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公开(公告)号:CN101335262B
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200710196246.0
申请日:2007-11-30
Applicant: 海力士半导体有限公司
Inventor: 郑冠镐
IPC: H01L25/00 , H01L23/488 , H01L21/50 , H01L21/60
CPC classification number: H01L25/0657 , H01L24/94 , H01L2224/05001 , H01L2224/05611 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/05655 , H01L2224/13025 , H01L2224/16 , H01L2224/32145 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2225/06513 , H01L2225/06517 , H01L2225/06527 , H01L2225/06541 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明公开了一种叠层封装及其制造方法。所述叠层封装包括放置的第一和第二半导体芯片,使得所述叠层封装的其上形成结合焊垫的表面相互面对;形成于第一和第二半导体芯片内的多个贯穿硅通路;和成于第一和第二半导体芯片的表面上从而连接所述贯穿硅通路至对应的结合焊垫的多个再分布层形,其中所述第一和第二半导体芯片的再分布层相互接触。通过用这种方式形成叠层封装,可以防止在制造工艺期间形成的捡取误差和裂纹,并且因此可以可靠地形成叠层封装。
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公开(公告)号:CN102473684A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080032884.9
申请日:2010-07-22
Applicant: 米辑电子股份有限公司
IPC: H01L21/98 , H01L25/065 , H01L23/48 , H01L23/538 , H01L27/06 , H01L23/00
CPC classification number: H01L23/481 , H01L21/76898 , H01L23/3128 , H01L23/5389 , H01L23/60 , H01L24/16 , H01L24/24 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/82 , H01L24/94 , H01L24/96 , H01L25/0652 , H01L25/0655 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L27/0251 , H01L2224/05139 , H01L2224/05144 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05166 , H01L2224/05171 , H01L2224/05181 , H01L2224/05184 , H01L2224/05639 , H01L2224/05644 , H01L2224/05647 , H01L2224/05655 , H01L2224/05666 , H01L2224/05681 , H01L2224/13099 , H01L2224/16225 , H01L2224/24145 , H01L2224/24225 , H01L2224/32225 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48465 , H01L2224/73204 , H01L2224/73257 , H01L2224/73265 , H01L2224/9202 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01011 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01015 , H01L2924/01019 , H01L2924/01022 , H01L2924/01023 , H01L2924/01024 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01032 , H01L2924/01033 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/0105 , H01L2924/01072 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/04941 , H01L2924/04953 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/12042 , H01L2924/1305 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/15747 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/19043 , H01L2924/30105 , H01L2924/3511 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2924/00011 , H01L2924/013
Abstract: 本发明描述系统级封装或多芯片模块,其可包含在载体上方的多层芯片与多层虚拟衬底、未完全地或完全地穿过所述多层芯片且完全地穿过所述多层虚拟衬底的多个穿透通孔、在所述穿透通孔中的多个金属插塞,以及在所述多层芯片之间的连接到所述金属插塞的多个金属互连件。所述多层芯片可通过所述金属插塞和所述金属互连件互相连接,或连接到外部电路或结构,例如母板、球栅格阵列BGA衬底、印刷电路板、金属衬底、玻璃衬底或陶瓷衬底。
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公开(公告)号:CN102473655A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080031710.0
申请日:2010-07-09
