다층의 금속 배선 제조 방법
    21.
    发明公开
    다층의 금속 배선 제조 방법 有权
    多层金属线的制造方法

    公开(公告)号:KR1020090059795A

    公开(公告)日:2009-06-11

    申请号:KR1020070126841

    申请日:2007-12-07

    Abstract: A manufacturing method of a multilayer metal wiring is provided to stably manufacture a multilayer metal wiring and to reduce possibility of misalignment by forming a pattern through one exposure. A source drain ohmic metal layer is formed by depositing an ohmic metal(130) on a semiconductor substrate having an active layer and a cap layer. A first insulation film(140) is deposited on a whole surface of the semiconductor substrate. A first multilayer photoresist is deposited in consideration of an etching selection ratio with the first insulation film. A first metal wiring(170a) is formed by depositing a metal on a first pattern region. A second insulation film(180) is formed on a whole surface of the substrate having the first metal wiring. A second multilayer photoresist(150b,160b) is deposited in consideration of an etching selection ratio with the second insulation film. A second metal wiring(170b) is formed by depositing a metal on a second pattern region. A protective film is deposited on the second metal wiring.

    Abstract translation: 提供多层金属布线的制造方法,以稳定地制造多层金属布线,并通过一次曝光形成图案来减少不对准的可能性。 源极欧姆金属层通过在具有有源层和盖层的半导体衬底上沉积欧姆金属(130)而形成。 第一绝缘膜(140)沉积在半导体衬底的整个表面上。 考虑到与第一绝缘膜的蚀刻选择比,沉积第一多层光致抗蚀剂。 通过在第一图案区域上沉积金属来形成第一金属布线(170a)。 在具有第一金属布线的基板的整个表面上形成第二绝缘膜(180)。 考虑到与第二绝缘膜的蚀刻选择比,沉积第二多层光致抗蚀剂(150b,160b)。 通过在第二图案区域上沉积金属来形成第二金属布线(170b)。 保护膜沉积在第二金属布线上。

    밀리미터파 대역에서의 전송 특성을 향상시키기 위한초고주파 전송 장치
    22.
    发明公开
    밀리미터파 대역에서의 전송 특성을 향상시키기 위한초고주파 전송 장치 失效
    用于改善米波传输特性的超高频转换装置

    公开(公告)号:KR1020090059450A

    公开(公告)日:2009-06-11

    申请号:KR1020070126316

    申请日:2007-12-06

    CPC classification number: H01P3/08 H01P1/2136 H01P5/19

    Abstract: An ultra-high frequency transmitting device is provided to relieve discontinuity of electric field in a junction region between a strip transmission line and a micro strip transmission line by using a signal matching ground. An ultra-high frequency transmitting device includes a strip transmission line(strip), a micro strip transmission line(Mstrip), and a signal matching ground(Stuning). The strip transmission line is arranged inside a multilayer substrate. The micro strip transmission line is arranged outside the multilayer substrate. The micro strip transmission line is connected to the strip transmission line. The signal matching ground is positioned in a bottom surface of the micro strip transmission line. The signal matching ground is extended from the micro strip transmission line to the strip transmission line. The signal matching ground is connected to a ground(GND2) positioned in a bottom layer of the multilayer substrate.

    Abstract translation: 提供了一种超高频发射装置,通过使用信号匹配地来缓解带状传输线和微带传输线之间的接合区域中的电场的不连续性。 超高频发送装置包括带状传输线(条),微带传输线(Mstrip)和信号匹配接地(Stuning)。 带状传输线设置在多层基板内。 微带传输线布置在多层基板的外侧。 微带传输线连接到条传输线。 信号匹配接地位于微带传输线的底面。 信号匹配接地从微带传输线延伸到带状传输线。 信号匹配地连接到位于多层基板的底层中的地(GND2)。

