公开(公告)号：WO2017127521A1

公开(公告)日：2017-07-27

申请号：PCT/US2017/014098

申请日：2017-01-19

Applicant: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： COLVIN, Neil ,  HSIEH, Tseh-Jen ,  SILVERSTEIN, Paul

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/04 ,  H01J37/063 ,  H01J37/09 ,  H01J37/08 ,  H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/083

Abstract: An optics plate for an ion implantation system, the optics plate comprising a pair of aperture assemblies. Each pair of aperture assemblies respectively comprises a first aperture member, a second aperture member; and an aperture fastener, wherein the aperture fastener fastens the first aperture member to the second aperture member. An aperture tip may be also fastened to the second aperture member. One or more of the first aperture member, second aperture member, aperture tip, and aperture fastener is made of one or more of a refractory metal, tungsten, lanthanated tungsten alloy, yttrium tungsten alloy, and/or graphite and silicon carbide. The aperture assemblies may define an extraction electrode assembly, a ground electrode assembly, or other electrode assembly in the ion implantation system.

Abstract translation: 一种用于离子注入系统的光学板，所述光学板包括一对孔组件。 每对孔组件分别包括第一孔构件，第二孔构件; 和孔眼紧固件，其中孔眼紧固件将第一光圈构件紧固到第二光圈构件。 孔顶端也可以固定到第二孔构件。 第一孔构件，第二孔构件，孔口顶端和孔眼紧固件中的一个或多个由难熔金属，钨，镧系钨合金，钇钨合金和/或石墨和碳化硅中的一种或多种制成。 孔组件可限定离子注入系统中的引出电极组件，接地电极组件或其他电极组件。

公开(公告)号：WO2017019335A1

公开(公告)日：2017-02-02

申请号：PCT/US2016/042493

申请日：2016-07-15

Applicant: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.

Inventor： LEE, William Davis ,  LIKHANSKII, Alexandre

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028

Abstract: Provided herein are approaches for controlling particle trajectory from a beam-line electrostatic element. A beam-line electrostatic element is disposed along a beam-line of an electrostatic filter (EF), and a voltage is supplied to the beam-line electrostatic element to generate an electrostatic field surrounding the beam-line electrostatic element, agitating a layer of contamination particles formed on the beam-line electrostatic element. A trajectory of a set of particles from the layer of contamination particles is then modified to direct the set of particles to a desired location within the EF. The trajectory is controlled by providing an additional electrode adjacent the beam-line electrostatic element, and supplying a voltage to the additional electrode to control a local electrostatic field in proximity to the beam-line electrostatic element. In another approach, the trajectory is influenced by one or more geometric features of the beam-line electrostatic element.

Abstract translation: 本文提供了用于从束线静电元件控制粒子轨迹的方法。 沿着静电滤波器（EF）的光束线设置光束线静电元件，并且向束线静电元件供应电压以产生围绕光束线静电元件的静电场，搅动一层 形成在束线静电元件上的污染颗粒。 然后修改来自污染颗粒层的一组颗粒的轨迹，以将该组颗粒引导到EF内的期望位置。 通过在光束线静电元件附近提供附加电极来控制轨迹，并且向附加电极提供电压以控制靠近光束线静电元件的局部静电场。 在另一种方法中，轨迹受到束线静电元件的一个或多个几何特征的影响。

公开(公告)号：WO2016176507A1

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：PCT/US2016/029881

申请日：2016-04-28

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： JIANG, Xinrong

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14

Abstract: A selectively configurable system for directing an electron beam with a limited energy spread to a sample includes an electron source to generate an electron beam having an energy spread including one or more energies, an aperture having an on-axis opening and an off-axis opening, a first assembly of one or more electron lenses with selectively configurable focal powers positioned to collect the beam from the source and direct the beam to the aperture, a second assembly of one or more selectively configurable electron lenses positioned to collect the beam, a sample stage, and an electron inspection sub-system including electron optics positioned to direct the beam onto one or more samples. The first assembly includes an off-axis electron lens for interacting with the beam at an off-axis position and introducing spatial dispersion to the beam when configured with a nonzero focal power, thus filtering the energy spread.

