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公开(公告)号：KR1020170010917A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150102133
申请日：2015-07-20
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2608
Abstract: 본발명은전자빔을방출하는전자빔소스; 상기전자빔소스쪽에구비되며, 상기전자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는전자빔스폿을형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군; 상기전자빔소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기전자빔소스로부터방출된전자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버; 상기전자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 및관찰하려는시료를지지하는시료스테이지;를포함하는주사전자현미경에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括：用于照射电子束的电子束源; 包括至少一个中间聚光透镜的聚光透镜组，该中心聚光透镜与电子束源相邻设置并使电子束冷凝;以及物镜，其被设置为最终的聚光透镜，邻近样品并形成电子 在样品上凝结的束斑; 在其内部包括电子束源和聚光透镜组的真空室，具有从电子束源照射的电子束通过物镜照射到样品的通道的孔; 至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向; 以及用于支撑要观察的样品的样品台。
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公开(公告)号：KR101634231B1
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：KR1020140148024
申请日：2014-10-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은입자빔질량분석기및 이를이용한입자측정방법에관한것으로서, 보다상세하게는가스흐름(gas flow)에의한입자빔을집속하는입자집속유닛; 열전자를가속하여상기입자집속유닛에의해집속된입자빔을이온화시켜하전입자빔을형성하는전자총; 상기하전입자빔을운동에너지대 전하비(kinetic energy to charge ratio)에따라굴절시키는디플렉터; 및굴절된상기하전입자빔에의한전류를측정하는감지부;를포함하고, 상기디플렉터는굴절되기전의하전입자빔의진행중심축을기준으로양측에각각적어도하나이상형성된입자빔 분리전극을포함하는것을특징으로하는입자빔 질량분석기에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020160052863A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140148024
申请日：2014-10-29
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N27/62 , H01J49/26 , H01J49/4225
Abstract: 본발명은입자빔질량분석기및 이를이용한입자측정방법에관한것으로서, 보다상세하게는가스흐름(gas flow)에의한입자빔을집속하는입자집속유닛; 열전자를가속하여상기입자집속유닛에의해집속된입자빔을이온화시켜하전입자빔을형성하는전자총; 상기하전입자빔을운동에너지대 전하비(kinetic energy to charge ratio)에따라굴절시키는디플렉터; 및굴절된상기하전입자빔에의한전류를측정하는감지부;를포함하고, 상기디플렉터는굴절되기전의하전입자빔의진행중심축을기준으로양측에각각적어도하나이상형성된입자빔 분리전극을포함하는것을특징으로하는입자빔 질량분석기에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束质谱仪和使用其的粒子测量方法。 更具体地，粒子束质谱仪包括：通过气流浓缩粒子束的粒子浓度单元; 电子枪，其离子化由粒子浓度单元浓缩的粒子束，并形成带电粒子束; 根据动能与电荷比折射带电粒子束的偏转器; 以及感测单元，其通过折射的带电粒子束来测量电流。 偏转器包括在折射之前形成在带电粒子束的进程的中心轴线的两侧的一个或多个粒子束分离电极。
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公开(公告)号：KR1020150144849A
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种调整带电粒子束照射角度的装置及其方法，涉及一种带电粒子束照射角度调节装置，包括：带电粒子束源，其发射带电粒子束; 角度调节装置，其将带电粒子束源连接到筒体并通过中心环和O形环的联接而形成; 并且连接到角度调节装置的筒体通过电场或磁场收集带电粒子束，并且包括用于形成带电粒子束探针的聚焦透镜组。
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公开(公告)号：KR101554594B1
公开(公告)日：2015-09-22
申请号：KR1020130148855
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본발명은하전입자빔을방출하는하전입자소스, 상기하전입자소스쪽에구비되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는빔 스폿인하전입자빔 프로브를형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군, 상기하전입자소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기하전입자소스로부터방출된하전입자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버, 상기하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기, 및관찰또는가공하려는시료를지지하며, 상기시료를이동할수 있는시료스테이지를포함하는하전입자빔 프로브형성장치및 이를이용하여시료를관찰또는가공하는방법에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150064311A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：KR1020130148855
