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公开(公告)号：CN115267254A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210866064.4
申请日：2022-07-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125 , H03F3/70
Abstract: 本发明提供了一种敏感结构初始电容测量电路及初始电容测量方法，该敏感结构包括固定结构梳齿和可动质量梳齿，测量电路包括测试探针、载波发生电路、电荷放大电路、解调电路和滤波输出电路，测试探针包括输入探针和输出探针，输入探针和输出探针分别与固定结构梳齿和可动质量梳齿连接，载波发生电路的输出端分别与输入探针和解调电路的输入端连接，电荷放大电路的输入端与输出探针连接，解调电路的输入端还与电荷放大电路的输出端连接，滤波输出电路的输入端与解调电路的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感结构中测方案操作过程复杂、检测设备昂贵、不能满足大批量检测需求的技术问题。
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公开(公告)号：CN111707250A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010493576.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5621 , F16F15/04 , F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。
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公开(公告)号：CN102010135B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010540144.8
申请日：2010-11-11
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: C03C17/40
Abstract: 本发明涉及一种抗腐蚀金属掩膜制备方法，特别是一种抗氢氟酸腐蚀液腐蚀的金属掩膜制备方法。本发明的目的是解决现有掩膜腐蚀后存在的钻蚀孔、局部翘曲、起皮缺陷等问题。本发明具体包括如下步骤：a.清洗步骤：首先采用氢氟酸双氧水混合液或硫酸双氧水混合液对待镀膜基片腐蚀浸泡，再用兆声清洗基片。b.镀膜步骤：(1)对基片表面Ar离子轰击，(2)在温度100～220℃、溅射气压0.3～0.gPa、溅射功率1.9～2.5Kw条件下，使基片表面依次镀Cr膜和Cu膜；(3)重复步骤(2)再次在基片表面镀Cr膜和Cu膜，形成双层或多层Cr/Cu金属掩膜。本发明有效减少由于微小颗粒及膜层缺陷引起的针孔钻蚀，提高掩膜的附着力，并有效去除了应力。
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公开(公告)号：CN102009945A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010540092.4
申请日：2010-11-11
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明属于石英音叉陀螺加工领域，具体涉及一种微机械石英音叉陀螺敏感结构加工方法。其特点在于：本加工方法能实现高精度三维石英结构加工：音叉厚度误差控制在±0.5μm以内、平面尺寸精度误差可控制在±1μm以内；能实现高精度三维复杂电极图形加工：电极距音叉三维石英结构边缘距离可达到为10μm、与音叉三维石英结构表面的相对位置误差可控制在±1μm之内，在同一侧面上可形成不同极性的电极且加工误差控制在±5μm以内；能实现质量块精密加工：质量块厚度误差可控制在±0.5μm内、厚度均匀性±5％、表面粗糙度不大于0.1μm，与音叉三维石英结构的相对位置误差可控制在±1μm之内。
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公开(公告)号：CN119786122A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411778104.5
申请日：2024-12-05
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种用于微惯性器件信号传输的柔性导电材料，该导电材料包括成型剂和骨料，其中成型剂采用聚氯脂和硅橡胶混合而成；骨料由低熔点的微米级金属铟、银粉和碳粉组成。与常规连接方式相比，采用本发明方案在保证导电功能正常的同时，可提供良好的抗振动和抗冲击能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119779349A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411867734.X
申请日：2024-12-18
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种用于石英音叉陀螺仪的静电耦合抑制电路，包括：石英音叉传感器、驱动与幅值控制电路、反相电路、补偿电路、角速度检测电路和解调滤波电路；石英音叉传感器输出信号分别指驱动与幅值控制电路以及角速度检测电路，驱动与幅值控制电路根据输入信号生成驱动信号，驱动信号还分别输入至反相电路以及解调滤波电路；反相电路根据驱动信号产生与其同频反相的驱动反相信号，驱动信号和驱动反相信号经过补偿电路后生成静电耦合补偿信号，并输入至角速度检测电路，与检测电路中静电耦合误差抵消，角速度检测电路生成角速度载波信号和角速度载波反相信号，并经解调滤波电路后输出角速度信号。本发明减小了静电误差，提高了陀螺整表性能。
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公开(公告)号：CN119085934A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411060177.0
申请日：2024-08-05
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种硅微压力传感器测试及焊接一体化装配装置及测试方法，该装置包括套筒、压盖、密封圈和多个可拆卸连接件，套筒的上下两端进行开口设计，沿套筒的周向间隔开设有多个镂空结构，压盖的一端具有一腔体，密封圈沿腔体的周向设置在腔体内，并与设置在套筒上端开口处的压力传感器外壳组件的端面贴合设置，压盖设计有通气道，用于与气压测试设备相连通，进行压力测试时，压力传感器外壳组件之间的接缝位置设置在镂空结构处，气源、压力传感器外壳组件以及密封圈之间形成气密性腔体，压盖与套筒通过多个可拆卸连接件可拆卸连接。解决了目前硅微压力传感器废品率高、生产效率低的问题。
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公开(公告)号：CN114994362B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
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公开(公告)号：CN117842930A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311648758.1
申请日：2023-12-04
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种用于惯性MEMS器件的敏感结构加工方法，该加工方法包括：步骤一、在衬底正面加工N个第一槽，用于对应待增厚的敏感结构释放；步骤二、在衬底正面除第一槽的位置加工引线；步骤三、在敏感结构层背面刻蚀第二槽，第二槽用于除待增厚的敏感结构之外的敏感结构释放；敏感结构层背面未加工第二槽的位置作为锚点；待增厚的敏感结构所在的位置需预留出锚点；步骤四、将敏感结构层背面与衬底正面进行键合，其中，任意第一槽与对应待增厚的敏感结构所在的位置的锚点正对，不发生键合；步骤五、对敏感结构层正面进行结构刻蚀，加工器件的敏感结构。本发明可以在保证非增厚敏感结构加工精度的条件下增大待增厚敏感结构厚度。
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公开(公告)号：CN117713696A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311567403.X
申请日：2023-11-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03D3/00 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种谐振式微机电陀螺数字解调电路，包括陀螺、第一、二、三芯片单元，第一芯片单元用于捕获驱动模态输出信号并计算对应驱动信号频率；第一芯片单元还用于通过第二芯片单元进行驱动模态输出信号以及检测模态输出信号的同步采集，采集频率实时设置为4倍的驱动信号频率；采集信号时，第一芯片单元还将驱动模态输出信号进行一个采样周期的相移操作以获取正交参考信号；第一芯片单元的相敏解调模型用于根据采集的驱动模态输出信号解算驱动信号幅值；第一芯片单元的同相正交解调模型解算出检测信号的同相解调和正交解调结果并输出至解调相位误差解算模型；解调相位误差解算模型根据输入实时计算出解调相位的误差值，并输出至第三芯片单元。
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