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公开(公告)号:CN103890924B
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201280050678.X
申请日:2012-09-10
Applicant: 丹佛斯硅动力股份有限公司
Inventor: 马丁·贝克尔 , 罗纳德·艾西尔 , 弗兰克·奥斯特瓦尔德 , 杰克·鲁兹基
IPC: H01L21/60 , H01L23/485
CPC classification number: H01L24/85 , H01L21/6835 , H01L23/4924 , H01L23/562 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2221/68372 , H01L2224/03013 , H01L2224/0311 , H01L2224/04042 , H01L2224/05639 , H01L2224/05644 , H01L2224/05647 , H01L2224/0603 , H01L2224/2908 , H01L2224/32225 , H01L2224/45014 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/45147 , H01L2224/48227 , H01L2224/48472 , H01L2224/48491 , H01L2224/49111 , H01L2224/73265 , H01L2224/786 , H01L2224/83801 , H01L2224/8382 , H01L2224/8384 , H01L2224/85001 , H01L2924/00015 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01015 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01047 , H01L2924/10253 , H01L2924/1203 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/2076 , H01L2924/00 , H01L2924/00011
Abstract: 本发明涉及功率半导体芯片(10),其具有至少一个上侧电势面且接触厚布线(50)或条片,该功率半导体芯片包括:处于所述电势面上的结合层(1),以及处于所述结合层上的至少一个金属成型体(24、25),所述成型体的面对电势面的下方平坦侧基于结合工艺设有涂覆物以被涂覆至结合层(1),并且根据尺寸选择所述成型体的材料成分以及根据本方法用于接触的、布置在成型体上侧的相关厚布线(50)或条片的厚度。
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公开(公告)号:CN103890924A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201280050678.X
申请日:2012-09-10
Applicant: 丹佛斯硅动力股份有限公司
Inventor: 马丁·贝克尔 , 罗纳德·艾西尔 , 弗兰克·奥斯特瓦尔德 , 杰克·鲁兹基
IPC: H01L21/60 , H01L23/485
CPC classification number: H01L24/85 , H01L21/6835 , H01L23/4924 , H01L23/562 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2221/68372 , H01L2224/03013 , H01L2224/0311 , H01L2224/04042 , H01L2224/05639 , H01L2224/05644 , H01L2224/05647 , H01L2224/0603 , H01L2224/2908 , H01L2224/32225 , H01L2224/45014 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/45147 , H01L2224/48227 , H01L2224/48472 , H01L2224/48491 , H01L2224/49111 , H01L2224/73265 , H01L2224/786 , H01L2224/83801 , H01L2224/8382 , H01L2224/8384 , H01L2224/85001 , H01L2924/00015 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01015 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01047 , H01L2924/10253 , H01L2924/1203 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/2076 , H01L2924/00 , H01L2924/00011
Abstract: 本发明涉及功率半导体芯片(10),其具有至少一个上侧电势面且接触厚布线(50)或条片,该功率半导体芯片包括:处于所述电势面上的结合层(1),以及处于所述结合层上的至少一个金属成型体(24、25),所述成型体的面对电势面的下方平坦侧基于结合工艺设有涂覆物以被涂覆至结合层(1),并且根据尺寸选择所述成型体的材料成分以及根据本方法用于接触的、布置在成型体上侧的相关厚布线(50)或条片的厚度。
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公开(公告)号:CN103855124A
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201310597577.0
申请日:2013-11-22
Applicant: 爱思开海力士有限公司
IPC: H01L23/498 , H01L21/48
