公开(公告)号：CN104272426A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380021994.9

申请日：2013-03-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柏刚 ,  佐藤贡 ,  今野充

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2805 ,  H01J2237/2826 ,  H01J37/09 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24465

Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。

公开(公告)号：CN103688333A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201280019242.4

申请日：2012-02-17

Applicant: 应用材料以色列公司 ,  卡尔蔡司SMT有限公司

Inventor： S·R·罗杰斯 ,  R·K·克尼佩迈尔 ,  T·凯门 ,  S·舒伯特 ,  N·埃尔马利阿

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/06 ,  H01J37/09 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/2817

Abstract: 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。

公开(公告)号：CN103597571A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201280027699.X

申请日：2012-05-31

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 榎本裕久 ,  铃木渡 ,  北山真也

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/09 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/26

Abstract: 本发明提供一种带电粒子装置，其具有筒形的镜筒(10)、设于该镜筒内部的带电粒子线光学系统、设于该镜筒的试料台(103)、以及支承所述镜筒的支承装置(211、212)。所述支承装置具有在沿所述镜筒的轴线方向设定的多个支承点对所述镜筒进行简支的简支构造，所述镜筒的支承点被设定在如下位置：将所述镜筒视为两端为自由端的梁时的、与梁的振动的波节的位置对应的位置。由此，能够不增加镜筒自身的重量，使镜筒高刚性化，使作用于镜筒的振动降低。

公开(公告)号：CN102709143A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201210111707.0

申请日：2004-09-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 ,  以色列实用材料有限公司

Inventor： 赖纳·克尼佩梅尔 ,  奥利弗·金茨勒 ,  托马斯·克门 ,  海科·米勒 ,  斯特凡·乌勒曼 ,  马克西米利安·海德尔 ,  安东尼奥·卡萨雷斯 ,  史蒂文·罗杰

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/317 ,  B82Y10/00

CPC classification number: H01J37/04 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/14 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/06 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31774

Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。

公开(公告)号：CN102299037A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201110172913.8

申请日：2011-06-24

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊塞 ,  P.C.蒂梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802

Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。

公开(公告)号：CN101238538B

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200680028482.5

申请日：2006-06-02

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： J·范德波特 ,  Y·Z·黄

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/045 ,  H01J37/09 ,  H01J37/302 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/31705

Abstract: 本发明提供一种用于减轻与离子注入有关的污染的系统、方法、以及装置。本发明提供离子源、终点站、以及设置在离子源与终点站之间的质量分析器，其中由离子源形成离子束，且根据射束阻挡组件的位置，选择性地经由质量分析器将离子束传送至终点站。该射束阻挡组件选择性地防止离子束进入和/或射出质量分析器，因此将转换期间例如离子注入系统开机期间与不稳定离子源有关的污染最小化。

公开(公告)号：CN101903960A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200880110580.2

申请日：2008-08-20

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  拉塞尔·J·罗

IPC: H01B17/56 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/26

Abstract: 一种绝缘导体元件及其相关方法。用于电压结构的绝缘导体元件包括导体以及多个绝缘区段。导体连接一电压，多个绝缘区段包围此导体且多个绝缘区段彼此交界。

公开(公告)号：CN1114935C

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：CN98805166.4

申请日：1998-05-14

Applicant: 莱卡微系统石版印刷有限公司

Inventor： 张涛

IPC: H01J29/84 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/09 ,  H01J2237/3175

Abstract: 一种孔眼部件(10)，包括设有用于电子束(E)的通道(12)的本体(11)和用于阻挡除穿过通道外的部分或全部电子束行进的阻挡面(15)。阻挡面(15)呈斜角，使由被阻挡的电子束或其一部分电子束产生的脱离电子偏离通道的轴(13)射出，尤其是射入由表面(15)和屏蔽部件(17)的壁限定的电子俘获空腔(21)中。壁将电子返回阻挡面(15)，再反方向返回俘获空腔(21)，因此，防止散射电子的逃脱或延迟其逃脱，直至产生充分的吸收，将其大量无损害地提供给装备该部件的电子束柱的内部环境。

公开(公告)号：CN108428609A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810081984.9

申请日：2018-01-29

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 川浪义实

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/1474 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24542 ,  H01J37/04

Abstract: 本发明提供会聚离子束装置，其能够高精度地进行发射尖锥的末端的调整而不会使FIB光学系统的会聚特性、对准特性降低。该会聚离子束装置具有：真空容器；配置在所述真空容器内、末端被尖锐化的发射尖锥；气体电场电离离子源；会聚透镜；第一偏转器；第一光圈；物镜，其使通过所述第一偏转器后的所述离子束会聚；以及试样台，并且在至少具有会聚透镜、第一光圈、第一偏转器以及物镜的光学系统与试样台之间形成针对离子束在点状区域中发生反应的信号产生源，并以使从信号产生源输出的信号和由第一偏转器对离子束进行的扫描对应的方式生成发射尖锥的扫描电场离子显微镜像。

公开(公告)号：CN107094371A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201580067666.1

申请日：2015-12-28

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 伯·范德伯格 ,  爱德华·艾伊斯勒

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1475 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0458 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31701

Abstract: 离子注入系统(110)使用质量分析器(126)来进行质量分析和角度校正。离子源沿束路径产生离子束(124)。质量分析器放置在离子源的下游，所述质量分析器对离子束执行质量分析和角度校正。位于孔径组件(133)内的分辨孔径(134)位于质量分析器部件的下游并位于束路径上。分辨孔径具有根据所选择的质量分辨率以及离子束的束包络的尺寸和形状。角度测量系统(156)位于分辨孔径的下游并获得离子束的入射角值。控制系统(154)根据来自角度测量系统的离子束的入射角值导出针对质量分析器的磁场调整。