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公开(公告)号：KR101105249B1
公开(公告)日：2012-01-17
申请号：KR1020090111008
申请日：2009-11-17
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 패터닝된 그래핀을 원하는 위치에 전사할 수 있고, 그라파이트화 촉매의 식각에 따른 오염 문제가 없는 그래핀 패턴 형성방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 패턴 형성방법은 그라파이트(graphite)화 촉매로 이루어지고, 패터닝되어 있는 임프린트(imprint) 스탬프를 제조한 후, 임프린트 스탬프 상에 그래핀(graphene)을 형성하고, 임프린트 방법을 이용하여 임프린트 스탬프 상에 형성된 그래핀을 기판 상에 전사한다.
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24.发明公开플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈 有权一种柔性太阳能电池的制造方法，由此制造的柔性太阳能电池以及使用该柔性太阳能电池的柔性太阳能电池模块
公开(公告)号：KR1020170113797A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020160036143
申请日：2016-03-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/18 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/0445 , H01L31/0682 , H01L31/186 , H01L31/1892
Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에경화성수지층을형성하는제2단계와, 상기경화성수지층을패터닝하고경화하여, 홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기홀패턴내부에후면전극을형성시키는제4단계와, 상기벌크기판을제거하는제5단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제6단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을적용하여플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시킬수 있도록하였으며, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种生产由此制造方法的柔性太阳能电池和所述柔性太阳能电池，在形成体衬底上的半导体层的第一步骤，以及形成在半导体层上的可固化树脂层的第二步骤，上 ，图案化的第五步骤和固化该可固化树脂层，以及第三步骤，以形成具有孔图案的柔性基片，以及形成在孔图案的内部的背面电极的第四步骤中，去除所述体衬底 并且，包含该步骤6和使用该太阳能电池的柔性柔性太阳能电池模块，所述柔性太阳能电池的第一制造方法和它产生由此形成下面的技术要旨的半导体层中的前电极。 这种做发明是应用具有孔图案的柔性基板，所述柔性基板以改进电性能和热性能使用时的问题是这样可提高太阳能电池的性能，采用设置有这种孔图案的柔性基板的柔性太阳能电池 具有串联连接时要使用的模块化的，可以提供灵活的重量轻的太阳能电池或挠性重量轻的太阳能电池模块，其能够显着减轻重量能够更正背面电极连接问题的问题。
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公开(公告)号：KR101769749B1
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：KR1020150185329
申请日：2015-12-23
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은수평방향으로굴절률이제어된양면패턴의제조방법및 그에의해제조된양면패턴에관한것으로서, 고분자기판상에미세구조체패턴및 얼라인키(align key)가형성된제1스탬프를위치시켜열간성형하여상기고분자기판에상기제1스탬프의미세구조체패턴과역상인제1패턴을각인시키고, 얼라인키를표시하는제1단계와, 상기제1패턴이각인된고분자기판에서상기제1스탬프를분리하여, 상기고분자기판상에제1패턴을성형하는제2단계와, 상기제1패턴이형성된고분자기판상에유동성재료를도포하여, 상기제1패턴과역상인하측패턴을상기유동성재료하측면에형성하는제3단계와, 상기도포된유동성재료상에미세구조체패턴및 얼라인키(align key)가형성된제2스탬프를위치시켜가압하고, 경화공정을수행하여상기유동성재료상측면에상기제2스탬프의미세구조체패턴과역상인상측패턴을각인시키는제4단계및 상기상측패턴이각인된유동성재료에서상기제2스탬프를분리하여, 상기고분자기판상에유동성재료로이루어진양면패턴을성형하는제5단계를포함하여이루어지되, 상기제4단계는, 상기고분자기판에표시된얼라인키와상기제2스탬프의얼라인키를정렬한후 상기유동성재료상에상기제2스탬프를위치시켜상기유동성재료의수평방향으로가해지는상기제2스탬프의가압력을제어하는것을특징으로하는수평방향으로굴절률이제어된수평방향으로굴절률이제어된양면패턴의제조방법및 이에의해제조된양면패턴을그 기술적요지로한다. 이에의해본 발명은간단한공정에의해양면패턴을동시에성형할수 있고, 특히열간성형및 임프린트공정시 얼라인키를이용함으로써, 수평방향으로의굴절률이제어된양면패턴을제공할수 있으며, 이후이종의기판또는박막에용이하게전사할수 있어다양한분야에의활용이가능한이점이있다.
