52.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE10032246A1

    公开(公告)日:2002-01-17

    申请号:DE10032246

    申请日:2000-07-03

    Abstract: The invention relates to a light-emitting diode chip (1), comprising a series of epitaxial layers (3) arranged on a substrate (2), which are equipped with an InGaN-based active structure (4) that emits radiation. A buffer layer (20) is provided between the substrate (2) and the active structure (4). The material or materials of the buffer layer (20) are selected in such a way that their epitaxial surface (6) is untensioned or slightly tensioned for the epitaxy of the active structure (4) at the epitaxial temperature(s). The active structure (4) has zones (5) rich in In that are arranged laterally adjacent to one another in relation to the epitaxial plane. The In content in said zones is greater than in the other zones of the active structure (4). The invention also relates to a preferred method for producing the chips.

    Verfahren zur Herstellung zumindest eines optoelektronischen Halbleiterchips, optoelektronischer Halbleiterchip sowie optoelektronisches Halbleiterbauelement

    公开(公告)号:DE102014116141B4

    公开(公告)日:2022-07-28

    申请号:DE102014116141

    申请日:2014-11-05

    Abstract: Verfahren zur Herstellung zumindest eines optoelektronischen Halbleiterchips (10) mit den folgenden Schritten:a) Bereitstellen eines Schichtenverbundes (14) aufweisend- eine Halbleiterschichtenfolge (1) mit einer Haupterstreckungsebene, einer aktiven Schicht (12) und einer Bodenfläche (1c),- einen Träger (41), der an der Bodenfläche (1c) der Halbleiterschichtenfolge (1) angeordnet ist und eine der Bodenfläche (1c) abgewandte Grundfläche (41c) aufweist, und- eine Verbindungsschichtenfolge (3), die in einer vertikalen Richtung zumindest stellenweise zwischen der Halbleiterschichtenfolge (1) und dem Träger (41) angeordnet ist,b) Ausbilden einer Vielzahl von Trenngräben (71) in dem Schichtenverbund (14) entlang eines Vereinzelungsmusters (72) unter Verwendung zumindest eines gerichteten Trockenätzverfahrens (9), wobei- zumindest ein Trenngraben (71) in zumindest einer lateralen Richtung eine Maximalausdehnung (d) von höchstens 30 µm aufweist und- jeder Trenngraben (71) den Schichtenverbund (14) in der vertikalen Richtung vollständig durchdringt,c) Vereinzeln des Schichtenverbundes (14) entlang der Trenngräben (71) zur Erzeugung zumindest eines optoelektronischen Halbleiterchips (10), wobei der vereinzelte zumindest eine optoelektronische Halbleiterchip (10) jeweils einen Teil der Halbleiterschichtenfolge (1), des Trägers (41) und der Verbindungsschichtenfolge (3) aufweisen, wobei das Ausbilden der Trenngräben (71) in Schritt b) die folgenden Schritte umfasst:b1) teilweises Entfernen der Halbleiterschichtenfolge (1) im Bereich der zu erzeugenden Trenngräben (71),b2) teilweises Entfernen der Verbindungsschichtenfolge (3) in dem Bereich der teilweise entfernten Halbleiterschichtenfolge (1),b3) Aufbringen einer ALD-Schicht (5) an allen der Grundfläche (41c) abgewandten freiliegenden Außenflächen des Schichtenverbundes (14),b4) teilweises Entfernen der ALD-Schicht (5) im Bereich der zu erzeugenden Trenngräben (71) von einer der Grundfläche (41c) abgewandten Trägerdeckfläche (41a) des Trägers (41), b5) teilweises Entfernen des Trägers (41) in dem Bereich der teilweise entfernten Halbleiterschichtenfolge (1) und der teilweise entfernten Verbindungsschichtenfolge (3), wobei für die Schritte b1), b2) und b5) zumindest teilweise ein Trockenätzverfahren Verwendung findet.