CPC classification number: H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L2224/02379 , H01L2224/03003 , H01L2224/0311 , H01L2224/03312 , H01L2224/0332 , H01L2224/03334 , H01L2224/03462 , H01L2224/0348 , H01L2224/03505 , H01L2224/03845 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/05008 , H01L2224/05022 , H01L2224/05023 , H01L2224/05026 , H01L2224/05073 , H01L2224/05144 , H01L2224/05155 , H01L2224/05169 , H01L2224/05568 , H01L2224/05569 , H01L2224/0579 , H01L2224/05839 , H01L2224/05847 , H01L2224/11464 , H01L2224/13023 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13144 , H01L2224/13155 , H01L2224/13169 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/48227 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2924/014 , H01L2224/05552
Abstract: 本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。该半导体装置包括:半导体结构,在其一个表面上形成有用于暴露焊盘的开口;第一导电层,形成在开口中以使半导体结构的一个表面更加均匀;以及导电图案,形成在半导体结构的部分的一个表面上,该一个表面包括第一导电层。
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公开(公告)号:CN101916750A
公开(公告)日:2010-12-15
申请号:CN200910246346.9
申请日:2009-11-27
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L23/498 , H01L23/12 , H01L25/00 , H01L21/48
CPC classification number: H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L2224/02319 , H01L2224/02331 , H01L2224/02351 , H01L2224/02377 , H01L2224/0311 , H01L2224/0312 , H01L2224/03436 , H01L2224/0361 , H01L2224/0401 , H01L2224/05548 , H01L2224/05567 , H01L2224/05647 , H01L2224/1132 , H01L2224/11849 , H01L2224/131 , H01L2224/94 , H01L2924/00013 , H01L2924/0002 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/351 , H01L2924/00014 , H01L2224/11 , H01L2224/03 , H01L2224/13099 , H01L2224/13599 , H01L2224/05599 , H01L2224/05099 , H01L2224/29099 , H01L2224/29599 , H01L2224/05552 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体模块,其是具有把设置在配线层的突起电极与设置在半导体元件的元件电极连接的结构,其中,提高突起电极与元件电极连接的可靠性。在半导体元件与配线层之间设置绝缘树脂层。与配线层形成一体且从配线层向绝缘树脂层侧突出的突起电极与设置在半导体元件的元件电极电连接。突起连接区域端部侧的配线层的局部的高度比向端部侧相反侧延伸的配线层区域的配线层高度低。
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公开(公告)号:CN103875067B
公开(公告)日:2018-02-13
申请号:CN201280050150.2
申请日:2012-09-10
Applicant: 丹佛斯硅动力股份有限公司
Inventor: 马丁·贝克尔 , 罗纳德·艾西尔 , 弗兰克·奥斯特瓦尔德 , 加赛克·鲁兹基
IPC: H01L21/683 , H01L23/485 , H01L21/60
CPC classification number: H01L24/80 , H01L21/6835 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L2221/68322 , H01L2221/68363 , H01L2221/68372 , H01L2221/68377 , H01L2224/03003 , H01L2224/03013 , H01L2224/0311 , H01L2224/0312 , H01L2224/03438 , H01L2224/03505 , H01L2224/04042 , H01L2224/0603 , H01L2224/29111 , H01L2224/29116 , H01L2224/29144 , H01L2224/29339 , H01L2224/29399 , H01L2224/45014 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45147 , H01L2224/48491 , H01L2224/83801 , H01L2224/8382 , H01L2224/8384 , H01L2224/94 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01047 , H01L2924/1033 , H01L2924/1203 , H01L2924/12042 , H01L2924/1304 , H01L2924/35 , H01L2924/351 , Y10T156/10 , H01L2924/00014 , H01L2924/01079 , H01L2924/01042 , H01L2924/01074 , H01L2224/03 , H01L2924/2076 , H01L2924/00 , H01L2924/00015
Abstract: 本发明涉及将具有上侧电势面的功率半导体芯片连接到厚布线或条片的方法,该方法包括以下步骤:提供与上侧电势面的形状相对应的金属成型体;将连接层涂覆到上侧电势面或金属成型体上;在厚布线结合到成型体的非被添加的上侧之前,布置金属成型体并且添加适合的材料、电导通的化合物到电势面。
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公开(公告)号:CN103855124B
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201310597577.0
申请日:2013-11-22
Applicant: 爱思开海力士有限公司
IPC: H01L23/498 , H01L21/48