    광 하이브리드 모듈
    23.
    发明授权
    광 하이브리드 모듈 有权
    光混合模块

    公开(公告)号:KR100883128B1

    公开(公告)日:2009-02-10

    申请号:KR1020070046710

    申请日:2007-05-14

    Abstract: 본 발명은 광소자, 필터, 증폭기 및 안테나가 하이브리드 집적되어 있는 광 하이브리드 모듈에 관한 것으로, 본 광 하이브리드 모듈은 기판 상에 설치되며, 광파이버 및 광소자가 마련되어 있는 실리콘 광 벤치; 상기 기판 상에 설치되며, 상기 실리콘 광 벤치에 마련된 상기 광소자와 연결되어 상기 광소자에서 전송된 신호를 증폭하는 증폭기; 상기 기판 상에 형성되며 상기 증폭기와 연결되는 안테나를 포함한다. 이에 따라, 단층 또는 다층 기판에 안테나와 필터를 구현하고 광소자와 증폭기에 필요한 바이어스를 솔더볼을 통해 공급하므로 작은 크기(foot print)의 모듈을 구현할 수 있다. 또한, 기판에 안테나와 필터가 구현되므로 고가의 커넥터가 필요하지 않으므로, 제조 원가를 절감할 수 있다.
    광 하이브리드 모듈, 광소자, 증폭기, 안테나, 실리콘 광 벤치

    핀 포토다이오드 및 그 제조방법
    24.
    发明公开
    핀 포토다이오드 및 그 제조방법 无效
    具有波长的PIN光电及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020080052223A

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:KR1020070054263

    申请日:2007-06-04

    Abstract: A Pin photodiode is provided to reduce the leakage current of a pin photodiode with a wave guide by forming a metal layer on a wafer guide pattern. A first semiconductor layer, an absorption layer, a second semiconductor layer, a photo clad layer and a photo cap layer are formed on a substrate(31). After a first insulation layer is formed on the photo cap layer, the first insulation layer is patterned by using a photoresist pattern formed on the first insulation layer. The photo cap layer, the photo clad layer, the second semiconductor layer and the absorption layer are etched by using the patterned first insulation layer as a mask. After the pattern first insulation layer is removed, a second insulation layer is formed on the patterned photo cap layer and the patterned first semiconductor layer. After a photoresist pattern is formed on the second insulation layer, the second insulation layer is patterned by using the photoresist pattern. The semiconductor layer is patterned by using the patterned second insulation layer. After the patterned second insulation layer is removed, a first electrode(41) is formed on the photo cap layer and the first semiconductor layer. After a polyimide layer can be formed on a partial region of the substrate, the polyimide layer is patterned and a second electrode(43) is formed on the patterned polyimide layer.

    Abstract translation: 提供引脚光电二极管,通过在晶片引导图案上形成金属层来减小波导管的引脚光电二极管的漏电流。 在基板(31)上形成有第一半导体层,吸收层,第二半导体层,光覆层和光电盖层。 在光罩层上形成第一绝缘层之后,通过使用形成在第一绝缘层上的光致抗蚀剂图案来对第一绝缘层进行构图。 通过使用图案化的第一绝缘层作为掩模来蚀刻光封层,光覆层,第二半导体层和吸收层。 在去除图案第一绝缘层之后,在图案化的光罩层和图案化的第一半导体层上形成第二绝缘层。 在第二绝缘层上形成光致抗蚀剂图案之后,通过使用光致抗蚀剂图案来对第二绝缘层进行图案化。 通过使用图案化的第二绝缘层来图案化半导体层。 在去除图案化的第二绝缘层之后,在光电帽层和第一半导体层上形成第一电极(41)。 在可以在基板的部分区域上形成聚酰亚胺层之后,对该聚酰亚胺层进行图案化,并且在图案化的聚酰亚胺层上形成第二电极(43)。

    스타트업모듈
    25.
    发明授权
    스타트업모듈 失效
    启动模块

    公开(公告)号:KR100783368B1

    公开(公告)日:2007-12-07

    申请号:KR1020050085164

    申请日:2005-09-13

    Abstract: 본 발명은 스타트업(start-up)모듈 및 이를 이용한 바이어스 전원공급장치에 관한 것으로, 기준전압발생기내 하이임피던스를 가지는 특정노드의 전압이 초기 전원공급시 제로상태에 빠지는 것을 막기 위하여 상기 특정노드의 전압을 체크하여 제로상태인지 정상동작상태인지를 판별하는 판별부와, 상기 판별부로부터 판별된 결과값에 따라 상기 특정노드의 전압이 정상동작 전압값으로 회복될 수 있도록 구동전류를 생성하는 전류구동부를 포함함으로써, 기준전압발생기의 동작점이 제로(zero)상태로 되는 것을 방지하고, 빠른 시간내에 정상상태를 유지할 수 있도록 한다. 아울러 본 발명은 전력 소모가 적을 뿐만 아니라 단순한 회로구성과 저전압 동작이 가능하여 낮은 공급전원 시스템에도 적용할 수 있는 효과가 있다.
    바이어스 전원공급장치, 밴드갭 기준전압발생기, 스타트업모듈, 판별부, 전류구동부