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본발명은하전입자빔을방출하는하전입자소스, 상기하전입자소스쪽에구비되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하여주는하나이상의중간집속렌즈, 및최종집속렌즈로서시료쪽에구비되며, 시료위에집속되는빔 스폿인하전입자빔 프로브를형성시키는대물렌즈를포함하는집속렌즈군, 상기하전입자소스및 집속렌즈군을내부에구비하며, 상기하전입자소스로부터방출된하전입자빔이대물렌즈를거쳐시료에조사되는통로인어퍼처를구비하는진공챔버, 상기하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기, 및관찰또는가공하려는시료를지지하며, 상기시료를이동할수 있는시료스테이지를포함하는하전입자빔 프로브형성장치및 이를이용하여시료를관찰또는가공하는방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于形成带电粒子束探针的装置和一种通过使用该装置来监测或处理样品的方法。 它包括一个聚焦透镜接地，它包括一个发射一个电荷粒子束的电荷粒子源，至少一个中间聚焦透镜，形成在电荷粒子源中，并通过电场或磁场聚焦电荷粒子束; 透镜，其被用作要形成于样品的最终聚焦透镜，并形成作为聚焦在样品上的束斑的电荷粒子束;真空室，其包括电荷粒子源和聚焦透镜组，并且具有孔径， 从充电粒子源发射的电荷粒子束通过物镜的路径，至少一个控制电荷粒子束的照射方向并改变其的照射方向的偏转器，以及支持待监测或处理的样品的样品台， 可以移动样品。
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公开(公告)号：KR101413287B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020130080447
申请日：2013-07-09
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26 , H01J37/147 , H01J37/22
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/08 , H01J2237/06341 , H01J2237/0656 , H01J2237/0802 , H01J2237/223 , H01J2237/24542
Abstract: The present invention relates to a particle beam emission image acquisition apparatus which comprises a microchannel plate for receiving a particle beam emitted from a particle beam source and emitting a secondary electron; a fluorescent screen for receiving the secondary electron generated in the microchannel plate and converting the same into an optical signal; an image acquisition device for acquiring optical data emitted from the fluorescent screen; and an image process device for comprising a slow frequency pass filter of a spatial region and treating and imaging data obtained from the image acquisition device, and to a method for acquiring a particle beam emission image using the same.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子束发射图像获取装置，其包括：微通道板，用于接收从粒子束源发射的粒子束并发射二次电子; 用于接收在微通道板中产生的二次电子并将其转换为光信号的荧光屏; 用于获取从荧光屏发射的光学数据的图像获取装置; 以及图像处理装置，用于包括空间区域的慢速频谱滤波器以及从图像获取装置获得的数据的处理和成像，以及使用该方法获得粒子束发射图像的方法。
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公开(公告)号：KR1020130074521A
公开(公告)日：2013-07-04
申请号：KR1020110142613
申请日：2011-12-26
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/317 , B82B3/0023 , B82B3/0076 , Y10S977/84 , Y10S977/842 , Y10S977/901
Abstract: PURPOSE: A motionless bending method of one-dimensional or two-dimensional nanostructure using ion beams is provided to repetitively use high energy ion beams and low energy ion beams, thereby controlling a bending direction and shape of nanostructure without movement of the nanostructure. CONSTITUTION: A motionless bending method of one-dimensional or two-dimensional nanostructure using ion beams comprises following steps. One-dimensional or two-dimensional nanostructure (20) is bent by irradiating ion beams (10). According to the energy of the ion beams, a bending direction of the nanostructure is controlled. A bending direction and a shape of the nanostructure are controlled by repetitively irradiation of high energy ion beams (11) and low energy ion beams (12). The high energy ion beams have energy which bends the nanostructure to an ion beam direction (S). The low energy ion beams have energy which bends the nanostructures to an ion beam progressive direction (P). According to the thickness of the nanostructures, a bending direction of the nanostructures is controlled.
