公开(公告)号：CN100550270C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200480019446.3

申请日：2004-05-26

Applicant: 成像科学仪器公司

Inventor： 泰伊·特拉维斯·格里布

IPC: H01J37/285 ,  G01N25/00

CPC classification number: H01J37/285 ,  B82Y15/00 ,  H01J37/05 ,  H01J37/10 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/244

Abstract: 一种原子探针包括处于其本地电极以及其探测器之间的一个或多个中间电极，其中中间电极被充电到某个电势，使得它们过滤假离子并阻止它们到达探测器，和/或调节(聚焦)离子的飞行圆锥体以具有更窄或更宽的角度，从而调节原子探针所提供的图像的放大倍数和视场。优选配置在于同时提供过滤电极和聚焦电极，它们可相对于彼此活动并且可以套管式集成，以便某个范围的过滤和聚焦效应。

公开(公告)号：CN101416270A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200780012023.2

申请日：2007-03-27

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 中本一朗 ,  宝来宽 ,  袖子田龙也 ,  吉田昌弘

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明涉及使质量分离了的离子束对基板照射进行离子注入的质量分离型离子注入装置。在具备接收来自质量分离电磁铁(17)的离子束(1)、分选所希望的离子并使其通过的分离狭缝(20)的离子注入装置(10)中，分离狭缝(20)以使离子束(1)通过的缝隙形状是可变的方式构成。此外，离子注入装置(10)具备可变狭缝(30)，其配置在引出电极系统(15)和质量分离电磁铁(17)之间，形成离子束(1)通过的缝隙，该可变狭缝(30)以遮蔽从离子源(12)引出的离子束(1)的一部分的方式可变地构成缝隙形状。该离子注入装置(10)具备分离狭缝(20)可变狭缝(30)的双方也可，具备任一方也可。

公开(公告)号：CN101385112A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200780005339.9

申请日：2007-02-13

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 彼德·L·凯勒曼 ,  肯尼士·H·波什

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/141 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0042 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/141 ,  H01J2237/142 ,  H01J2237/1508 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明是揭示一种包括主动式场束缚的电磁铁及相关离子注入器系统。电磁铁提供在高的大间隙内的具有最小强度失真及劣化的偶极磁场。在一实施例中，用于修改离子束的电磁铁包括：包括六个侧面的铁磁箱体结构；在铁磁箱体结构的第一侧面及第二相对侧面中的每一侧面中的供离子束通过的开口；以及具有沿铁磁箱体结构的内表面的路径的多个载流导线，内表面包括第一侧面及第二相对侧面以及第三侧面及第四相对侧面，其中多个载流导线经定位以围绕第一侧面及第二相对侧面的开口中的每一侧面延伸。

公开(公告)号：CN1806309A

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN200480016510.2

申请日：2004-06-14

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·班威尼斯特 ,  R·拉斯梅尔 ,  黄扬强

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05 ,  H01J37/30

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J2237/057

Abstract: 披露一种用于离子束的磁性偏转器，所述磁性偏转器包含第一与第二线圈。分别将线圈定位于射束的上方与下方，并且沿着射束的宽度进行延伸。电流通过线圈，用以在其间产生沿着大体上射束整个宽度而大致垂直于射束行进方向的磁场。在本发明的另一个方面中，披露一种在注入工件之前用来偏转射束的方法。该方法包含判断与射束相关联的一个或者多个特性，并且基于判断而有所选择地致动磁性偏转模组与静电偏转模组中的一种。

公开(公告)号：CN1795528A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：CN200480014193.0

申请日：2004-05-21

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： 约翰.强.叶 ,  V·班威尼斯特 ,  M·克里斯托佛罗

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32678 ,  H01J2237/1508

Abstract: 提供一种离子注入系统以及为此的束线组件，其中在离子束导件内提供多尖点(Multicusped)磁场，且该离子束导件被供能，以在一沿该离子束导件通道的前进波内提供微波电场。该磁场及电场相互作用，以为在该离子束导件内的离子束保含功能提供一电子－回旋共振条件。

公开(公告)号：CN1101593C

公开(公告)日：2003-02-12

申请号：CN96122647.1

申请日：1996-10-18

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： V·M·本文尼斯特

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/14

Abstract: 低能量离子注入器(10)有发射离子(14)的离子源(12)，和注入室(17)。质量分析磁铁(122)配置在沿源和注入室之间的束通道上。磁铁包括多个磁极靴(110，112)，并有面向内的极面(114，116)，至小确定离子偏转区(12)的一部分。电流传导线圈(122，123)在极靴附近的偏转区建立二极磁场(BO)。附加的线圈(130，131，132，133，134，135，136，137)在偏转区建立四极磁场(Q1，Q2，Q3，Q4)。控制器(100)电连接到磁铁的线圈，控制电流通过电流传导线圈，在极靴附近的偏转区产生磁场。

公开(公告)号：CN106463322B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201580026256.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 江欣荣 ,  韩立群

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

Abstract: 一个实施例涉及一种双威恩过滤器单色器。第一威恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二威恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN104217918B

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201410365969.9

申请日：2014-05-15

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： A·格拉斯马彻斯 ,  M·阿里曼

IPC: H01J49/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J49/022 ,  H01J49/027 ,  H01J49/424 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/057

Abstract: 本发明涉及一种用于质量筛选地确定至少一个离子或多个离子的装置。把根据本发明的装置应用在例如具有离子阱(1404)的测量装置中。离子阱(1404)包括具有第一开口的环形电极(1401)。第一电极(1402)安置在第一开口上。此外设置用于为离子阱(1404)提供高频储存信号的放大器(1408)和第一变压器(1411)，第一变压器(1411)与放大器(1408)和第一电极(1402)如此地连接，使得高频储存信号通过第一变压器(1411)被耦合进第一电极(1402)。

公开(公告)号：CN106653542A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201510710240.5

申请日：2015-10-28

Applicant: 北京中科信电子装备有限公司

Inventor： 林萍

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05

Abstract: 本发明公开了一种新型宽束流减速器，包括一减速电极(1)、两个抑制电极1(2)、两个地电极1(3)、两个抑制电极2(4)、两个地电极2(5)、两个聚焦电极(6)和两个地电极3(7)，离子通过减速电极(1)进入减速器，在减速电极(1)和抑制电极1(2)之间的电势差产生一个加速电场，离子加速，同时聚焦电极(6)与抑制电极1(2)之间的电势差形成了一个水平方向电场，此电场方向使离子向里靠拢，达到水平方向离子聚焦作用。随后是两个抑制电极2(4)、两个地电极1(3)和两个地电极2(5)构成透镜，根据透镜原理，离子在穿过透镜过程中，离子先聚焦后发散，通过减速器之后既达到减速目的，离子又起到聚焦作用。本发明装置与以往装置相比，宽束流垂直方向聚焦效果更好，并且减少了打火次数，能很好满足宽带束束流要求。

公开(公告)号：CN102789948B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201210155278.7

申请日：2012-05-18

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： J.B.麦金

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/15 ,  H01J49/288 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及用于控制ExB Wien过滤器中磁场分布的方法和结构。一种ExB Wien滤质器提供用于机械调整在滤质器入口和出口端帽的磁场分布的方法和结构。可以通过在入口和出口端帽的外径的缝隙内配置多个磁垫片并且也通过在包围入口和出口孔的圆形通量坝内配置多个磁塞垫片来修改通量返回路径的磁阻。本发明的用于磁场的纯机械调整与现有技术的电磁体调整方法比较的优点包括更大可靠性、简单性、更低成本和无功率耗散。本发明可以将永磁体或者电磁体用于生成质量分离磁场。