CPC classification number: H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L2224/02379 , H01L2224/03003 , H01L2224/0311 , H01L2224/03312 , H01L2224/0332 , H01L2224/03334 , H01L2224/03462 , H01L2224/0348 , H01L2224/03505 , H01L2224/03845 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/05008 , H01L2224/05022 , H01L2224/05023 , H01L2224/05026 , H01L2224/05073 , H01L2224/05144 , H01L2224/05155 , H01L2224/05169 , H01L2224/05568 , H01L2224/05569 , H01L2224/0579 , H01L2224/05839 , H01L2224/05847 , H01L2224/11464 , H01L2224/13023 , H01L2224/13082 , H01L2224/131 , H01L2224/13144 , H01L2224/13155 , H01L2224/13169 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/48227 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2924/014 , H01L2224/05552
Abstract: 本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。该半导体装置包括:半导体结构,在其一个表面上形成有用于暴露焊盘的开口;第一导电层,形成在开口中以使半导体结构的一个表面更加均匀;以及导电图案,形成在半导体结构的部分的一个表面上,该一个表面包括第一导电层。
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公开(公告)号:CN103339725B
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201180066989.0
申请日:2011-12-07
Applicant: 德塞拉股份有限公司
IPC: H01L23/485 , H01L25/065 , H01L21/60 , H01L23/31
CPC classification number: H01L21/76898 , H01L23/3171 , H01L23/481 , H01L23/562 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/16 , H01L24/80 , H01L24/81 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/02123 , H01L2224/0215 , H01L2224/0311 , H01L2224/0332 , H01L2224/03466 , H01L2224/03602 , H01L2224/0401 , H01L2224/05009 , H01L2224/05013 , H01L2224/05014 , H01L2224/05015 , H01L2224/05022 , H01L2224/05073 , H01L2224/05186 , H01L2224/05191 , H01L2224/05548 , H01L2224/05551 , H01L2224/05552 , H01L2224/05555 , H01L2224/05564 , H01L2224/05567 , H01L2224/0557 , H01L2224/05571 , H01L2224/05573 , H01L2224/05578 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/05647 , H01L2224/05666 , H01L2224/06181 , H01L2225/06513 , H01L2225/06527 , H01L2225/06544 , H01L2225/06548 , H01L2924/00011 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/0105 , H01L2924/01074 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/07811 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/12042 , H01L2924/15165 , H01L2924/157 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , H01L2924/351 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2224/81805 , H01L2924/06
Abstract: 微电子单元(12)包括基板(20)和导电元件(40)。基板(20)可具有小于10 ppm/℃的热膨胀系数,主表面(21)具有未贯穿基板而延伸的凹陷(30),弹性模量小于10GPa的材料(50)沉积在凹陷内。导电元件(40)可包括覆盖凹陷(30)并从被基板(20)支撑的锚部分(41)延伸的接合部分(42)。接合部分(42)可至少部分地在主表面(21)暴露,用于与微电子单元(12)外部的元器件(14)连接。
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公开(公告)号:CN105742254A
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201511016598.4
申请日:2015-12-29
Applicant: 精材科技股份有限公司
IPC: H01L23/31 , H01L23/488 , H01L21/56
CPC classification number: H01L24/02 , H01L21/268 , H01L21/304 , H01L21/31127 , H01L21/568 , H01L21/6835 , H01L21/76 , H01L21/76802 , H01L21/76898 , H01L21/78 , H01L23/481 , H01L23/49827 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L27/14678 , H01L2221/68327 , H01L2221/68372 , H01L2224/0235 , H01L2224/02372 , H01L2224/02377 , H01L2224/02381 , H01L2224/03002 , H01L2224/0311 , H01L2224/03462 , H01L2224/03464 , H01L2224/0391 , H01L2224/0401 , H01L2224/05025 , H01L2224/05548 , H01L2224/05567 , H01L2224/05647 , H01L2224/13 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2224/94 , H01L2225/06541 , H01L2924/0002 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2224/03 , H01L2224/11 , H01L2924/014 , H01L23/31 , H01L21/56 , H01L23/488