    Abstract translation: 为了防止本发明是一个起动(启动)模块,并使用相同的,与零状态的基准电压产生的飞行中的高阻抗是一个特定节点电压的涉及一种偏压电源装置的初始电力供给期间,所述特定节点, 以及电流驱动器,用于根据由确定单元确定的结果值来生成驱动电流,使得特定节点的电压能够被恢复到正常操作电压, 由此防止参考电压发生器的操作点变成零状态并且在短时间内保持稳定状态。 另外,本发明不仅功耗较低,而且电路配置简单,电压操作低,适用于低电源系统。

    다층배선 코플래너 웨이브가이드
    26.
    发明授权
    다층배선 코플래너 웨이브가이드 失效
    다층배선코플래너웨이브가이드

    公开(公告)号:KR100731544B1

    公开(公告)日:2007-06-22

    申请号:KR1020060033587

    申请日:2006-04-13

    Abstract: A multi-layer wiring coplanar waveguide is provided to minimize the loss of a coplanar waveguide and to maximize slow-wave effect by using an intermediate metal layer having a width less than that of a ground. An uppermost metal layer is designed with a ground(41)-signal(40)-ground(41). An intermediate layer(43) has a structure for maximizing volume where an electromagnetic wave propagates. A lowermost metal layer is used as a shield layer and connected through the ground of the uppermost metal layer, the intermediate layer, and the via-hole. The intermediate layer is comprised of a plurality of intermediate metal layers located at a lower of the ground of the uppermost metal layer. The intermediate metal layers have a width less than that of the ground.

    Abstract translation: 提供多层布线共面波导以最小化共面波导的损耗并且通过使用宽度小于地面宽度的中间金属层来最大化慢波效应。 最上面的金属层设计为具有地面(41) - 信号(40) - 地面(41)。 中间层(43)具有用于使电磁波传播的体积最大化的结构。 最下面的金属层用作屏蔽层,并通过最上面的金属层,中间层和通孔的接地连接。 中间层由位于最上层金属层的地面下部的多个中间金属层构成。 中间金属层的宽度小于地面的宽度。

    고성능 집적형 인덕터
    27.
    发明公开
    고성능 집적형 인덕터 失效
    高性能集成电感器

    公开(公告)号:KR1020070060615A

    公开(公告)日:2007-06-13

    申请号:KR1020050120416

    申请日:2005-12-09

    Inventor: 한선호 유현규

    CPC classification number: H01L23/5227 H01L28/10

    Abstract: An integrated inductor having high performance is provided to improve noise characteristics by reducing the amount of current induced to a substrate. A ground shielding layer(20) is arranged on a substrate. A spiral metal line(30) is arranged on the ground shielding layer. An inner line width of the spiral metal line is smaller than an outer line width of the spiral metal line. The spiral metal line includes one of a circular shape, a triangular shape, a rectangular shape, and a pentagonal and more polygonal shape. The spiral metal line includes at least two or more laminated metal layers. The ground shielding layer includes a poly layer having a high resistance. The poly layer includes a pattern extended to a direction for cutting the flow of current induced to the spiral metal line.

    Abstract translation: 提供具有高性能的集成电感器,以通过减少感应到衬底的电流量来改善噪声特性。 接地屏蔽层(20)布置在基板上。 螺旋金属线(30)布置在接地屏蔽层上。 螺旋状金属线的内线宽度比螺旋状金属线的外线宽度小。 螺旋状金属线包括圆形,三角形,矩形和五边形和更多边形中的一种。 螺旋状金属线包括至少两层以上的层叠金属层。 接地屏蔽层包括具有高电阻的多层。 多层包括延伸到用于切割引起螺旋金属线的电流的方向的图案。

    기생 캐패시턴스 성분에 의한 필터의 동작특성 왜곡을제거할 수 있는 필터 및 그 제작방법
    28.
    发明授权
    기생 캐패시턴스 성분에 의한 필터의 동작특성 왜곡을제거할 수 있는 필터 및 그 제작방법 有权
    一种滤波器,其能够通过寄生电容分量去除滤波器的工作特性的失真及其制造方法