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: C09D163/00 , H01L21/563 , H01L24/13 , H01L24/29 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L2224/131 , H01L2224/16225 , H01L2224/2919 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/81091 , H01L2224/81093 , H01L2224/81097 , H01L2224/81121 , H01L2224/81191 , H01L2224/81193 , H01L2224/81204 , H01L2224/81209 , H01L2224/81211 , H01L2224/81815 , H01L2224/83192 , H01L2224/83193 , H01L2224/8349 , H01L2224/83862 , H01L2224/92125 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01045 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01051 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/00014 , H01L2924/01014 , H01L2924/00 , H01L2924/3512
Abstract: 本发明的电子部件制造方法是将具有连接用金属电极的第1电子部件和具有连接用焊接电极的第2电子部件接合的焊接接合方法,其特征在于,顺次进行下述工序:在上述第1电子部件及上述第2电子部件的焊接接合面中的至少一方形成含有热固性树脂的树脂层的第1工序;形成上述含有热固性树脂的树脂层后,将上述第1电子部件的连接用金属电极和上述第2电子部件的连接用焊接电极以对置方式对位,在比上述连接用焊接电极的焊料的熔点低的温度下进行加热及加压,由此使上述连接用金属电极和上述连接用焊接电极对接的第2工序;将上述对接的第1电子部件和第2电子部件边通过加压流体进行加压,边在比上述连接用焊接电极的焊料的熔点高的温度下进行加热,使上述连接用焊接电极的焊料与上述连接用金属电极熔融接合的第3工序;将上述含有热固性树脂的树脂层在比上述连接用焊接电极的焊料的熔点低的温度下进行加热,由此使其固化的第4工序。
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公开(公告)号:CN102468257A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110051621.9
申请日:2011-02-22
Applicant: 日月光半导体制造股份有限公司
Inventor: 约翰·R·杭特
IPC: H01L23/485 , H01L23/31 , H01L21/60 , H01L21/56
CPC classification number: H01L23/5389 , H01L21/4853 , H01L21/4857 , H01L21/486 , H01L21/565 , H01L21/568 , H01L23/295 , H01L23/296 , H01L23/3128 , H01L23/49811 , H01L23/49827 , H01L23/5383 , H01L23/5384 , H01L23/5386 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/19 , H01L24/20 , H01L25/105 , H01L25/117 , H01L25/50 , H01L2224/02377 , H01L2224/02379 , H01L2224/0239 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/05548 , H01L2224/05624 , H01L2224/05647 , H01L2224/05666 , H01L2224/11 , H01L2224/11849 , H01L2224/12105 , H01L2224/13022 , H01L2224/131 , H01L2225/1035 , H01L2225/1041 , H01L2225/1058 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01075 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/181 , H01L2924/18162 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供了一种晶圆级半导体封装件及其制造方法。半导体封装件包括至少一半导体芯片、中介层组件、封装体及下重布层。半导体芯片具有主动面。中介层组件具有上表面及下表面,中介层组件具有至少一导通孔,导通孔延伸于上表面与下表面之间。封装体包覆部分的主动芯片及部分之中介层组件。下重布层电性连接中介层组件与半导体芯片的主动面。
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公开(公告)号:CN102456663A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201110309782.3
申请日:2011-10-13
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/522 , H01L21/768
CPC classification number: H01L23/481 , H01L21/563 , H01L21/76898 , H01L23/3128 , H01L24/04 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/32 , H01L24/48 , H01L24/97 , H01L25/0657 , H01L25/18 , H01L25/50 , H01L2221/68372 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/0557 , H01L2224/05624 , H01L2224/05647 , H01L2224/13009 , H01L2224/13025 , H01L2224/1403 , H01L2224/16145 , H01L2224/16225 , H01L2224/16227 , H01L2224/32145 , H01L2224/48227 , H01L2224/73257 , H01L2224/97 , H01L2225/0651 , H01L2225/06517 , H01L2225/06544 , H01L2225/06562 , H01L2225/06568 , H01L2924/00014 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2924/1304 , H01L2924/14 , H01L2924/1431 , H01L2924/1434 , H01L2924/15311 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/19104 , H01L2924/00 , H01L2224/05552 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 本发明提供一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:第一半导体芯片,其包括穿透其至少一部分的第一穿透电极和第二穿透电极,第一穿透电极具有第一突出高度,第二穿透电极具有高于第一突出高度的第二突出高度;第二半导体芯片,其与第一穿透电极电连接;以及第三半导体芯片,其与第二穿透电极电连接。
