Abstract:
A manufacturing method of a multilayer metal wiring is provided to stably manufacture a multilayer metal wiring and to reduce possibility of misalignment by forming a pattern through one exposure. A source drain ohmic metal layer is formed by depositing an ohmic metal(130) on a semiconductor substrate having an active layer and a cap layer. A first insulation film(140) is deposited on a whole surface of the semiconductor substrate. A first multilayer photoresist is deposited in consideration of an etching selection ratio with the first insulation film. A first metal wiring(170a) is formed by depositing a metal on a first pattern region. A second insulation film(180) is formed on a whole surface of the substrate having the first metal wiring. A second multilayer photoresist(150b,160b) is deposited in consideration of an etching selection ratio with the second insulation film. A second metal wiring(170b) is formed by depositing a metal on a second pattern region. A protective film is deposited on the second metal wiring.
Abstract:
An ultra-high frequency transmitting device is provided to relieve discontinuity of electric field in a junction region between a strip transmission line and a micro strip transmission line by using a signal matching ground. An ultra-high frequency transmitting device includes a strip transmission line(strip), a micro strip transmission line(Mstrip), and a signal matching ground(Stuning). The strip transmission line is arranged inside a multilayer substrate. The micro strip transmission line is arranged outside the multilayer substrate. The micro strip transmission line is connected to the strip transmission line. The signal matching ground is positioned in a bottom surface of the micro strip transmission line. The signal matching ground is extended from the micro strip transmission line to the strip transmission line. The signal matching ground is connected to a ground(GND2) positioned in a bottom layer of the multilayer substrate.
Abstract:
본 발명은 광소자, 필터, 증폭기 및 안테나가 하이브리드 집적되어 있는 광 하이브리드 모듈에 관한 것으로, 본 광 하이브리드 모듈은 기판 상에 설치되며, 광파이버 및 광소자가 마련되어 있는 실리콘 광 벤치; 상기 기판 상에 설치되며, 상기 실리콘 광 벤치에 마련된 상기 광소자와 연결되어 상기 광소자에서 전송된 신호를 증폭하는 증폭기; 상기 기판 상에 형성되며 상기 증폭기와 연결되는 안테나를 포함한다. 이에 따라, 단층 또는 다층 기판에 안테나와 필터를 구현하고 광소자와 증폭기에 필요한 바이어스를 솔더볼을 통해 공급하므로 작은 크기(foot print)의 모듈을 구현할 수 있다. 또한, 기판에 안테나와 필터가 구현되므로 고가의 커넥터가 필요하지 않으므로, 제조 원가를 절감할 수 있다. 광 하이브리드 모듈, 광소자, 증폭기, 안테나, 실리콘 광 벤치
Abstract:
A Pin photodiode is provided to reduce the leakage current of a pin photodiode with a wave guide by forming a metal layer on a wafer guide pattern. A first semiconductor layer, an absorption layer, a second semiconductor layer, a photo clad layer and a photo cap layer are formed on a substrate(31). After a first insulation layer is formed on the photo cap layer, the first insulation layer is patterned by using a photoresist pattern formed on the first insulation layer. The photo cap layer, the photo clad layer, the second semiconductor layer and the absorption layer are etched by using the patterned first insulation layer as a mask. After the pattern first insulation layer is removed, a second insulation layer is formed on the patterned photo cap layer and the patterned first semiconductor layer. After a photoresist pattern is formed on the second insulation layer, the second insulation layer is patterned by using the photoresist pattern. The semiconductor layer is patterned by using the patterned second insulation layer. After the patterned second insulation layer is removed, a first electrode(41) is formed on the photo cap layer and the first semiconductor layer. After a polyimide layer can be formed on a partial region of the substrate, the polyimide layer is patterned and a second electrode(43) is formed on the patterned polyimide layer.
