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公开(公告)号：CN112658457B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202011435358.9
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种带有减振功能的MEMS器件热压键合方法及工装，该方法包括：1)将载带支撑板固定在工装底板上；2)将载带放置在载带支撑板上；3)将载带压板放置在载带上；4)将载带金属腿压板放置在载带压板上以对载带的金属腿整形；5)取出整形后的载带；6)将传感器敏感结构固定在工装底板上；7)在传感器敏感结构上进行植球；8)对金球进行墩压；9)对准整形后的载带与顶部平整的金球；10)进行热压键合；11)分离工装底板和载带支撑板；12)对热压键合后的载带和传感器敏感结构组件进行外观检查和电气检查。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中带有减振功能的MEMS低应力贴片方法存在制备工艺复杂且制备精度和可靠性低的技术问题。
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公开(公告)号：CN110440798B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201910638589.0
申请日：2019-07-16
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种高精度集成化微惯性测量单元及惯性导航系统，该微惯性测量单元包括：电路模组、柔性部件和安装骨架，电路模组包括综合信息处理电路模块、陀螺电路模块单元和加速度计电路模块单元，柔性部件用于电连接电路模组中的任意两个电路模块以实现电路模组的一体化，电路模组中的七个电路模块一一对应设置在七个安装台面上。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中因陀螺和加速度计的台体构造和互连部件较为复杂所导致的在同等精度条件下微惯性测量单元体积较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN112730892A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011438663.3
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明涉及机械技术领域，公开了一种振梁结构及振梁加速度计敏感结构。其中，该振梁结构包括两个连接单元、两个锁能单元、两个驻波节点和两个叉指，两个所述叉指并联连接在两个所述驻波节点之间，每个锁能单元一端与一个所述驻波节点未连接两个所述叉指的一端连接，另一端与一个所述连接单元连接。由此，可以通过驻波节点与锁能单元配合实现双叉指振动能量的内聚，提高振梁Q值，提高加速度计快速启动特性。并且，锁能单元对对称性要求低，降低了振梁加工难度，提高了成品率，降低了加工成本。此外，振梁在总长度、厚度不变的情况下降低了振梁Z向刚度，提高了加速度计标度因数。
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公开(公告)号：CN112658457A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011435358.9
申请日：2020-12-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种带有减振功能的MEMS器件热压键合方法及工装，该方法包括：1)将载带支撑板固定在工装底板上；2)将载带放置在载带支撑板上；3)将载带压板放置在载带上；4)将载带金属腿压板放置在载带压板上以对载带的金属腿整形；5)取出整形后的载带；6)将传感器敏感结构固定在工装底板上；7)在传感器敏感结构上进行植球；8)对金球进行墩压；9)对准整形后的载带与顶部平整的金球；10)进行热压键合；11)分离工装底板和载带支撑板；12)对热压键合后的载带和传感器敏感结构组件进行外观检查和电气检查。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中带有减振功能的MEMS低应力贴片方法存在制备工艺复杂且制备精度和可靠性低的技术问题。
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公开(公告)号：CN110567450B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201910788548.X
申请日：2019-08-26
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5614 , G01C19/5621 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配方法，该参数匹配方法包括：获取MEMS哥氏振动陀螺仪的表头机械参数；根据表头机械参数调整ASIC电路参数以完成对MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置；依次对MEMS哥氏振动陀螺仪的各项性能进行测试和判断，若任一性能不满足预设的性能指标，则返回调整ASIC电路参数以优化MEMS哥氏振动陀螺仪的模态配置直至各项性能均满足预设的性能指标以完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配。应用本发明的技术方案，能够快速、全面且有效的完成MEMS哥氏振动陀螺仪与ASIC电路的参数匹配，使得MEMS哥氏振动陀螺仪的性能指标符合性能要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102010135A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010540144.8
申请日：2010-11-11
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: C03C15/00
Abstract: 本发明涉及一种抗腐蚀金属掩膜制备方法，特别是一种抗氢氟酸腐蚀液腐蚀的金属掩膜制备方法。本发明的目的是解决现有掩膜腐蚀后存在的钻蚀孔、局部翘曲、起皮缺陷等问题。本发明具体包括如下步骤：a.清洗步骤：首先采用氢氟酸双氧水混合液或硫酸双氧水混合液对待镀膜基片腐蚀浸泡，再用兆声清洗基片。b.镀膜步骤：(1)对基片表面Ar离子轰击，(2)在温度100～220℃、溅射气压0.3～0.gPa、溅射功率1.9～2.5Kw条件下，使基片表面依次镀Cr膜和Cu膜；(3)重复步骤(2)再次在基片表面镀Cr膜和Cu膜，形成双层或多层Cr/Cu金属掩膜。本发明有效减少由于微小颗粒及膜层缺陷引起的针孔钻蚀，提高掩膜的附着力，并有效去除了应力。
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公开(公告)号：CN119642856A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411777741.0
申请日：2024-12-05
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种石英传感器测试装置，石英传感器通过紧固件和簧片固定安装在支架上，支架通过内嵌尾部焊针与测控电路实现信号连接，测控电路通过紧固件和减振器组件同底板固连，实现整体减振，隔离信号干扰，支架对应传感器管脚位置孔内采用平顶、柔性导电材料和焊针结构，传感器管脚插入支架对应引线孔内，压缩平顶和柔性导电材料实现稳定连接，焊针与测控电路信号相连，支架中屏蔽板与电源信号地连接，实现信号屏蔽。本发明用于石英传感器测试筛选，减少干扰、提高了测试稳定性和准确性，拆卸方便，易于更换。
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公开(公告)号：CN117990315A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202311718751.2
申请日：2023-12-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明提供一种双自由度旋转叠加振动工装，该振动工装包括基座；主体结构，所述主体结构设置在所述基座上，所述主体结构包括外圈轴承组件、内圈轴承组件、惯测安装平台、惯测组合以及压环，本发明能够真实还原惯测组合在旋转状态和振动应力共同作用下的实际载荷工况。同时该振动工装还可以同时满足三个方向的随机振动试验，提高试验效率。
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公开(公告)号：CN115728517B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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公开(公告)号：CN117589140A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311219341.3
申请日：2023-09-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种陀螺敏感结构模态配置方法，包括一、获取敏感结构的模态分布，将驱动和检测模态固有频率均提高至大于设定倍数的环境干扰振动的频率；二、设计同步耦合杠杆以提高同向运动模态，以使同向运动模态频率均高于驱动和检测模态固有频率的设定大小；三、调整驱动模态与检测模态分别是第一阶模态与第二阶模态；四、调整驱动和检测关键弹簧梁参数，在模态匹配状态下，使驱动模态的固有频率等于检测模态的固有频率；在非模态匹配状态下，使检测模态的固有频率要高于驱动模态固有频率的设定大小。本发明能够快速、全面且有效的完成陀螺敏感结构模态配置，使得陀螺工作能够在理想的频率上，提高微机械陀螺结构的环境适应性。
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