Abstract translation: 用于将具有有限能量的电子束引导到样品的选择性配置系统包括电子源，以产生具有包括一个或多个能量的能量扩展的电子束，具有轴上开口和离轴开口的孔 一个或多个电子透镜的第一组件，其具有选择性地配置的聚焦能量，其被定位成从光源收集光束并将光束引导到光圈;定位成收集光束的一个或多个可选择性配置的电子透镜的第二组件， 并且包括电子检测子系统，其包括将光束引导到一个或多个样品上的电子光学器件。 第一组件包括离轴电子透镜，用于在离轴位置处与光束相互作用，并且当配置有非零焦度功率时将空间色散引入光束，从而过滤能量扩展。

公开(公告)号：WO2016106425A3

公开(公告)日：2016-08-25

申请号：PCT/US2015067730

申请日：2015-12-28

Applicant: AXCELIS TECH INC

Inventor： EISNER EDWARD

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/141 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1475 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/04922 ,  H01J2237/1415 ,  H01J2237/152

Abstract: A combined scanning and focusing magnet for an ion implantation system is provided. The combined scanning and focusing magnet has a yoke having a high magnetic permeability. The yoke defines a hole configured to pass an ion beam therethrough. One or more scanner coils (206A, 206B) are operably coupled to the yoke and configured to generate a time-varying predominantly dipole magnetic field when electrically coupled to a power supply. One or more focusing coils (210 A-D) are operably coupled to the yoke and configured to generate a predominantly multipole magnetic field, wherein the predominantly multipole magnetic field is one of static or time-varying.

Abstract translation: 提供了用于离子注入系统的组合扫描和聚焦磁体。 组合的扫描和聚焦磁体具有磁导率高的磁轭。 轭限定了构造成使离子束通过其中的孔。 一个或多个扫描器线圈（206A，206B）可操作地耦合到轭，并且被配置为当电耦合到电源时产生随时间变化的主要偶极磁场。 一个或多个聚焦线圈（210A-D）可操作地耦合到磁轭并且被配置为产生主要是多极磁场，其中主要是多极磁场是静态或时变之一。

公开(公告)号：WO2016124648A1

公开(公告)日：2016-08-11

申请号：PCT/EP2016/052291

申请日：2016-02-03

Applicant: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH

Inventor： ZEIDLER, Dirk ,  SCHUBERT, Stefan

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/10 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/2857

Abstract: Beschrieben ist ein Teilchenstrahl-System mit einer Teilchenquelle (301), welche dazu konfiguriert ist, einen ersten Strahl (309) geladener Teilchen zu erzeugen. Das Teilchenstrahl-System weist einen Vielstrahlerzeuger (305) auf, der dazu konfiguriert ist, aus einem ersten einfallenden Strahl geladener Teilchen eine Mehrzahl von Teilstrahlen (13) zu erzeugen, die in einer Richtung senkrecht zu einer Ausbreitungsrichtung der Teilstrahlen räumlich voneinander beabstandet sind, wobei die Mehrzahl an Teilstrahlen mindestens einen ersten Teilstrahl und einen zweiten Teilstrahl umfasst. Das Teilchenstrahl-System weist ein Objektiv (102) auf, das dazu konfiguriert ist, einfallende Teilstrahlen in einer ersten Ebene zu fokussieren, derart, dass ein erster Bereich, auf den der erste Teilstrahl in der ersten Ebene einfällt, von einem zweiten Bereich getrennt ist, auf den ein zweiter Teilstrahl einfällt. Das Teilchenstrahl-System weist ein Detektorsystem mit mehreren Detektionsbereichen (209) und einem Projektivsystem (205) auf, wobei das Projektivsystem dazu konfiguriert ist, Wechselwirkungsprodukte, die die erste Ebene aufgrund der einfallenden Teilstrahlen verlassen, auf das Detektorsystem zu projizieren. Das Projektivsystem und die mehrerer Detektionsbereiche sind so aufeinander abgestimmt sind, dass Wechselwirkungsprodukte, die von dem ersten Bereich der ersten Ebene ausgehen, auf einen ersten Detektionsbereich des Detektorsystems projiziert werden und Wechselwirkungsprodukte, die von dem zweiten Bereich der ersten Ebene ausgehen, auf einen zweiten Detektionsbereich projiziert werden, der vom ersten Detektionsbereich verschiedenen ist. Weiterhin weist das Detektorsystem eine Filtereinrichtung (208) zur Filterung der Wechselwirkungsprodukte entsprechend ihres jeweiligen Bahnverlaufs auf.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有粒子源（301），其被配置成产生带电粒子的第一光束（309）的粒子射线系统。 在粒子束系统包括：被配置成生成带电粒子的第一入射光束的多束发生器（305），多个分光束（13），其被间隔开的方向垂直于该部分光束的传播方向空间上彼此， 至少包括所述多个子光束的第一分光束和第二部分光束。 该粒子束系统包括透镜（102），其被配置成聚焦入射分光束在第一平面中，使得在其上的第一部分光束入射到所述第一电平的第一区域，从第二区域分隔 ，接着的第二部分光束入射。 在粒子束系统包括具有多个检测区域（209）和一个投影系统（205），其中，所述投影系统被配置为在离开所述第一平面由于入射子光束被投射到所述检测器系统相互作用产物的检测器系统。 投影系统和所述多个检测区域协调，使得相互作用产物，从所述第一平面的第一部分延伸的被投影在检测器系统和相互作用产物的第一检测区域中，从第一平面的第二部分上的第二检测区域延伸 被投影，其是从所述第一检测区域不同。 此外，检测器系统包括：用于根据其各自的轨迹过滤所述相互作用产物的过滤装置（208）。