Abstract translation: 制造双面图案化折射率的发明方法被控制在水平方向上，从而为在由图案精细结构的聚合物衬底上产生的图案的两侧，并对准inki（对准键）是热模压通过将形成的第一压模 到聚合物基材和雕刻微结构图案和反相摄取第一压模中的一个模式，所述第一压模中显示对齐inki的第一步骤中分离，聚合物衬底，所述第一图案被雕刻， 形成聚合物衬底上形成第一图案，所述第一液体涂覆到聚合物基材1的第二步骤中，形成在材料中的图案，形成底部表面，其中所述可流动的材料在所述第一图案和所述反相切口侧图案 第三步骤和细到所施加的流体jaeryosang结构图案和对准inki（对准键）通过将所述第二时间戳的时间戳第二到流动性jaeryosang侧压力机的精细结构图案被形成，通过进行固化处理 gwayeok 以及将第二印模与其中印有上部图案的流体材料分离以在聚合物基底上形成流体材料的双面图案的第五步骤， 第四步骤中，并随后被显示在聚合物基板对准的对准inki和对准的第二印模inki置于用于第二印模的流动性jaeryosang第二印模变成流体材料的水平方向 和用于产生在水平方向上的折射率的水平方向上的折射率的方法进行控制模式控制双方，其特征在于，用于控制所述压力，并因此通过作为技术基础制造的双面图案。 此完成本发明可以在同一时间通过时对准inki使用热成形和压印工艺形成通过简单的工艺成双面图案，特别是，能提供一个双面图案在控制的水平方向上的折射率，异质衬底或后 它可以很容易地转移到薄膜上，因此可以用于各种领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170047721A
公开(公告)日：2017-05-08
申请号：KR1020150148153
申请日：2015-10-23
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은집광형태양광발전방법및 시스템에관한것으로서, 상기방법은태양추적방식에따라태양의황도를계산하여태양전지판을조정하는단계, 상기태양전지판을구성하는하나이상의단위모듈에서태양광을집광하는단계,단위모듈에장착된온도센서를이용하여, 온도분포를측정하는단계및 측정한온도분포결과에따라하나이상의단위모듈을보정하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101653530B1
公开(公告)日：2016-09-02
申请号：KR1020140193673
申请日：2014-12-30
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본발명은형광체도포공정이필요없는(phosphor-free) 백색발광소자에관한것으로서, GaN 기판상에마스크층을형성하는제1단계와, 상기마스크층을패터닝하여상기 GaN 기판의일부영역을노출시키는나노패턴을형성하는제2단계와, 상기나노패턴에대응하여상기 GaN 기판상에 GaN을선택적으로성장시켜서로다른결정면이노출되도록 GaN 나노구조체를성장시키는제3단계및 상기 GaN 나노구조체상에활성층을포함하는나노구조층을성장시키는제4단계를포함하여이루어지되, 상기활성층은상기 GaN 나노구조체의결정면에따라유효조성물의함량이달라발광파장의조절이가능한것을특징으로하는나노구조체를이용한백색발광소자의제조방법및 그에의해제조된나노구조체를이용한백색발광소자를기술적요지로한다. 이에의해활성층의노출되는결정면을조절하여각 유효조성물의함량을제어하여활성층의발광파장을조절할수 있게되어, 단일소자내에서에피성장과정중에청색과황색발광을유도하여백색발광을구현할수 있는이점이있다.