Abstract: 一种晶片封装体及其制造方法,该晶片封装体包含:一晶片,该晶片具有一导电垫、以及相对的一第一表面与一第二表面,其中导电垫位于第一表面上;一第一穿孔,自第二表面朝第一表面延伸,并暴露出导电垫;一激光阻挡结构,位于第一穿孔中的导电垫上,且激光阻挡结构的一上表面位于第二表面上;一第一绝缘层,位于第二表面与激光阻挡结构上,并具有相对于第二表面的一第三表面;一第二穿孔,自第三表面朝第二表面延伸,并暴露激光阻挡结构;以及一导电层,位于第三表面上与第二穿孔中,并接触激光阻挡结构。本发明不仅可省略化学气相沉积绝缘层与图案化绝缘层的制程,还能缩小穿孔的孔径,且可提升晶片封装体侦测时的准确度。
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公开(公告)号:CN105405779A
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201510912169.9
申请日:2011-02-23
Applicant: EV集团E·索尔纳有限责任公司
IPC: H01L21/60 , H01L25/065
CPC classification number: H01L24/03 , H01L24/29 , H01L24/83 , H01L24/94 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/03015 , H01L2224/0311 , H01L2224/0355 , H01L2224/03848 , H01L2224/29 , H01L2224/29111 , H01L2224/29124 , H01L2224/29144 , H01L2224/29147 , H01L2224/29298 , H01L2224/83801 , H01L2224/8383 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/0102 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/0105 , H01L2924/01058 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/0133 , H01L2924/14 , H01L2924/01014 , H01L2924/00014 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/2929 , H01L2924/00 , H01L2224/8384
Abstract: 本发明涉及用于永久连接两个金属表面的方法。本发明涉及用于在第一衬底的包括金属和非金属区域的第一表面和第二衬底的包括金属和非金属区域的第二表面之间制造永久的导电连接的方法,具有如下方法步骤:处理第一和/或第二表面,使得在连接表面时制造至少主要由于在表面的金属区域的金属离子和/或金属原子之间的置换扩散而产生的永久的导电连接,定向和键合第一和第二表面,其中在处理、定向和键合期间不超过最大300℃的过程温度。
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公开(公告)号:CN103299419A
公开(公告)日:2013-09-11
申请号:CN201180064944.X
申请日:2011-11-14
Applicant: 德塞拉股份有限公司
Inventor: 贝勒卡西姆·哈巴
IPC: H01L23/485 , H01L21/60
CPC classification number: H01L24/05 , H01L23/49838 , H01L24/03 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L25/0657 , H01L2224/03001 , H01L2224/03003 , H01L2224/0311 , H01L2224/0401 , H01L2224/04026 , H01L2224/05551 , H01L2224/05552 , H01L2224/05555 , H01L2224/05568 , H01L2224/0557 , H01L2224/05571 , H01L2224/05572 , H01L2224/05576 , H01L2224/05644 , H01L2224/05655 , H01L2224/05686 , H01L2224/0569 , H01L2224/13022 , H01L2224/13023 , H01L2224/16145 , H01L2224/16221 , H01L2224/29018 , H01L2224/29026 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2924/1032 , H01L2924/10329 , H01L2924/1037 , H01L2924/1203 , H01L2924/12042 , H01L2924/1304 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/1436 , H01L2924/1437 , H01L2924/1461 , H01L2924/20107 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 提供了组件(100)及制造组件的方法。组件(100)可包括第一元器件(105),第一元器件包括具有暴露表面(122)的介电区域(120)、在表面(122)上由导电元件(132)限定的导电垫(134)、及与导电垫(134)接合的导电结合材料(140),导电元件的至少一部分在振荡路径或螺旋路径中沿表面(122)延伸,导电结合材料与介电表面(122)的位于相邻段(136,138)之间的暴露部分(137)桥接。导电垫(134)可允许第一元器件(105)与具有端子(108)的第二元器件(107)电互连,端子与垫(134)通过导电结合材料(140)而接合。导电元件(132)的路径可自身重叠或横穿,或可不自身重叠或横穿。
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