公开(公告)号：WO2016084157A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：PCT/JP2014/081222

申请日：2014-11-26

Applicant: 株式会社日立製作所

Inventor： 備前　大輔 ,  森下　英郎 ,  波田野　道夫 ,  太田　洋也

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/05 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/0475 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2823

Abstract: 　一次電子のエネルギーが低い条件において、高い空間分解能と高い二次電子検出率を両立させた電子分光系を有する走査電子顕微鏡を提供するために、対物レンズ（１０５）と、一次電子（１０２）を加速する一次電子加速手段（１０４）と、一次電子を減速して試料（１０６）に照射する一次電子減速手段（１０９）と、試料からの二次電子（１１０）を一次電子の光軸外に偏向する二次電子偏向器（１０３）と、二次電子を分光する分光器（１１１）と、二次電子を分光器の入口に収束させるように、対物レンズ、一次電子加速手段および一次電子減速手段への印加電圧を制御する制御部（１１６）と、を有する走査電子顕微鏡とする。

Abstract translation: 为了提供具有在一次电子能量低的条件下组合高空间分辨率和高二次电子检测率的电子分散系统的扫描电子显微镜，本发明的扫描电子显微镜具有物镜（105） 用于加速一次电子的一次电子加速装置（104），一次电子减速装置（109），一次电子减速并辐射到样品（106）上，二次电子偏转器（103），二次电子 110）从一次电子的光轴偏转，用于分散二次电子的分散器（111），以及用于控制施加到物镜的电压的控制单元（116），一次电子加速装置， 并且一次电子减速装置使得二次电子在分散器的入口处会聚。

公开(公告)号：WO2015200649A3

公开(公告)日：2016-02-18

申请号：PCT/US2015037712

申请日：2015-06-25

Applicant: GATAN INC

Inventor： GUBBENS ALEXANDER JOZEF ,  TREVOR COLIN ,  TWESTEN RAY DUDLEY ,  BARFELS MELANIE

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: An electron energy loss spectrometer for electron microscopy is disclosed having an electrically isolated drift tube (214) extending through the bending magnet (213) and through subsequent optics (216, 217) that focus and magnify the spectrum. An electrostatic or magnetic lens (211, 212, 219, 220) is located either before or after or both before and after the drift tube and the lens or lenses are adjusted as a function of the bending magnet drift tube voltage to maintain a constant net focal length and to avoid defocusing. An energy selecting slit (218) is included in certain embodiments to cleanly cut off electrons dispersed outside the energy range incident on the detector, thereby eliminating artifacts caused by unwanted electrons scattering back into the spectrum.

