公开(公告)号：CN101414129A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200810166465.9

申请日：2003-10-30

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： 马尔科·扬-哈科·威兰 ,  波特·扬·卡姆弗彼科 ,  亚历山大·哈德瑞克·文森特·范费恩 ,  彼得·克瑞特

IPC: G03F7/20 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J3/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/3045

Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。

公开(公告)号：CN101019203A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200580021202.3

申请日：2005-04-29

Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司

Inventor： 皮特·克鲁特

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/06316

Abstract: 本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的带电粒子束曝光装置，包括：射束发生器，它包括基本在一个平面中的多个n个带电粒子源(1)，每个源适合于产生带电粒子束；第一孔径阵列(4)，它包括多组孔径，每组孔径对准一个源，以将每个射束分裂成多个细射束m，从而导致总共n×m个细射束；以及偏转器阵列(6)，它包括多组偏转器，每组偏转器对准一个源和一组孔径，一个组中的每个偏转器对准相应组的孔径，并且每组偏转器可用于确证对其相应射束的准直影响。

公开(公告)号：CN106463322B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201580026256.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 江欣荣 ,  韩立群

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

Abstract: 一个实施例涉及一种双威恩过滤器单色器。第一威恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二威恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN104008943B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201410066714.2

申请日：2014-02-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.马佐斯

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/10

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/21 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。

公开(公告)号：CN103430275B

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201280013818.6

申请日：2012-02-21

Applicant: 电化株式会社

Inventor： 森下利幸 ,  照井良典 ,  广川晋平

IPC: H01J37/06 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01R43/26 ,  H01J3/02 ,  H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/067 ,  H01J37/07 ,  H01J37/08 ,  Y10T29/49117

Abstract: 本发明是一种预先将阴极（1）和阳极（9）组入进行组装并且能够在将所述阴极和所述阳极组入了的状态下进行保管和输送的带电粒子枪（EG），其特征在于，在保管和输送所述带电粒子枪时，用导体（11）连接所述阴极和所述阳极。由此，能够防止由于在保管和输送过程中产生的静电所引起的放电导致带电粒子枪的电极前端受损。

公开(公告)号：CN104704601B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201280076337.X

申请日：2012-10-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 市村崇 ,  新田久雄 ,  薗部信之 ,  赵福来 ,  村越久弥

IPC: H01J9/02 ,  H01J1/16 ,  H01J1/30 ,  H01J37/06

CPC classification number: H01J37/065 ,  C25F3/26 ,  H01J1/16 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J9/042 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341

Abstract: 在以往的基片加工方法中，无法指定前端形状的尺寸来进行制作，无法得到具有所期望的任意径的基片。此外，基片中可能附着杂质。利用基片前端直径与正在加工基片前端时的施加电压或所围住的时间的相互关系，控制得到所期望前端直径的施加电压，来加工基片。由此，能够在钨单晶细丝尖锐化后的前端直径为0.1μm以上2.0μm以下的范围，制造具有所期望的任意径的基片。

公开(公告)号：CN106847660A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710217541.3

申请日：2017-04-05

Applicant: 中国科学技术大学

Inventor： 朱林繁 ,  陈昕 ,  徐卫青

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/07

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/07

Abstract: 本发明公开了一种中高能电子枪，包括：电子枪体、差分抽气管、电极法兰和高压Q9头排布板；其中，电极法兰固定设置在差分抽气管上，高压Q9头排布板固定设置在电极法兰后端；差分抽气管上还分别设有法兰底座、差分抽气接口和真空计接口；电子枪体固定设置在法兰底座接口内侧；电子枪体包括：热阴极灯丝、压片、栅极底座、阳极、聚焦极、偏转机构、钼片、第一绝缘垫片、第二绝缘垫片、第三绝缘垫片、枪头和外筒。该电子枪由于采用栅极底座、阳极、聚焦极构成的二级聚焦透镜，其聚焦性能和平行性能好良好，枪头内设置偏转机构使得束斑位置可调，该电子枪结构简单且性能稳定。

公开(公告)号：CN105103263B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201480018726.6

申请日：2014-03-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长冲功 ,  大八木敏行 ,  松本弘昭 ,  仲野靖孝 ,  佐藤岳志 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/06 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2802

Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。

公开(公告)号：CN106537550A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201580038621.1

申请日：2015-10-09

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： R·西蒙斯 ,  D·马斯纳盖蒂 ,  M·麦科德 ,  F·施坦克 ,  S·杨 ,  C·西尔斯

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J37/026 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/061

Abstract: 本发明的实施例涉及一种电子束成像/检验设备，其具有电子源装置以紧接在图像获取或检验之前将泛射电子引导于样本上。所述设备包括经配置以在第一模式中对样本进行充电的第一装置，其中所述第一装置包含电子源，所述电子源经配置以将带电粒子的泛射束提供到所述样本的第一区域。所述设备还包括第二装置，所述第二装置经配置以在第二模式中产生初级电子束且表征所述初级束与所述第一区域内所述样本的第二区域之间的相互作用。所述设备经配置成以少于1秒从所述第一模式切换到所述第二模式。

公开(公告)号：CN104303256B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201280070115.7

申请日：2012-12-19

Applicant: 安特卫普大学

Inventor： J·费尔贝克 ,  G·范腾德罗

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J3/02 ,  H01J3/021 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/256 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/06383 ,  H01J2237/2614

Abstract: 描述了用于将轨道角动量施加到沿着带电粒子束发生装置中的波束轴(104)传播的带电粒子波的设备(100)。该设备包括：支撑元件(106)，该支撑元件具有适配于透射沿着波束轴(104)传播的带电离子波的目标区域(108)；以及，感应装置(112)，该感应装置用于沿着具有位于所述目标区域(108)的自由端部分的细长轮廓感应磁通，并且该感应装置(112)适配于在所述细长轮廓中提供磁通，以便感应带电离子波在透射经过所述目标区域(108)时的相位相对于波束轴的角梯度。还公开了相应的方法以及其在电子显微术中的使用。