Abstract:
본 발명은 스타트업(start-up)모듈 및 이를 이용한 바이어스 전원공급장치에 관한 것으로, 기준전압발생기내 하이임피던스를 가지는 특정노드의 전압이 초기 전원공급시 제로상태에 빠지는 것을 막기 위하여 상기 특정노드의 전압을 체크하여 제로상태인지 정상동작상태인지를 판별하는 판별부와, 상기 판별부로부터 판별된 결과값에 따라 상기 특정노드의 전압이 정상동작 전압값으로 회복될 수 있도록 구동전류를 생성하는 전류구동부를 포함함으로써, 기준전압발생기의 동작점이 제로(zero)상태로 되는 것을 방지하고, 빠른 시간내에 정상상태를 유지할 수 있도록 한다. 아울러 본 발명은 전력 소모가 적을 뿐만 아니라 단순한 회로구성과 저전압 동작이 가능하여 낮은 공급전원 시스템에도 적용할 수 있는 효과가 있다. 바이어스 전원공급장치, 밴드갭 기준전압발생기, 스타트업모듈, 판별부, 전류구동부
Abstract:
A multi-layer wiring coplanar waveguide is provided to minimize the loss of a coplanar waveguide and to maximize slow-wave effect by using an intermediate metal layer having a width less than that of a ground. An uppermost metal layer is designed with a ground(41)-signal(40)-ground(41). An intermediate layer(43) has a structure for maximizing volume where an electromagnetic wave propagates. A lowermost metal layer is used as a shield layer and connected through the ground of the uppermost metal layer, the intermediate layer, and the via-hole. The intermediate layer is comprised of a plurality of intermediate metal layers located at a lower of the ground of the uppermost metal layer. The intermediate metal layers have a width less than that of the ground.
Abstract:
An integrated inductor having high performance is provided to improve noise characteristics by reducing the amount of current induced to a substrate. A ground shielding layer(20) is arranged on a substrate. A spiral metal line(30) is arranged on the ground shielding layer. An inner line width of the spiral metal line is smaller than an outer line width of the spiral metal line. The spiral metal line includes one of a circular shape, a triangular shape, a rectangular shape, and a pentagonal and more polygonal shape. The spiral metal line includes at least two or more laminated metal layers. The ground shielding layer includes a poly layer having a high resistance. The poly layer includes a pattern extended to a direction for cutting the flow of current induced to the spiral metal line.
Abstract:
본 발명은 필터 및 그 제작방법에 관한 것으로, Gm-C 밴드패스필터 IC를 구현함에 있어서 트랜지스터의 기생 캐패시턴스 성분으로 인한 필터의 동작특성 왜곡을 유효하게 보상하기 위해서 필터의 프로토타이프에 나타나는 인덕터와 캐패시터의 직렬조합에 대하여 자이레이터를 이용한 임피던스 인버터 동작을 적용하는 것을 특징으로 하는 능동필터 및 그 제작방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 기생 캐패시턴스 성분으로 인한 필터의 동작특성 왜곡을 유효하게 제거할 수 있다. 능동필터, Gm-C 필터, 기생 캐패시턴스, 자이레이터, 임피던스 인버터
Abstract:
본 발명은 수신모듈 및 이를 포함한 수신기에 관한 것으로, 연속된 파형을 갖는 수신신호의 이전 비트와 현재 비트의 차이를 비교 및 검출하기 위한 비교검출수단과, 상기 비교검출수단으로부터 검출된 차이 값을 증폭하기 위한 증폭수단과, 상기 증폭수단으로부터 증폭된 수신신호의 파형을 샘플링하여 유효 데이터를 출력하기 위한 표본화수단을 포함함으로써, Gbps급의 고속으로 동작하는 병렬 링크(parallel link) 등에 용이하게 적용할 수 있을 뿐만 아니라 심볼 간 간섭(Inter Symbol Interference, ISI), 지터(timing jitter or jitter) 및 전압 잡음 등에 강인한 효과가 있다. 수신 모듈, 수신기, 병렬 링크, 심볼 간 간섭, 지터, 신호 증대
Abstract:
1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 본 발명은 트랜스포머를 이용한 광수신 장치에 관한 것임. 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 본 발명은, 광수신 장치에서 광전변환기(포토다이오드)와 트랜스임피던스 증폭기 중간에 트랜스포머를 삽입함으로써, 제1단의 광전변환기(포토다이오드)의 영향(기생성분의 영향)이 트랜스임피던스 증폭기에 미치지 않게 하고, 또한 제2단에 의해 임피던스 정합 및 주파수공진이 되게 하여 대역폭을 증가시킬 수 있는, 트랜스포머를 이용한 광수신 장치를 제공하는데 그 목적이 있음. 3. 발명의 해결방법의 요지 본 발명은, 광수신 장치에 있어서, 광신호를 수신하여 전기적 신호로 변환하기 위한 광전변환 수단; 상기 광전변환 수단의 영향이 트랜스 임피던스 증폭 수단에 미치지 않도록, 1차단은 상기 광전변환 수단에 연결되고 2차단은 트랜스임피던스 증폭 수단의 입력단에 연결되는 트랜스포머 수단; 및상기 트랜스포머 수단의 1차단에는 연결되지 않고 2차단에만 연결되는 상기 트랜스 임피던스 증폭 수단을 포함함. 4. 발명의 중요한 용도 본 발명은 광수신 장치에 이용됨. 트랜스포머, 트랜스임피던스 증폭기, 제한증폭기, 포토다이오드, 기생성분