺仪的静电耦合抑制电路，包括：石英音叉传感器、驱动与幅值控制电路、反相电路、补偿电路、角速度检测电路和解调滤波电路；石英音叉传感器输出信号分别指驱动与幅值控制电路以及角速度检测电路，驱动与幅值控制电路根据输入信号生成驱动信号，驱动信号还分别输入至反相电路以及解调滤波电路；反相电路根据驱动信号产生与其同频反相的驱动反相信号，驱动信号和驱动反相信号经过补偿电路后生成静电耦合补偿信号，并输入至角速度检测电路，与检测电路中静电耦合误差抵消，角速度检测电路生成角速度载波信号和角速度载波反相信号，并经解调滤波电路后输出角速度信号。本发明减小了静电误差，提高了陀螺整表性能。
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公开(公告)号：CN114994362B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
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公开(公告)号：CN117713696A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311567403.X
申请日：2023-11-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03D3/00 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种谐振式微机电陀螺数字解调电路，包括陀螺、第一、二、三芯片单元，第一芯片单元用于捕获驱动模态输出信号并计算对应驱动信号频率；第一芯片单元还用于通过第二芯片单元进行驱动模态输出信号以及检测模态输出信号的同步采集，采集频率实时设置为4倍的驱动信号频率；采集信号时，第一芯片单元还将驱动模态输出信号进行一个采样周期的相移操作以获取正交参考信号；第一芯片单元的相敏解调模型用于根据采集的驱动模态输出信号解算驱动信号幅值；第一芯片单元的同相正交解调模型解算出检测信号的同相解调和正交解调结果并输出至解调相位误差解算模型；解调相位误差解算模型根据输入实时计算出解调相位的误差值，并输出至第三芯片单元。
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公开(公告)号：CN112607703B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202011435359.3
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供了一种用于提升驱动增益的石英音叉敏感结构的制备方法，该制备方法包括：步骤一，根据音叉驱动梁结构设计上下表面具有凹槽结构的音叉敏感结构减薄光刻版图；步骤二，在石英晶片的正反两面均形成Cr/Au/Cr/Au掩膜；步骤三，形成音叉整体结构的Cr/Au/Cr/Au掩膜图形和挠性支撑的Cr/Au掩膜图形；步骤四，形成镂空的音叉结构及挠性支撑石英结构；步骤五，根据音叉敏感结构减薄光刻版图设计具有镂空区域的音叉敏感结构侧面电极加工用遮挡板；步骤六，制备音叉敏感结构的侧面电极和挠性支撑的表面电极引线。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中石英音叉的制备方法无法有效增加石英音叉敏感结构驱动端三维电极有效面积，导致无法有效提升驱动增益的技术问题。
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公开(公告)号：CN115865096A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211356551.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路，该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元，FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接，高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接，载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接，电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。
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