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公开(公告)号:DE10340902A1
公开(公告)日:2005-02-03
申请号:DE10340902
申请日:2003-09-02
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED , FUERGUT EDWARD , BAUER MICHAEL , BEMMERL THOMAS , FINK MARKUS , JEREBIC SIMON , STROBEL PETER , VILSMEIER HERMANN
Abstract: The biochip (4) side surfaces (7) interlock and/or are interference-fitted into the inner walls (3) of the sample chamber (2). Biochip and sample chamber form a transverse pressure- or shrink connection. The connection is alternatively a snap fit. The biochip is circular or rectangular in shape. Chip edges and/or the chamber have seals. The chip is square with rounded corners. The sample chamber is a cuvette. The biochip has a plastic substrate.
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公开(公告)号:DE10336375A1
公开(公告)日:2004-12-02
申请号:DE10336375
申请日:2003-08-06
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED
Abstract: A wafer with biosensitive surface is marked with bio-chip positions in rows and columns. It is mounted on a sheet (3) in a suitable frame. The wafer is separated into biochips (2) which remain attached to the sheet. They are then removed individually, for temporary attachment to a carrier sheet (4). This has double-sided adhesive areas (5) the size of a biochip. Individual chips are removed from the carrier sheet, bringing the adhesive with them (see later). The biochips are then fixed in sample holder tubes (1) using the adhesive. Independent claims are included for the corresponding equipment. This comprises the transport sheet, biochip with adhesive and unit fixing the chips in the sample tubes. To remove biochips from the carrier sheet, it is turned and passed over a peeling-off wedge (7). The chip comes off with its adhesive, and is lifted away by a vacuum pipette (8). Initially, a cover sheet (9) lies over the adhesive areas on the carrier sheet (4). The cover sheet is removed at an edge (5) to reveal the adhesive for chip attachment. The sample holders are small tube-like ampoules (1). The biochips are fixed to their internal bases (13) using the adhesive.
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公开(公告)号:DE10338837A1
公开(公告)日:2004-11-11
申请号:DE10338837
申请日:2003-08-21
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED
Abstract: To produce a DNA chip array to duplicate and characterize nucleic acids, as a biochip with a rear surface and a sample array on the upper surface, an optically transparent carrier wafer is prepared with biochip carriers, and the structured biochips are prepared. The biochips are fitted, and the sample chamber body is mounted to the upper side of the biochip carrier in a sealed fit, and the wafer is divided at separation edges (16) into separate DNA chip arrays (15). The ring-shaped sample chamber body is bonded within a holding ring (18), and the upper side of the sample chamber is fitted with a heating unit (14).
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公开(公告)号:DE10134943A1
公开(公告)日:2002-10-17
申请号:DE10134943
申请日:2001-07-23
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED
IPC: H01L23/31 , H01L23/433 , H01L23/495 , H01L23/488 , H01L29/78
Abstract: Electronic power component comprises a semiconductor chip (2) having contact surfaces (4) of source contacts (50) on its active surface (3) and at least one gate contact (60). The rear side (7) has a common contact (8) for all drain regions as drain contact (9) of the power component. A coating (10) preventing metal diffusion and metallic thermo-sonic compression heads (12) for contacting inner flat conductors (11). The heads are connected to common source external connections (13) and a gate external connection (14). An Independent claim is also included for a process for the production of an electronic power component. Preferred Features: The compression heads are connected to gate electrodes and source electrodes via the contact surfaces and a structured conducting path layer (15) on the active surface side of the chip.
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公开(公告)号:DE102014105364B4
公开(公告)日:2022-06-23
申请号:DE102014105364
申请日:2014-04-15
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED , MAIER DOMINIC , METZGER-BRUECKL GERHARD , LEUSCHNER RAINER
IPC: H01L21/66 , G01R31/26 , H01L23/522
Abstract: Verfahren zum Einstellen der Kapazität oder Induktivität von elektrischen Schaltungen, wobei das Verfahren umfasst:Messen (200) von Induktivitäts- oder Kapazitätswerten von passiven Bauteilen (142), die auf einem ersten Substrat (140) hergestellt sind;Speichern (210) von individuellen Zusammenhängen zwischen den passiven Bauteilen (142) und den jeweiligen Messwerten der passiven Bauteile (142);Bestimmen von elektrischen Verbindungen zwischen den passiven Bauteilen (142) auf der Basis der gespeicherten individuellen Zusammenhänge zwischen den passiven Bauteilen (142) und den jeweiligen Messwerten der passiven Bauteile (142);Trennen (220) der passiven Bauteile (142) in individuelle Chips (152);Positionieren (230) von zumindest einigen der Chips (152) auf oder eingebettet in einem zweiten Substrat (150); undIdentifizieren (240) von einem oder mehreren der Chips (152), die auf dem zweiten Substrat (150) angeordnet oder in dieses eingebettet sind, mit einem Messwert außerhalb eines vorbestimmten Bereichs auf der Basis der gespeicherten individuellen Zusammenhänge zwischen den passiven Bauteilen (142) und den Messwerten.
