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公开(公告)号：CN106165054A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580019322.3
申请日：2015-04-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/04 , H01J37/12 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/065 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04756 , H01J2237/14
Abstract: 电子线装置中，难以受到外部干扰的影响且兼得高空间分辨率和高亮度。电子线装置中，例如在产生电子线的电子源(101)与使电子线聚集在试料(114)上的物镜之间，在电子源(101)侧配置高电压的射线管(110)，并在低物镜侧配置低电压的射线管(112)。由此，即使是具备能动地向试料泄漏磁场的类型的物镜的SEM，也能够维持空间分辨率同时实现高亮度化。
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公开(公告)号：CN104246965B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201380020619.2
申请日：2013-04-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。
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公开(公告)号：CN103620728B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280031593.7
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/295 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。
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公开(公告)号：CN105405734A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510554068.9
申请日：2015-09-02
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/226 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/057 , H01J2237/15 , H01J2237/2007 , H01J2237/24485 , H01J2237/24585 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及一种在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法，所述透射带电粒子显微镜包括：-样本夹持器，用于夹持样本；-源，用于产生带电粒子的射束；-照明器，用于引导所述射束以便照射所述样本；-成像系统，用于将透射穿过所述样本的带电粒子的通量引导到光谱学装置上，所述光谱学装置包括用于使所述通量分散到光谱子射束的能量分辨阵列中的分散设备，所述方法包括以下步骤：-使用可调光圈设备来容许所述阵列的第一部分到达检测器，同时阻挡所述阵列的第二部分；-在所述光圈设备上游在所述通量中提供辐射传感器；-使用所述传感器来在所述阵列的所述第二部分的所选区域中执行局部化辐射感测，同时通过所述检测器检测所述第一部分；-使用来自所述传感器的感测结果来调整来自所述检测器的检测结果。
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公开(公告)号：CN102709143B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210111707.0
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 应用材料以色列公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/317 , B82Y10/00
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105359250A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201480033874.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/09 , H01J37/28
Abstract: 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
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公开(公告)号：CN103257528B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310047452.0
申请日：2013-02-06
Applicant: 纽富来科技股份有限公司
IPC: G03F7/20 , H01J37/317 , B82Y10/00
Abstract: 一种电子束描绘装置及电子束描绘方法，该电子束描绘装置（100）具有：XY载物台（105），载放试样（216）；以及电子镜筒（102），配置有出射电子束（200）的电子枪（201）和具备排列在电子束（200）的轴向上的电极的透镜（202、204、207、210）。在XY载物台（105）和电子镜筒（102）之间设置有屏蔽板（211），该屏蔽板（211）屏蔽电子束（200）向试样（216）照射而产生的反射电子或二次电子。在屏蔽板（211）的正上方配置有改变电子束（200）的焦点位置的静电透镜（210），始终从电压供给单元（135）对静电透镜（210）施加正电压。
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公开(公告)号：CN102741968B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201080062962.X
申请日：2010-12-17
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： J·佩斯特 , A·梅恩达勒 , A·J·M·希尔德林克
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/3177 , H01J2237/0264 , H01J2237/202
Abstract: 本发明涉及设置有支撑和定位结构的带电粒子系统，所述支撑和定位结构用于将目标物支撑和定位在工作台上，所述支撑和定位结构包括第一构件和第二构件以及至少一个马达，以相对于所述第二构件移动所述第一构件，其中，设置有屏蔽件来屏蔽至少一束带电粒子束使其免受由所述至少一个马达产生的电磁场的影响，所述支撑和定位结构还包括弹簧，其机械地将所述第一构件连接到所述第二构件，以至少部分承载所述第一构件、工作台和目标物的重量。
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公开(公告)号：CN103365101B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210096470.3
申请日：2012-04-01
Applicant: 中国科学院物理研究所
CPC classification number: H01J37/09 , G01R33/093 , G01R33/096 , H01F7/202 , H01F7/204 , H01F41/00 , H01J37/141 , H01J2237/0262 , H01J2237/0264 , H01J2237/28 , H01J2237/31754 , H01L43/12
Abstract: 一种纳米图形化系统及其磁场施加装置，该纳米图形化系统包括真空腔、样品台和磁场施加装置，该磁场施加装置包括电源、磁场产生装置和一对磁极，所述磁场产生装置包括线圈和导磁软铁芯，所述电源与所述线圈连接，所述线圈缠绕在所述导磁软铁芯上以产生磁场，所述导磁软铁芯为半闭合框形结构，所述磁极分别安装在所述半闭合框形结构的两末端，所述纳米图形化系统的真空腔内设置有样品台，所述磁极相对于所述样品台设置在所述真空腔内，所述线圈和所述导磁软铁芯设置在所述真空腔外，所述导磁软铁芯将所述线圈产生的磁场引导进入所述真空腔内，所述磁极用以对所述样品台上的样品进行定位以及局域磁场的施加。
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公开(公告)号：CN104246965A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020619.2
申请日：2013-04-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。
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