    Leuchtdiodenchip mit einer reflektierenden Schichtenfolge

    公开(公告)号:DE102015120323A1

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:DE102015120323

    申请日:2015-11-24

    Abstract: Es wird ein Leuchtdiodenchip (1) angegeben, mit – einem Träger (10), – einer Halbleiterschichtenfolge (2), – einer reflektierenden Schichtenfolge, die bereichsweise zwischen dem Träger (10) und der Halbleiterschichtenfolge (2) angeordnet ist, wobei die reflektierende Schichtenfolge (8) eine der Halbleiterschichtenfolge (2) zugewandte dielektrische Schicht (83) und eine von der Halbleiterschichtenfolge (2) abgewandte metallische Spiegelschicht (81) aufweist, und – einer Verkapselungsschicht (9), die stellenweise zwischen dem Träger (10) und der reflektierenden Schichtenfolge (8) angeordnet ist, wobei sich die Verkapselungsschicht (9) stellenweise durch die reflektierende Schichtenfolge (8) hindurch in die Halbleiterschichtenfolge (2) hinein erstreckt und auf diese Weise einen Trennsteg (91) ausbildet, der einen Innenbereich (51) der reflektierenden Schichtenfolge (8) von einem Randbereich (52) der reflektierenden Schichtenfolge (8) trennt.

    Optoelektronischer Halbleiterchip und optoelektronisches Modul

    公开(公告)号:DE102013103409A1

    公开(公告)日:2014-10-09

    申请号:DE102013103409

    申请日:2013-04-05

    Abstract: Es wird ein optoelektronischer Halbleiterchip (1) angegeben, der einen Träger (5) und einen auf dem Träger (5) angeordneten Halbleiterkörper (2) mit einer Halbleiterschichtenfolge aufweist, wobei – die Halbleiterschichtenfolge einen aktiven Bereich (20) umfasst, der zwischen einer ersten Halbleiterschicht (21) und einer zweiten Halbleiterschicht (22) angeordnet ist und zur Erzeugung oder zum Empfangen von Strahlung vorgesehen ist; – die erste Halbleiterschicht (21) elektrisch leitend mit einem ersten Kontakt (41) und mit einem zweiten Kontakt (42) verbunden ist; – der erste Kontakt auf einer dem Halbleiterkörper zugewandten Vorderseite (51) des Trägers ausgebildet ist; – der zweite Kontakt auf einer vom Halbleiterkörper abgewandten Rückseite (52) des Trägers ausgebildet ist; und – der erste Kontakt und der zweite Kontakt elektrisch leitend miteinander verbunden sind. Weiterhin wird ein optoelektronisches Modul (10) angegeben.

    59.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102008035900A1

    公开(公告)日:2009-11-05

    申请号:DE102008035900

    申请日:2008-07-31

    Abstract: A light-emitting diode chip (1) with a semiconductor layer sequence (2) is described, which is contacted electrically by contacts (5) via a current spreading layer (3). The contacts (5) cover around 1%-8% of the surface of the semiconductor layer sequence (2). The contacts (5) consist for example of separate contact points (51), which are arranged at the nodes of a regular grid (52) with a grid constant of 12 mum. The current spreading layer (3) contains for example indium-tin oxide, indium-zinc oxide or zinc oxide and has a thickness in the range from 15 nm to 60 nm.

    60.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102007046519A1

    公开(公告)日:2009-04-02

    申请号:DE102007046519

    申请日:2007-09-28

    Abstract: A thin-film LED comprising a barrier layer (3), a first mirror layer (2) succeeding the barrier layer (3), a layer stack (5) succeeding the first mirror layer (2), and at least one contact structure (6) succeeding the layer stack (5). The layer stack (5) has at least one active layer (5a) which emits electromagnetic radiation. The contact structure (6) is arranged on a radiation exit area (4) and has a contact area (7). The first mirror layer (2) has, in a region lying opposite the contact area of the contact structure (6), a cutout which is larger than the contact area (7) of the contact structure (6). The efficiency of the thin-film LED is increased as a result.

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