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公开(公告)号:DE102015101440B4
公开(公告)日:2021-05-06
申请号:DE102015101440
申请日:2015-02-02
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED , OSSIMITZ PETER
Abstract: Halbleiterbauelement-Package, aufweisend:eine elektronische Komponente (120);eine Verkapselung (110), die eine obere Oberfläche (120a) und seitliche Oberflächen der elektronischen Komponente (120) einbettet, wobei eine untere Oberfläche (120b) der elektronischen Komponente bündig mit einer unteren Oberfläche (110b) der Verkapselung (110) ist und in derselben Ebene liegt;eine in Dünnschichttechnik hergestellte elektrische Umverdrahtungsstruktur (150, 250), die sich entlang einer unteren Oberfläche (120b) der elektronischen Komponente (120) und entlang einer unteren Oberfläche (110b) der Verkapselung (110) erstreckt, wobei die elektronische Komponente an der elektrischen Umverdrahtungsstruktur (150, 250) angebracht ist, die elektrische Umverdrahtungsstruktur (150, 250) dafür ausgelegt ist, die elektronische Komponente elektrisch mit externen Anschlüssen (130) des Halbleiterbauelement-Package (100, 200, 300, 400, 600) zu verbinden, wobei die elektrische Umverdrahtungsstruktur (150, 250) eine erste Hauptfläche (150a), die der elektronischen Komponente (120) zugewandt ist, und eine zweite Hauptfläche (150b) gegenüber der ersten Hauptfläche (150a) aufweist; undeinen ersten Halbleiterchip (140, 140_1), der der zweiten Hauptfläche (150b) der elektrischen Umverdrahtungsstruktur (150, 250) zugewandt und an einer ersten Hauptoberfläche (140a) mit dieser elektrisch und mechanisch verbunden ist, wobei eine zweite Hauptoberfläche (140b) des ersten Halbleiterchips (140, 140_1), die der ersten Hauptoberfläche (140a) gegenüberliegt, mit einer Metallschicht (441) zur Ableitung von Wärme des ersten Halbleiterchips (140, 140_1) zu einer Anwendungsplatine (900) hin versehen ist.
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公开(公告)号:DE102011053161B4
公开(公告)日:2021-01-28
申请号:DE102011053161
申请日:2011-08-31
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: MEYER THORSTEN , BEER GOTTFRIED , GEISSLER CHRISTIAN , ORT THOMAS , PRESSEL KLAUS , WAIDHAS BERND , WOLTER ANDREAS
IPC: H01L23/50 , H01L21/60 , H01L23/522
Abstract: Halbleitervorrichtung, die aufweist:mindestens einen Halbleiterchip (104, 106, 202, 306, 308);mindestens eine Leitungsführungsebene (108, 208, 310) mit einer Mehrzahl von Leitungsführungsleitungen (110, 210, 312, 504, 904), die voneinander beabstandet parallel zueinander verlaufen;eine erste Isolationsschicht (326), die über dem mindestens einen Halbleiterchip und der mindestens einen Leitungsführungsebene (108, 208, 310) angeordnet ist; undeine Umverteilungsschicht (234, 334), die über der ersten Isolationsschicht (326) angeordnet ist und folgendes aufweist:eine erste Verbindungsleitung (218), die mit einer der Mehrzahl von Leitungsführungsleitungen (110, 210, 312, 504, 904) und dem mindestens einen Halbleiterchip (104, 202, 306) elektrisch gekoppelt ist; undeine zweite Verbindungsleitung (220), die mit der einen der Mehrzahl von Leitungsführungsleitungen (110, 210, 312, 504, 904) und mit einem zweiten Halbleiterchip (106, 308) oder mit einem ersten externen Kontaktelement (214) elektrisch gekoppelt ist.
