保护带和半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN108140570A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680058449.0

    申请日:2016-10-18

    Inventor: 森山浩伸

    Abstract: 在抑制晶片碎屑的同时,使半导体芯片安装时的焊料接合性良好。具有:在形成有突起电极22的晶片21面上,粘贴依次具有粘接剂层11、热塑性树脂层12和基材膜层13的保护带10的工序;研磨晶片21的保护带10粘贴面的相反面的工序;在晶片21的研磨面上粘贴粘合带30的工序;残留粘接剂层11而剥离保护带10,去除其它层的工序;切割粘贴有粘合带30的晶片21,获得单片的半导体芯片的工序;和在切割之前使粘接剂层11固化的工序,固化后的粘接剂层11的储存剪切弹性模量为3.0E+08Pa~5.0E+09Pa的范围,粘贴前的保护带10的粘接剂层11的厚度与突起电极22的高度之比(粘贴前的粘接剂层的厚度/突起电极的高度)为1/30~1/6。

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