Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von optoelektronischen Halbleiterchips und optoelektronischer Halbleiterchip

    公开(公告)号:DE102012101409A1

    公开(公告)日:2013-06-27

    申请号:DE102012101409

    申请日:2012-02-22

    Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von optoelektronischen Halbleiterchips (1) angegeben, wobei ein Schichtverbund (10) mit einer Hauptebene (3), die den Schichtverbund (10) in einer vertikalen Richtung begrenzt, und mit einer Halbleiterschichtenfolge (2) mit einem zur Erzeugung und/oder Detektion von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20) bereitgestellt wird, wobei in dem Schichtverbund (10) eine Mehrzahl von Ausnehmungen (31) ausgebildet ist, die sich von der Hauptebene (3) in Richtung des aktiven Bereichs (20) erstrecken. Auf der Hauptebene (3) wird eine Planarisierungsschicht ausgebildet, sodass die Ausnehmungen zumindest teilweise mit Material der Planarisierungsschicht (6) befüllt werden. Material der Planarisierungsschicht (6) wird zumindest bereichsweise zum Einebenen der Planarisierungsschicht entfernt. Die Halbleiterchips (1) werden fertig gestellt, wobei für den Halbleiterchip (1) aus der Halbleiterschichtenfolge (2) zumindest ein Halbleiterkörper (200) hervorgeht. Weiterhin wird ein optoelektronischer Halbleiterchip angegeben.

    Optoelektronische Projektionsvorrichtung

    公开(公告)号:DE102008062933A1

    公开(公告)日:2010-07-01

    申请号:DE102008062933

    申请日:2008-12-23

    Abstract: Es ist eine optoelektronische Projektionsvorrichtung vorgesehen, die im Betrieb ein vorgegebenes Bild (10) erzeugt. Die Projektionsvorrichtung umfasst einen Halbleiterkörper (1), der eine zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung geeignete aktive Schicht (101) und eine Strahlungsaustrittsseite (102) aufweist. Der Halbleiterkörper (1) ist ein Bild gebendes Element der Projektionsvorrichtung. Zur elektrischen Kontaktierung des Halbleiterkörpers (1) sind eine erste Kontaktschicht (2) und eine zweite Kontaktschicht (3) an einer der Strahlungsaustrittsseite (102) gegenüberliegenden Rückseite (103) des Halbleiterkörpers (1) angeordnet und mittels einer Trennschicht (4) elektrisch voneinander isoliert.

    40.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102007022947A1

    公开(公告)日:2008-10-30

    申请号:DE102007022947

    申请日:2007-05-16

    Abstract: An optoelectronic semiconductor body includes a semiconductor layer sequence which has an active layer suitable for generating electromagnetic radiation, and a first and a second electrical connecting layer. The semiconductor body is provided for emitting electromagnetic radiation from a front side. The first and the second electrical connecting layer are arranged at a rear side opposite the front side and are electrically insulated from one another by means of a separating layer. The first electrical connecting layer, the second electrical connecting layer and the separating layer laterally overlap and a partial region of the second electrical connecting layer extends from the rear side through a breakthrough in the active layer in the direction of the front side. Furthermore, a method for producing such an optoelectronic semiconductor body is specified.

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