    公开(公告)号:KR100702832B1

    公开(公告)日:2007-04-03

    申请号:KR1020060050738

    申请日:2006-06-07

    Abstract: 본 발명은 필터 및 그 제작방법에 관한 것으로, Gm-C 밴드패스필터 IC를 구현함에 있어서 트랜지스터의 기생 캐패시턴스 성분으로 인한 필터의 동작특성 왜곡을 유효하게 보상하기 위해서 필터의 프로토타이프에 나타나는 인덕터와 캐패시터의 직렬조합에 대하여 자이레이터를 이용한 임피던스 인버터 동작을 적용하는 것을 특징으로 하는 능동필터 및 그 제작방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 기생 캐패시턴스 성분으로 인한 필터의 동작특성 왜곡을 유효하게 제거할 수 있다.
    능동필터, Gm-C 필터, 기생 캐패시턴스, 자이레이터, 임피던스 인버터

    Abstract translation: 本发明的过滤器,并涉及其制造方法,GM-C带通滤波器IC的电感器和电容器可以在过滤器的原型,以便有效地补偿滤波器操作在执行所引起的晶体管的寄生电容分量特性的失真出现 并且,使用陀螺仪的阻抗逆变器的操作应用于有源滤波器和有源滤波器的制造方法的串联组合。 根据本发明,可以有效地消除由寄生电容分量引起的滤波器的工作特性的失真。

    수신모듈 및 이를 포함한 수신기
    29.
    发明授权
    수신모듈 및 이를 포함한 수신기 有权
    接收模块和具有相同功能的接收机

    公开(公告)号:KR100701429B1

    公开(公告)日:2007-03-30

    申请号:KR1020050081902

    申请日:2005-09-02

    Inventor: 박성경 유현규

    CPC classification number: H04L25/06

    Abstract: 본 발명은 수신모듈 및 이를 포함한 수신기에 관한 것으로, 연속된 파형을 갖는 수신신호의 이전 비트와 현재 비트의 차이를 비교 및 검출하기 위한 비교검출수단과, 상기 비교검출수단으로부터 검출된 차이 값을 증폭하기 위한 증폭수단과, 상기 증폭수단으로부터 증폭된 수신신호의 파형을 샘플링하여 유효 데이터를 출력하기 위한 표본화수단을 포함함으로써, Gbps급의 고속으로 동작하는 병렬 링크(parallel link) 등에 용이하게 적용할 수 있을 뿐만 아니라 심볼 간 간섭(Inter Symbol Interference, ISI), 지터(timing jitter or jitter) 및 전압 잡음 등에 강인한 효과가 있다.
    수신 모듈, 수신기, 병렬 링크, 심볼 간 간섭, 지터, 신호 증대

    트랜스포머를 이용한 광수신 장치
    30.
    发明授权
    트랜스포머를 이용한 광수신 장치 失效
    使用变压器的光接收装置

    公开(公告)号:KR100682993B1

    公开(公告)日:2007-02-15

    申请号:KR1020040104857

    申请日:2004-12-13

    Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
    본 발명은 트랜스포머를 이용한 광수신 장치에 관한 것임.
    2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
    본 발명은, 광수신 장치에서 광전변환기(포토다이오드)와 트랜스임피던스 증폭기 중간에 트랜스포머를 삽입함으로써, 제1단의 광전변환기(포토다이오드)의 영향(기생성분의 영향)이 트랜스임피던스 증폭기에 미치지 않게 하고, 또한 제2단에 의해 임피던스 정합 및 주파수공진이 되게 하여 대역폭을 증가시킬 수 있는, 트랜스포머를 이용한 광수신 장치를 제공하는데 그 목적이 있음.
    3. 발명의 해결방법의 요지
    본 발명은, 광수신 장치에 있어서, 광신호를 수신하여 전기적 신호로 변환하기 위한 광전변환 수단; 상기 광전변환 수단의 영향이 트랜스 임피던스 증폭 수단에 미치지 않도록, 1차단은 상기 광전변환 수단에 연결되고 2차단은 트랜스임피던스 증폭 수단의 입력단에 연결되는 트랜스포머 수단; 및상기 트랜스포머 수단의 1차단에는 연결되지 않고 2차단에만 연결되는 상기 트랜스 임피던스 증폭 수단을 포함함.
    4. 발명의 중요한 용도
    본 발명은 광수신 장치에 이용됨.
    트랜스포머, 트랜스임피던스 증폭기, 제한증폭기, 포토다이오드, 기생성분

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