Abstract translation: 目的：提供使用离子束的一维或二维纳米结构的静态弯曲方法，以重复使用高能离子束和低能量离子束，从而控制纳米结构的弯曲方向和形状，而不会移动纳米结构。 构成：使用离子束的一维或二维纳米结构的静态弯曲方法包括以下步骤。 通过照射离子束（10）使一维或二维纳米结构（20）弯曲。 根据离子束的能量，控制纳米结构的弯曲方向。 通过重复照射高能离子束（11）和低能离子束（12）来控制纳米结构的弯曲方向和形状。 高能离子束具有将纳米结构弯曲成离子束方向的能量（S）。 低能离子束具有将纳米结构弯曲成离子束渐进方向（P）的能量。 根据纳米结构的厚度，控制纳米结构的弯曲方向。
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公开(公告)号：KR1020110100052A
公开(公告)日：2011-09-09
申请号：KR1020100019129
申请日：2010-03-03
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01Q60/08 , G01B21/30 , G01Q80/00 , G01R1/06727 , H01J37/285
Abstract: 본 발명은 계측의 신뢰성을 증대 또는 극대화할 수 있는 융합계측장치를 개시한다. 그의 장치는 기판 표면을 원자레벨 수준으로 계측하는 원자현미경과, 상기 원자현미경 및 상기 기판을 계측하는 전자현미경과, 상기 전자현미경으로 상기 원자현미경 및 상기 기판을 모니터링 할 때, 원자현미경의 캔틸레버에 가려지는 기판 상의 이차전자의 경로를 왜곡하여 전자현미경의 전자 검출기로 진행시키는 적어도 하나의 전극을 포함한다.
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公开(公告)号：KR100845005B1
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020060130408
申请日：2006-12-19
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N13/10
CPC classification number: G01Q10/065
Abstract: 본 발명은 고속 주사탐침현미경(Scanning Probe Microscopy)의 제어 방법에 관한 것으로 선택적으로 탐침 피드백 요소를 줄이고 탐침을 수평 이동시킴으로서 고속으로 이미징할 수 있는 고속 주사탐침현미경(Scanning Probe Microscopy)의 제어 방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 따른 고속 주사탐침현미경의 제어 방법은 탐침과 ; 탐침과 시편 사이의 거리에 따라서 변하는 신호인 피드백신호를 감지하는 검출기와 ; 탐침과 시편 사이의 거리를 일정하게 유지하는 피드백요소와, 상기 탐침 또는 시편을 이동시키는 스캐너를 포함하여 구성된 주사탐침현미경의 제어 방법에 있어서, 상기 탐침을 수평 이동시켜 시편의 표면을 스캐닝하되, 상기 탐침과 시편 사이의 거리가 피드백신호의 거리의존성이 미약하지만 잡음으로부터 분리할 수 있는 정도의 미리 정한 최대작동거리와 탐침이 시편과 부딪히는 것을 방지하기 위해서 미리 설정한 최소작동거리 사이의 고속모드작동거리 안에 속하는지를 상기 피드백신호를 통하여 판단하고, 고속모드작동거리에 속하는 경우 즉시 피드백요소를 제거하여 일정하게 탐침의 높이를 유지하는 상태로 탐침을 수평 이동하면서 시편의 표면굴곡을 고속으로 감지함을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상기 시편의 표면을 감지 과정에서 시편의 표면에 상기 고속모드작동거리를 벗어나는 경우 피드백 요소를 즉시 회복하여 기존의 주사탐침현미경과 같이 표면을 감지함을 특징으로 한다.
고속 주사탐침현미경, 피드백요소, 고속모드작동거리, 최소작동거리, 최대작동거리
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