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公开(公告)号：CN103765544B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280041417.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J1/304 , H01J37/06 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/073 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J9/04 , H01J37/06 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341
Abstract: 为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。
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公开(公告)号：CN105143864A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480008838.3
申请日：2014-02-14
CPC classification number: H01J37/265 , G01N23/04 , G01N2223/0565 , G01N2223/612 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/063 , H01J2237/1534 , H01J2237/2602 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明描述了一种用于进行柔软物质目标(17)的高分辨率电子显微术的方法。所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标，所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。
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公开(公告)号：CN104603078A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201380046452.7
申请日：2013-03-12
Applicant: LIMO专利管理有限及两合公司
Inventor： V·利索特申克
IPC: C03C23/00 , H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/305
CPC classification number: H01J29/70 , H01J3/30 , H01J29/04 , H01J29/48 , H01J31/00 , H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/305 , H01J2237/0213 , H01J2237/061 , H01J2237/06308
Abstract: 用于产生电子束(4)的装置(20)，包括热阴极(1)、阴极电极(2)、具有开口(6)的阳极电极(3)，由所述装置产生的电子束(4)可以穿过该开口，其中，在装置(20)运行时，在阴极电极(2)和阳极电极(3)之间施加有用于加速从热阴极(1)射出的电子的电压，所述装置还包括偏转机构，该偏转机构可以偏转穿过阳极电极(3)的开口的电子束(4)，其中，偏转机构包括至少一个偏转电极(8、12)，在所述偏转电极上电子束(4)可以被反射和/或所述偏转电极具有相对于电子束(4)的传播方向倾斜的偏转面(9)。
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公开(公告)号：CN104303256A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201280070115.7
申请日：2012-12-19
Applicant: 安特卫普大学
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/04 , H01J3/02 , H01J3/021 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/256 , H01J37/261 , H01J2237/06383 , H01J2237/2614
Abstract: 描述了用于将轨道角动量施加到沿着带电粒子束发生装置中的波束轴(104)传播的带电粒子波的设备(100)。该设备包括：支撑元件(106)，该支撑元件具有适配于透射沿着波束轴(104)传播的带电离子波的目标区域(108)；以及，感应装置(112)，该感应装置用于沿着具有位于所述目标区域(108)的自由端部分的细长轮廓感应磁通，并且该感应装置(112)适配于在所述细长轮廓中提供磁通，以便感应带电离子波在透射经过所述目标区域(108)时的相位相对于波束轴的角梯度。还公开了相应的方法以及其在电子显微术中的使用。
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公开(公告)号：CN102468104A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110354511.X
申请日：2011-11-10
Applicant: FEI公司
Inventor： A.亨斯特拉
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/31713
Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101414128B
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN200810166464.4
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101414124B
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：CN200810166459.3
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: G03F7/20 , H01J37/317
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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公开(公告)号：CN101657875A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200880011889.6
申请日：2008-04-23
Applicant: 株式会社克莱斯泰克
IPC: H01J1/312 , H01J3/14 , H01J37/305 , H01L21/027 , H01J37/073
CPC classification number: H01J37/073 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/312 , H01J37/06 , H01J37/3174 , H01J2201/312 , H01J2237/0635
Abstract: 本发明的面辐射型电子源具有：平面状的第一电极；与第一电极相对设置的平面状的第二电极；设置在第一电极和第二电极之间的电子通过层；以及对第二电极和第一电极施加电压的电源部。电子通过层中，隔开规定的间隔而设置多个量子细线，并从第二电极的表面辐射电子，量子细线在从第一电极朝向第二电极的第一方向上延伸。量子细线由硅构成，同时在第一方向上以规定间隔形成多个粗细度细的部分。
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公开(公告)号：CN101529550A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780038510.6
申请日：2007-10-18
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/06 , H01J37/304 , H01J2237/004 , H01J2237/182
Abstract: 皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中，消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响，使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度，来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置，优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次，也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此，产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。
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公开(公告)号：CN101414534A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166457.4
申请日：2003-10-30
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 , 波特·扬·卡姆弗彼科 , 亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 , 彼得·克瑞特
IPC: H01J37/317 , G03F7/20
CPC classification number: H01J3/02 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375 , H01J2237/3045
Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。
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