公开(公告)号：CN102737938B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201210107965.1

申请日：2012-04-13

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： D.塔格尔 ,  N.W.帕克

IPC: H01J37/30

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及宽孔径维恩ExB质量过滤器。一种ExB维恩质量过滤器提供与质量分离所需的偶极电场组合的可独立调整的电场。可独立调整的电场可以用于提供更大的光学孔径、校正像散并将波束偏转至与磁场平行和/或垂直的方向。

公开(公告)号：CN102384922B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201110246288.7

申请日：2011-08-25

Applicant: FEI公司

Inventor： U.吕肯 ,  F.J.P.舒尔曼斯 ,  C.S.库伊曼

IPC: G01N23/08

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/05 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。

公开(公告)号：CN104183469A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410171492.0

申请日：2014-04-25

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 椛泽光昭 ,  渡边一浩 ,  佐佐木玄 ,  加藤浩二 ,  安藤一志

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/04737 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057 ,  H01L21/26506

Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置，精度良好地将已扫描的高能量离子束平行化。本发明的高能量离子注入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换；及射束传输线单元，将已偏转的高能量离子束传输到晶片。射束传输线单元具有射束整形器、高能量用射束扫描器、高能量用射束平行化器及高能量用最终能量过滤器。并且，高能量用射束平行化器为通过电场重复高能量射束的加速和减速并且将扫描束平行化的电场式射束平行化器。

公开(公告)号：CN104106123A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201380004763.7

申请日：2013-01-14

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 爱德华·艾伊斯勒 ,  伯·范德伯格

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/147 ,  G01K5/00 ,  H01J37/05 ,  H01J37/16 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明涉及用于减少能量杂质的方法及装置，可用于粒子注入的束线组合。突出部包括表面区域及其间槽部的突出部可面向束线组合内从工件角度观察的视线域内的中性原子轨迹。突出部可使中性原子轨迹的路线变作远离工件或引起其它轨迹，用于在击中工件前进一步撞击，并由此对敏感度更佳的注入进一步减少能量杂质。

公开(公告)号：CN103180030A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201180051189.1

申请日：2011-08-23

Applicant: 艾克索乔纳斯公司

Inventor： 肖恩·R·柯克帕特里克 ,  艾伦·R·柯克帕特里克

IPC: B01D59/00

CPC classification number: G03F1/80 ,  B24B37/04 ,  G03F1/82 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/0812 ,  H01J2237/15 ,  H01L21/02115 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/26566 ,  H01L21/31105 ,  H01L21/31111 ,  H01L29/36 ,  H05H3/02 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/30

Abstract: 提供用于处理材料的来自加速气体团簇离子束的加速中性射束的设备、方法和产品。

公开(公告)号：CN102737938A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210107965.1

申请日：2012-04-13

Applicant: FEI公司

Inventor： D.塔格尔 ,  N.W.帕克

IPC: H01J37/30

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及宽孔径维恩ExB质量过滤器。一种ExB维恩质量过滤器提供与质量分离所需的偶极电场组合的可独立调整的电场。可独立调整的电场可以用于提供更大的光学孔径、校正像散并将波束偏转至与磁场平行和/或垂直的方向。

公开(公告)号：CN102468104A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201110354511.X

申请日：2011-11-10

Applicant: FEI公司

Inventor： A.亨斯特拉

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/153 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/31713

Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。

公开(公告)号：CN1658331B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200510051944.2

申请日：2005-02-16

Applicant: FEI公司

Inventor： J·奇梅里克 ,  A·亨斯特拉

IPC: G21K1/00 ,  G21K1/02 ,  G02B3/00

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/153 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明揭示了一种能够进行能量选择的粒子源。能量选择是通过使带电粒子束(13)偏心通过透镜(6)。由于这种方式，在经透镜(6)所形成的像15内出现能量扩散。通过将像(15)投射到光阑(7)上，可仅允许能谱内有限部分的粒子通过。因此，通过的射束(16)具有减小的能够分布。通过增设偏转单元(10)，该粒子束(16)能够向光轴偏转。还可选择向光轴偏转通过透镜(6)中央的(例如具有较大射束电流的)射束(12)。

公开(公告)号：CN101385112B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200780005339.9

申请日：2007-02-13

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 彼德·L·凯勒曼 ,  肯尼士·H·波什

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/141 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0042 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/141 ,  H01J2237/142 ,  H01J2237/1508 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明是揭露一种包括主动式场束缚的电磁铁及相关离子注入器系统。电磁铁提供在高的大间隙内的具有最小强度失真及劣化的偶极磁场。在一实施例中，用于修改离子束的电磁铁包括：包括六个侧面的铁磁箱体结构；在铁磁箱体结构的第一侧面及第二相对侧面中的每一侧面中的供离子束通过的开口；以及具有沿铁磁箱体结构的内表面的路径的多个载流导线，内表面包括第一侧面及第二相对侧面以及第三侧面及第四相对侧面，其中多个载流导线经定位以围绕第一侧面及第二相对侧面的开口中的每一侧面延伸。

公开(公告)号：CN101593658A

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200910145359.7

申请日：2009-05-26

Applicant: FEI公司

Inventor： A·亨斯特拉

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J3/027 ,  H01J3/04 ,  H01J37/063 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/1534

Abstract: 本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子－电子相互作用。