Abstract translation: 公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其具有延伸穿过弯曲磁体（213）的电隔离漂移管（214）以及聚焦和放大光谱的后续光学器件（216,217）。 静电或磁性透镜（211,212,219,220）位于漂移管之前或之后或两者之间，并且透镜或透镜作为弯曲磁体漂移管电压的函数被调整以保持恒定的净 焦距和避免散焦。 在某些实施例中包括能量选择狭缝（218），以清洁地切断分散在入射到检测器上的能量范围之外的电子，从而消除由不想要的电子散射回到光谱中造成的假象。

公开(公告)号：WO2015183734A1

公开(公告)日：2015-12-03

申请号：PCT/US2015/032173

申请日：2015-05-22

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： JIANG, Xinrong ,  HAN, Liqun

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

Abstract: One embodiment relates to a dual Wien-filter monochromator. A first Wien filter focuses an electron beam in a first plane while leaving the electron beam to be parallel in a second plane. A slit opening allows electrons of the electron beam having an energy within an energy range to pass through while blocking electrons of the electron beam having an energy outside the energy range. A second Wien filter focuses the electron beam to become parallel in the first plane while leaving the electron beam to be parallel in the second plane. Other embodiments, aspects and features are also disclosed.

Abstract translation: 一个实施例涉及双维尼滤波器单色仪。 第一维恩滤波器将电子束聚焦在第一平面中，同时使电子束在第二平面中平行。 狭缝开口允许具有能量范围内的能量的电子束的电子通过，同时阻挡具有能量范围外的能量的电子束的电子。 第二维恩滤波器将电子束聚焦成在第一平面中平行，同时使电子束在第二平面中平行。 还公开了其它实施例，方面和特征。

公开(公告)号：WO2015133214A1

公开(公告)日：2015-09-11

申请号：PCT/JP2015/053033

申请日：2015-02-04

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 早田　康成 ,  大橋　健良 ,  三羽　貴文 ,  高橋　範次 ,  川野　源

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/145 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/24514

Abstract: 本発明の走査電子顕微鏡は、電子ビームを発生させる電子源（１００）と、電子ビームの異なるエネルギーの電子の軌道を分散させる軌道分散器（１５０，１５１）と、分散された電子ビームのエネルギー範囲の選択を行う選択スリットを有する選択スリット板（１７０）と、選択スリットを透過する電子ビームの透過率をモニターする透過率モニター部（１８０，１８１）とを有する。これにより、安定なエネルギー分散の低減を実現するエネルギーフィルタを搭載した走査電子顕微鏡を提供できる。

Abstract translation: 该扫描电子显微镜包括：用于产生电子束的电子源（100） 用于从具有不同能量的电子束分散电子轨迹的轨道分散装置（150,151）; 选择狭缝板（170），具有用于选择分散电子束的能量范围的选择缝; 以及用于监测透过选择狭缝的电子束的透射率的透射率监视单元（180,181）。 以这种方式，可以提供装备有实现能量分散稳定降低的能量过滤器的扫描电子显微镜。

公开(公告)号：WO2015045476A1

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：PCT/JP2014/063016

申请日：2014-05-16

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 松本　弘昭 ,  佐藤　岳志 ,  谷口　佳史 ,  原田　研

IPC: H01J37/295 ,  G01N23/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/153 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/10 ,  G01N23/20058 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/04 ,  H01J37/05 ,  H01J37/09 ,  H01J37/147 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/153 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本発明は、透過型電子顕微鏡の対物レンズ（５）をオフにし、制限視野絞り（６５）に電子線のクロスオーバー（１１，１３）を一致させ、第１結像レンズ（６１）の焦点距離を変化させることにより、試料の像観察モードと試料の回折パターン観察モードとの切り替えを行うレンズレス・フーコー法において、第１結像レンズ（６１）の後段に偏向器（８１）を配置すること、結像光学系の条件確定後に照射光学系（４）の条件を固定可能とすること、を特徴とする。これにより、磁気シールドレンズを搭載しない通常の汎用型透過型電子顕微鏡においても操作者への負担なく、レンズレス・フーコー法が実施可能となる。

Abstract translation: 本发明涉及一种无透镜Foucault方法，其中透射电子显微镜物镜（5）被关闭，电子束交叉（11,13）与所选区域孔径（65）匹配，焦距 可以改变第一成像透镜（61）以在样本图像观察模式和样本衍射图案观察模式之间切换，其特征在于，偏转器（81）设置在跟随第一成像透镜（61）的阶段中，以及 可以在确定成像光学系统的条件之后固定照射光学系统（4）的条件。 这样就可以在没有磁屏蔽透镜的公共通用透射电子显微镜中实现无镜头福柯方法，而不会对操作者造成负担。