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公开(公告)号：KR1020150073645A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：KR1020130161605
申请日：2013-12-23
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: B82B3/0095 , B29C67/00
Abstract: 본발명은비대칭형나노구조체의형성방법에관한것으로서, 기판또는박막상에임프린트층을형성하는제1단계와, 상기임프린트층상에가변형임프린트용스탬프를위치시켜, 상기가변형임프린트용스탬프의패턴을변형시키기위한압력또는방향으로가변형임프린트용스탬프를가압하고, 경화공정을수행하여비대칭패턴층을형성하는제2단계와, 상기비대칭패턴층의잔류막을제거하여기판또는박막의일부영역을노출시키는제3단계와, 상기노출된기판또는박막영역및 비대칭패턴층상에금속또는금속산화물을증착하는제4단계와, 상기비대칭패턴층을제거하여기판또는박막상에금속또는금속산화물패턴을형성하는제5단계를포함하여구성되는것을특징으로하는비대칭형금속또는금속산화물나노구조체의형성방법을기술적요지로한다. 이에의해간단한공정에의해대면적의비대칭형금속또는금속산화물나노구조체를얻을수 있으며, 상기가변형임프린트용스탬프의압력또는방향에따라패턴의비대칭성정도를조절할수 있어다양한분야에활용할수 있는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及不对称金属或金属氧化物纳米结构体的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括：在基板或薄膜上形成压印层的第一工序; 用于在压印层上定位可变压印印模的第二步骤，以适于转换可变印记印模图案的压力和方向按压可变印记印模，并在其上进行固化处理以形成不对称图案层; 用于去除所述不对称图案层的残留膜以暴露所述衬底或所述薄膜的一部分的第三步骤; 第四步，用于在基板或薄膜的暴露部分上去除金属或金属氧化物; 以及用于去除所述不对称图案层以在所述基板或所述薄膜上形成金属或金属氧化物图案的第五步骤。 因此，可以制造大面积不对称金属或金属氧化物纳米结构。 此外，可以根据可变印记印模的压力或方向来调整图案的不对称程度，由此本发明可以用于各种领域。
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公开(公告)号：KR101508185B1
公开(公告)日：2015-04-07
申请号：KR1020130137855
申请日：2013-11-13
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: G03F7/0037 , G03F7/0002 , G03F7/0035 , G03F7/0045
Abstract: 본발명에따르면기판또는박막의상부에감광성금속-유기물전구체층을형성하는감광층형성단계; 상기감광성금속-유기물전구체층을 1차광을사용하여포토리소그래피하며, 상기 1차광은완전경화도즈(Dose) 보다낮고임계도즈보다높은강도로조사하는메타-포토리소그래피단계; 상기감광성금속-유기물전구체층에패턴이형성된임프린트용스탬프로가압하여패턴을형성하는임프린팅단계; 상기감광성금속-유기물전구체층에완전경화도즈이상으로 2차광또는열을조사하여금속산화박막패턴층을형성하는포토리소그래피완료단계; 상기임프린트용스탬프를상기금속산화박막패턴층으로부터제거하고현상(Developing)하는단계를포함하는것을특징으로하는 3차원금속산화물구조체제조방법을제공한다. 이를통해일회의현상공정을통해두 가지패턴을함께새길수 있고, 임프린팅단계에서압력의집중이일어나지않아서공정을단순화하고패턴을정밀하게새길수 있다.
Abstract translation: 根据本发明，提供了一种三维金属氧化物结构体的制造方法。 该方法包括在基板或薄膜的上侧形成感光金属 - 有机材料前体层的感光层形成步骤; 使用以强度低于完全固化剂量并高于阈值剂量发射的第一光进行感光金属 - 有机材料前体层上的光刻的元光刻步骤; 通过用感光金属 - 有机材料前体层压印印模来形成图案的压印步骤; 通过用强度为全固化剂量或更高的第二光照射感光金属 - 有机材料前体层或通过向感光金属 - 有机材料前体层提供热量来形成金属氧化物薄膜图案层的光刻精加工步骤; 以及从感光金属氧化物薄膜图案层去除印模的印模并显影感光金属氧化物薄膜图案层的显影步骤。 通过本发明的方法，可以通过一个显影步骤将两个图案印刷在一起，并且在印刷步骤期间压力不集中在一个区域上。 因此，可以简化处理，并且可以精确地印刷图案。
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公开(公告)号：KR101419529B1
公开(公告)日：2014-07-15
申请号：KR1020120156765
申请日：2012-12-28
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: 본 발명은 발전 소자의 자가 생성 전력을 이용하여, 발전 소자의 전극을 전해도금으로 형성하는 것으로서, 발전 소자의 전극을 전해 도금으로 형성하는 방법에 있어서, 에너지를 전달했을 때, 정공-전자쌍이 생성되는 발전 소자 기판을 도금 용액에 담그는 제1단계와, 상기 발전 소자가 전력을 생성하기 위해 필요한 에너지 전달 조건을 변경하여 에너지를 전달하는 제2단계 및 상기 발전 소자의 자가 생성 전력으로 상기 발전 소자의 전극 형성을 위한 도금을 진행하는 제3단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 발전 소자의 전극을 전해 도금으로 형성하는 방법을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 기존의 태양 전지 등에서의 광 유도 플레이팅 공정에 의한 전극 형성 방법과는 달리, seed-metal이 필요없으므로, 공정 시간 및 비용을 절감시키며, 공정의 단순화에 따른 소자 특성을 향상시키고, 발전 소자가 전력을 생성하기 위한 에너지 전달 조건을 다양하게 변경하여, 도금되는 전극의 도금 속도, 밀도, 구조 등 특성을 조절할 수 있어, 사용하고자 하는 발전 소자의 특성에 적합한 고품질의 전극을 형성할 수 있는 이점이 있다.
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