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公开(公告)号：CN107437489A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201611243428.4
申请日：2016-12-29
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/3405 , C23C14/35 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/32623 , H01J37/3464 , H01J2237/3137 , H01J2237/26
Abstract: 一种带电粒子显微镜，包括真空室，在该真空室中提供了：—样本保持器，其用于将样本保持在照射位置；—粒子光学柱，其用于产生带电粒子束并引导该带电粒子束从而照射该样本；—检测器，其用于响应于被所述射束照射来检测从样本发出的辐射通量，其中：—所述真空室包括原位磁控管溅射沉积模块，其包括用于产生目标材料的蒸气流的磁控管溅射源；—载台被配置成使包括所述样本的至少一部分的样品在所述照射位置与所述沉积模块处的单独沉积位置之间移动；—所述沉积模块被配置成当所述样品被保持在所述沉积位置处时将一层所述目标材料沉积到所述样品上。
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公开(公告)号：CN104217910B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201410170093.2
申请日：2014-04-25
Applicant: FEI 公司 , 马克斯·普朗克索赔科学公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/285 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明涉及在透射电子显微镜（100）中使用相位片（118）的方法，所述相位片包括薄膜，所述方法包括：在所述透射电子显微镜中引入所述相位片；通过用聚焦的电子束照射所述薄膜来准备所述相位片；在所述透射电子显微镜中引入样品（108）；以及通过使用所准备的相位片来形成所述样品的图像，其特征在于：准备所述相位片涉及通过用聚焦的电子束照射所述相位片来局部地构建由所述薄膜的所述电子结构中的改变引起的真空势，所述真空势导致具有比在所述未照射的薄膜处更小的值的绝对相移。优选地加热所述相位片以避免污染。用该相位片实现的所述相移可以通过使所述照射的斑点的所述直径变化来调谐。
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公开(公告)号：CN107112182A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580047907.6
申请日：2015-10-21
Applicant: 科学明天有限责任公司
Inventor： 乔蒂·乔蒂阿拉瓦克人 , 萨哈达史·萨哈达史纳亚克 , 大卫·大卫C乔伊
IPC: H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/24495
Abstract: 使用基于固态装置(SSD)阵列的电子计数器的定量二次电子检测(QSED)能够在诸如半导体、纳米材料和生物样品之类的材料中进行关键尺寸的计量学测量(图3)。使用固态检测器阵列实现二次电子定量检测的方法和装置包括多个固态检测器。阵列使用多个固态检测器对二次电子的数目进行感测，用计数器模式中的时数转换器电路来对二次电子的数目进行计数。
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公开(公告)号：CN105531793A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN105493225A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105103263A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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公开(公告)号：CN104704601A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201280076337.X
申请日：2012-10-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/065 , C25F3/26 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J9/042 , H01J37/06 , H01J37/073 , H01J37/285 , H01J2237/063 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J9/02 , H01J1/30
Abstract: 在以往的基片加工方法中，无法指定前端形状的尺寸来进行制作，无法得到具有所期望的任意径的基片。此外，基片中可能附着杂质。利用基片前端直径与正在加工基片前端时的施加电压或所围住的时间的相互关系，控制得到所期望前端直径的施加电压，来加工基片。由此，能够在钨单晶细丝尖锐化后的前端直径为0.1μm以上2.0μm以下的范围，制造具有所期望的任意径的基片。
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公开(公告)号：CN108335961A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034839.5
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/3056 , H01J2237/208 , H01J2237/221 , H01J2237/28 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01J37/3007
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。
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公开(公告)号：CN102645423B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201210056858.0
申请日：2012-01-29
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N23/225 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/206 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2803 , H01J2237/2857
Abstract: 公开了一种用于对生物样品内的荧光标记物例如荧光蛋白或者量子点进行成像和定位的方法和系统。利用重组遗传技术使“报告”基因插入很多物种中是被广泛认可的。特别是绿色荧光蛋白(GFPs)和范围从蓝色至黄色的其经遗传修饰的变体易于剪接到很多基因组中的目标基因(GoIs)位点处，其中GFPs被表达，对于由GoIs编码的目标蛋白质(PoIs)的功能没有明显影响。生物学家的一个目标是细胞内PoIs的更精确定位。本发明是利用带电粒子束诱导的对GFPs的破坏使PoI定位更加快速和精确的方法和系统。提出了系统的多个实施方案以实施本方法，以及相对不受高统计噪声水平影响的图像处理方法。
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公开(公告)号：CN105531793B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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