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公开(公告)号:DE102010060272B4
公开(公告)日:2019-07-25
申请号:DE102010060272
申请日:2010-10-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: POHL JENS , BARTH HANS-JOACHIM , BEER GOTTFRIED , STEINER RAINER , ROBL WERNER , VAUPEL MATHIAS
IPC: H01L21/768 , H01L21/60 , H01L23/50 , H01L23/522
Abstract: Verfahren zum Herstellen eines Bauelements, wobei das Verfahren Folgendes umfasst:Bereitstellen eines Substrats (102), das mindestens einen Kontakt (108) umfasst;Aufbringen einer dielektrischen Schicht (122) über dem Substrat (102);Aufbringen einer ersten Keimschicht (124) über der dielektrischen Schicht (122);Aufbringen einer inerten Schicht (126) über der Keimschicht (124) ;Strukturieren der inerten Schicht (126), der ersten Keimschicht (124) und der dielektrischen Schicht (122), um mindestens einen Abschnitt des Kontakts (108) zu exponieren;Aufbringen einer zweiten Keimschicht (130) über exponierten Abschnitten der strukturierten dielektrischen Schicht (122) und des Kontakts (108), so dass die zweite Keimschicht (130) mit der strukturierten ersten Keimschicht (124) einen elektrischen Kontakt herstellt, wobei es dort, wo die inerte Schicht (126) die erste Keimschicht (124) und die dielektrische Schicht (110) bedeckt, keine Abscheidung der zweiten Keimschicht (130) gibt; undElektroplattieren eines Metalls auf die zweite Keimschicht (130), wobei es dort, wo die inerte Schicht (126) die erste Keimschicht (124) und die dielektrische Schicht (110) überdeckt, keine Abscheidung der Metallschicht (114) gibt.
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公开(公告)号:DE102014117127B4
公开(公告)日:2018-12-20
申请号:DE102014117127
申请日:2014-11-24
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: WACHTER ULRICH , WAGNER EVA , BEER GOTTFRIED
IPC: H01L21/50 , B23K26/352 , B23K26/40 , H01L21/268 , H01L21/60 , H01L21/78 , H01L23/28 , H01L23/544
Abstract: Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelement-Packages, wobei das Verfahren umfasst:wenigstens teilweise Verkapselung einer Mehrzahl von Halbleiterchips mit Verkapselungsmaterial zum Ausbilden eines Verkapselungskörpers, wobei der Verkapselungskörper eine erste Hauptoberfläche und eine zweite Hauptoberfläche aufweist;Ausbilden von wenigstens einer von einer Metallschicht und einer organischen Schicht über der ersten Hauptoberfläche des Verkapselungskörpers;Entfernung von wenigstens einer Spur von der wenigstens einen von der Metallschicht und der organischen Schicht mittels Laserablation; undTeilung des Verkapselungskörpers in eine Mehrzahl von Halbleiterbauelement-Packages entlang der wenigstens einen Spur.
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公开(公告)号:DE102014113313B4
公开(公告)日:2017-09-14
申请号:DE102014113313
申请日:2014-09-16
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor: BEER GOTTFRIED , STRUTZ VOLKER , THEUSS HORST
IPC: H01L43/02 , G01R19/00 , H01L23/28 , H01L23/492
Abstract: Stromsensorvorrichtung zum Erfassen eines Messstroms, die umfasst: einen Halbleiterchip (10), der ein magnetfeldsensitives Element (11) umfasst, wobei der Halbleiterchip eine erste Hauptoberfläche (10a) und eine zweite Hauptoberfläche (10b) aufweist; eine Einkapselung (30), die den Halbleiterchip einbettet, wobei die Einkapselung eine erste Hauptoberfläche (30a) und eine zweite Hauptoberfläche (30b) aufweist; einen Leiter, der so konfiguriert ist, dass er den Messstrom trägt, wobei der Leiter elektrisch von dem magnetfeldsensitiven Element isoliert ist; und eine Umverteilungsstruktur (20), die eine erste Metallschicht (21) umfasst, wobei die erste Metallschicht einen ersten strukturierten Abschnitt (21a), der einen Teil des Leiters bildet, umfasst; wobei die erste Hauptoberfläche des Halbleiterchips und die erste Hauptoberfläche der Einkapselung der Umverteilungsstruktur zugewandt sind und eine gemeinsame ebene Oberfläche bilden; und wobei der erste strukturierte Abschnitt ein verstärkter Abschnitt der ersten Metallschicht mit einer Dicke (TC) ist, die größer ist als eine Dicke der ersten Metallschicht außerhalb des ersten strukturierten Abschnitts.
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