公开(公告)号：CN1425186A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：CN01808240.8

申请日：2001-12-27

Applicant: 石川岛播磨重工业株式会社

Inventor： 桑原一

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J49/30 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J49/26 ,  H01J49/32

Abstract: 利用空芯励磁电流路(21)而在离子偏转箱的内部于宽度方向形成均匀强度的磁场，该空芯励磁电流路(21)是由：在具有入口部及出口部并弯曲的离子偏转箱的外部、按照经过入口部以及出口部的弯曲形状而在宽度方向螺旋状卷绕导体(20)而形成，将离子束通过入口部的导体(20c)之间而导入空芯励磁电流路的内部，由于空芯励磁电流路的磁场的作用而使离子束根据离子的质量而弯曲，把所希望质量的离子束通过出口部的导体(20d)而取出，由此而能够均匀地离子质量分离大口径的离子束。

公开(公告)号：CN1133484A

公开(公告)日：1996-10-16

申请号：CN95119911.0

申请日：1995-10-26

Applicant: 西门子公司

Inventor： E·普赖斯

IPC: H01J3/40 ,  H01J49/48 ,  H01J37/05 ,  H01J35/02 ,  G01N23/04 ,  A61B6/03

CPC classification number: H01J37/1477 ,  H01J35/02 ,  H01J37/05 ,  H01J49/288 ,  H01J49/48

Abstract: 本发明的对象是一个垂直于电子束轴线(OA)定向的产生EXB场的偏转单元(韦氏滤波器)，它只将强大的横向力作用到带正电的气体离子上，但并不影响电子的运动。这个致偏单元主要包括两个处于固定电位(Vo)的管电极(RA，PE)，一个静电八极偏转器(ED)和两个环形包围着这个八极偏转器(ED)的马鞍形线圈对(SPI，SPA)。

公开(公告)号：CN108987225A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810529805.3

申请日：2018-05-29

Applicant: 住友重机械离子科技株式会社

Inventor： 松下浩 ,  大北义明

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J27/024 ,  H01J37/023 ,  H01J37/05 ,  H01J37/1472

Abstract: 本发明的课题在于提供一种离子注入装置，应对由于使用具有比较高的能量的离子束而有可能产生的核反应。本发明的离子注入装置(100)具备：离子源，构成为生成包含第1非放射性核种的离子的离子束；射束线，构成为支承由包含与第1非放射性核种不同的第2非放射性核种的固体材料形成的离子束被照射体(70)；及控制装置(50)，构成为运算通过第1非放射性核种与第2非放射性核种的核反应而产生的放射线的推断线量与放射性核种的推断生成量中的至少一个。

公开(公告)号：CN108807118A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810589383.9

申请日：2018-06-08

Applicant: 聚束科技(北京)有限公司

Inventor： 李帅 ,  何伟 ,  王瑞平

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/145 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/145 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一能量的初始电子束沿光轴运动，具有第二能量的初始电子束偏转至所述初始电子束的光轴两侧；复合物镜，用于对经所述电磁交叉场分析器作用的初始电子束进行汇聚，形成汇聚电子束；镜后偏转装置，位于所述磁透镜的下极靴孔内，用于改变所述汇聚电子束的运动方向，以使所述汇聚电子束倾斜入射至所述样品台上的待测样品。本发明还公开了一种样品探测方法。

公开(公告)号：CN107094371A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201580067666.1

申请日：2015-12-28

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  爱德华·艾伊斯勒

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1475 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701

Abstract: 离子注入系统(110)使用质量分析器(126)来进行质量分析和角度校正。离子源沿束路径产生离子束(124)。质量分析器放置在离子源的下游，所述质量分析器对离子束执行质量分析和角度校正。位于孔径组件(133)内的分辨孔径(134)位于质量分析器部件的下游并位于束路径上。分辨孔径具有根据所选择的质量分辨率以及离子束的束包络的尺寸和形状。角度测量系统(156)位于分辨孔径的下游并获得离子束的入射角值。控制系统(154)根据来自角度测量系统的离子束的入射角值导出针对质量分析器的磁场调整。

公开(公告)号：CN104040681B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201280065644.8

申请日：2012-03-06

Applicant: 盛达欧米科有限公司

Inventor： 比约恩·万贝里

IPC: H01J49/48 ,  G01N23/227 ,  H01J37/05 ,  H01J49/00

CPC classification number: H01J49/48 ,  G01N23/2273 ,  G01N2223/085 ,  H01J37/05 ,  H01J49/0031 ,  H01J49/06 ,  H01J49/061 ,  H01J49/484 ,  H01J2237/0535

Abstract: 本发明涉及一种用于确定与从粒子发出样本(11)发出的带电粒子相关的至少一个参数的方法，例如，涉及粒子的能量、起始方向、起始位置或转速的参数。该方法包括以下步骤：通过透镜系统(13)，将带电粒子束引导至测量区域的入口中，并检测粒子在测量区域内的位置，其表示所述至少一个参数。此外，该方法包括以下步骤：在粒子束进入测量区域之前，使粒子束在相同的坐标方向上至少偏转两次。从而，能以这样的方式控制粒子束在测量区域(3)的入口(8)处的位置和方向，使得，一定程度上消除对样本(11)的物理操纵的需求。接着，这允许有效地冷却样本，使得能改进能量测量中的能量分辨率。

公开(公告)号：CN105575754A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510548657.6

申请日：2015-08-31

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 立道润一 ,  土肥正二郎 ,  西村一平

IPC: H01J49/20

CPC classification number: H01J49/30 ,  H01J37/05 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/3171 ,  H01J49/20 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/31701

Abstract: 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。

公开(公告)号：CN105531793A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201480047309.4

申请日：2014-05-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 松本弘昭 ,  佐藤岳志 ,  谷口佳史 ,  原田研

IPC: H01J37/295 ,  G01N23/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/10 ,  G01N23/20058 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/153 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。

公开(公告)号：CN105428193A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510477413.3

申请日：2015-08-06

Applicant: 住友重机械离子技术有限公司

Inventor： 渡边一浩 ,  高桥裕二 ,  上野勇介

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/24514

Abstract: 本发明提供一种离子注入装置及离子束的调整方法，其课题在于在避免离子注入装置的生产率的下降的同时实现能量精度的提高。本发明的离子注入装置的能量分析狭缝(28)构成为可切换标准狭缝开口(110)与高精度狭缝开口(112)，所述标准狭缝开口用于在所给注入条件下进行的注入处理；所述高精度狭缝开口具有比标准狭缝开口(110)高的能量精度，且为了调整高频线性加速器的加速参数而使用。加速参数取决于所给注入条件，以便使向高频线性加速器供给的离子的至少一部分加速至目标能量，并且使通过射束测量部测量的射束电流量与目标射束电流量相当。

公开(公告)号：CN104952681A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510104494.2

申请日：2015-03-10

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 八木田贵典

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/05 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/057

Abstract: 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的最终能量过滤器(400)具备入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)。最终能量过滤器(400)具备FEF电源部(414)，该FEF电源部构成为分别单独向入口侧单透镜(304)、中间电极部(401)及出口侧单透镜(308)施加电压。FEF电源部(414)分别向上游辅助电极部(402)、偏转电极部(306)及下游辅助电极部(404)施加电压，以使上游辅助电极部(402)与偏转电极部(306)之间的第1区域中的离子束的能量范围和偏转电极部(306)与下游辅助电极部(404)之间的第2区域中的离子束的能量范围成为相同程度。