公开(公告)号：CN1988107B

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200610168622.0

申请日：2006-12-19

Applicant: 日新意旺机械股份有限公司

Inventor： 池尻忠司

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24535 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/31703

Abstract: 离子束照射装置具有：射束剖面监视器14，其在目标8的附近测量离子束4在y方向中的射束电流密度分布；可移动屏蔽板组18a、18b，它们分别具有在y方向中安置的以便在该目标的位置的上游侧上横跨离子束路径彼此相对的多个可移动屏蔽板16，该可移动屏蔽板可在x方向中相互独立地移动；屏蔽板驱动设备22a、22b，它们以相互独立的方式在x方向中往复驱动构成该组的可移动屏蔽板16；以及屏蔽板控制设备24，其基于由该监视器14获得的测量数据控制屏蔽板驱动设备22a、22b以便相对增加对应于所测量的y方向射束电流密度相对大的位置的相对可移动屏蔽板16阻挡离子束4的量，从而提高在y方向中的射束电流密度分布的均匀性。

公开(公告)号：CN101714491A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910253908.2

申请日：2005-04-15

Applicant: 纳沃技术有限公司

Inventor： 克劳斯·埃丁格 ,  约瑟夫·塞尔迈尔 ,  托尔斯滕·霍夫曼

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/09 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/026

Abstract: 利用带电粒子研究或修改样品的装置。所述装置具体为扫描电子显微镜，所述样品具有样品表面，所述装置包括：带电粒子束；导电屏蔽元件，具有用于使所述带电粒子束穿过的开孔；其中所述屏蔽元件以使所述屏蔽元件不接触所述样品的距离位于所述样品上方；其中在所述屏蔽元件和所述样品表面之间的距离小于50微米，其特征在于，所述屏蔽元件的开孔在至少一个方向上的尺寸小于50微米。

公开(公告)号：CN101416270A

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：CN200780012023.2

申请日：2007-03-27

Applicant: 株式会社IHI

Inventor： 中本一朗 ,  宝来宽 ,  袖子田龙也 ,  吉田昌弘

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明涉及使质量分离了的离子束对基板照射进行离子注入的质量分离型离子注入装置。在具备接收来自质量分离电磁铁(17)的离子束(1)、分选所希望的离子并使其通过的分离狭缝(20)的离子注入装置(10)中，分离狭缝(20)以使离子束(1)通过的缝隙形状是可变的方式构成。此外，离子注入装置(10)具备可变狭缝(30)，其配置在引出电极系统(15)和质量分离电磁铁(17)之间，形成离子束(1)通过的缝隙，该可变狭缝(30)以遮蔽从离子源(12)引出的离子束(1)的一部分的方式可变地构成缝隙形状。该离子注入装置(10)具备分离狭缝(20)可变狭缝(30)的双方也可，具备任一方也可。

公开(公告)号：CN101383261A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200710162191.1

申请日：2007-12-21

Applicant: 采钰科技股份有限公司

Inventor： 郭养国 ,  邓国星

IPC: H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/045

Abstract: 本发明提供一种扫描式电子显微镜，包括：电子束源，产生初级电子束；聚焦透镜，聚焦该初级电子束；基板，其表面形成有具有孔隙的钻石膜，以供该初级电子束通过；以及扫描单元，以该初级电子束对样品进行二维扫描。本发明可解决基板空隙变形及微粒污染的问题，有效降低成本，并能有效增加电子束强度。

公开(公告)号：CN1256788A

公开(公告)日：2000-06-14

申请号：CN98805166.4

申请日：1998-05-14

Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司

Inventor： 张涛

IPC: H01J29/84

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J2237/3175

Abstract: 一种孔眼部件(10),包括设有用于电子束(E)的通道(12)的本体(11)和用于阻挡除穿过通道外的部分或全部电子束行进的阻挡面(15)。阻挡面(15)呈斜角,使由被阻挡的电子束或其一部分电子束产生的脱离电子偏离通道的轴(13)射出,尤其是射入由表面(15)和屏蔽部件(17)的壁限定的电子俘获空腔(21)中。壁将电子返回阻挡面(15),再反方向返回俘获空腔(21),因此,防止散射电子的逃脱或延迟其逃脱。直至产生充分的吸收,将其大量无损害地提供给装备该部件的电子束柱的内部环境。

公开(公告)号：CN108666192A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810233827.5

申请日：2018-03-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 岩堀敏行

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749 ,  H01J37/04 ,  H01J37/1471

Abstract: 本发明的提供带电粒子束装置，其能够容易执行使入射到试样的电子束减速的电极与试样的适当且高精度的位置对齐。该带电粒子束装置(10)具有试样室(110)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)、以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有电极部件(45)。该电极部件(45)设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位，并形成有使电子束通过的电极贯通孔。带电粒子束装置(10)具有使电极部件(45)移位的驱动机构(42)、对电极部件(45)施加负电压的电源(20)、以及对试样室(11)和驱动机构(42)与电极部件(45)进行电绝缘的绝缘部件(43)。

公开(公告)号：CN106165054B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201580019322.3

申请日：2015-04-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/04 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/14

Abstract: 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。

公开(公告)号：CN108369887A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201780004430.2

申请日：2017-01-19

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 尼尔·科尔文 ,  哲-简·谢 ,  保罗·西尔弗斯坦

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/063 ,  H01J37/09 ,  H01J37/08 ,  H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/083

Abstract: 一种用于离子注入系统的光学面板，该光学面板包括一对孔径组件。每对孔径组件各自包括第一孔径构件、第二孔径构件以及孔径固件，其中该孔径固件将第一孔径构件固定至第二孔径构件。孔径尖端可以同样固定至第二孔径构件。第一孔径构件、第二孔径构件、孔径尖端和孔径固件中的一个或多个由耐熔金属、钨、钨镧合金、钨钇合金和/或石墨和碳化硅中的一种或多种制成。孔径组件可以限定离子注入系统中的引出电极组件、接地电极组件或其他电极组件。

公开(公告)号：CN105405734B

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：CN201510554068.9

申请日：2015-09-02

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： E.F.德荣格 ,  S.拉扎 ,  P.C.蒂伊梅杰 ,  R.格尔恩克

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/226 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：‑样本夹持器，用于夹持样本；‑源，用于产生带电粒子的射束；‑照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；‑成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：‑使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；‑在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；‑使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；‑使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。

公开(公告)号：CN107408484A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201580077898.5

申请日：2015-04-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 塙晓成 ,  菊池秀树 ,  谷口佳史 ,  矢口纪惠 ,  土桥高志 ,  渡边庆太郎 ,  玉置央和

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/09 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/224 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/295

Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。