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公开(公告)号:CN102439708A
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201080015400.X
申请日:2010-02-08
Applicant: 新加坡科技研究局 , 钟泰技术私人有限公司
IPC: H01L21/66 , G01N21/956 , G01N21/29 , H01L21/60
CPC classification number: H01L24/85 , G01N21/8806 , H01L23/544 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L2223/54426 , H01L2223/54473 , H01L2224/05552 , H01L2224/05553 , H01L2224/05554 , H01L2224/0603 , H01L2224/45014 , H01L2224/45015 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48472 , H01L2224/4903 , H01L2224/49051 , H01L2224/73265 , H01L2224/78901 , H01L2224/85121 , H01L2224/859 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01015 , H01L2924/01027 , H01L2924/01033 , H01L2924/01075 , H01L2924/01077 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2924/12041 , H01L2924/12042 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/20751
Abstract: 在实施方式中,可以提供用于检查基板的接合结构的方法。该方法可以包括:提供包括待检查的接合结构的基板;确定包括待检查的接合结构的部分的一个或多个预定关注区域的一个或更多个立体图像,所述预定关注区域对应于参考基板的参考接合结构的存储的预定参考模型中的参考关注区域;从多个预定关注区域中的一个或更多个中确定待检查的接合结构的一个或更多个二维特征参数和一个或更多个三维特征参数;以及判断所确定的特征参数是否满足关于参考模型的至少一个预定质量标准。
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公开(公告)号:CN102414825A
公开(公告)日:2012-04-11
申请号:CN200980159009.4
申请日:2009-04-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor: 中田和成
IPC: H01L29/78 , H01L21/3205 , H01L21/60 , H01L23/52 , H01L29/739
CPC classification number: H01L29/7397 , H01L24/05 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L29/0649 , H01L29/41741 , H01L29/456 , H01L29/7813 , H01L2224/04042 , H01L2224/05073 , H01L2224/05558 , H01L2224/05624 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/4847 , H01L2224/48724 , H01L2224/85205 , H01L2924/0101 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01015 , H01L2924/01033 , H01L2924/01041 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/30105 , H01L2924/00014 , H01L2224/85 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及功率用半导体装置。栅极电极(26)用于控制流过半导体层(SL)的电流。栅极绝缘膜(29)将半导体层(SL)与栅极电极(26)彼此电绝缘。导体部(24)设置在半导体层(SL)上且与半导体层(SL)电连接。层间绝缘膜(25)以导体部(24)与栅极电极(26)电绝缘的方式设置在栅极电极(26)上。缓冲绝缘膜(23)覆盖导体部(24)及层间绝缘膜(25)上的一部分区域并且由绝缘体构成。电极层(21)具有位于导体部(24)露出的区域上的布线部分(21w)及位于缓冲绝缘膜(23)上的焊盘部分(21p)。由此,能够抑制引线(22)连接到焊盘部分(21p)时对IGBT的损伤。此外,能够防止电流集中引起的破坏的产生,能够处理更大的功率。
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公开(公告)号:CN102376695A
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:CN201110230869.1
申请日:2011-08-12
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor: 李镐哲
IPC: H01L25/00 , H01L25/065 , H01L25/10 , H01L21/98
CPC classification number: H01L24/97 , H01L23/3107 , H01L23/481 , H01L24/16 , H01L25/0657 , H01L25/18 , H01L2224/13009 , H01L2224/13025 , H01L2224/16145 , H01L2224/97 , H01L2225/06513 , H01L2225/06541 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/1431 , H01L2924/1436 , H01L2924/1437 , H01L2924/1438 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/18161 , H01L2224/81 , H01L2924/00
Abstract: 一种堆叠半导体器件可以具有三维堆叠的多个芯片。堆叠半导体器件可以包括第一半导体芯片和至少一个第二半导体芯片。第一半导体芯片可以包括多个第一硅通孔(TSV)。至少一个第二半导体芯片可以包括多个第二TSV。至少一个第二半导体芯片可以堆叠在第一半导体芯片上方并可以比第一半导体芯片薄。因此,堆叠半导体器件可以具有改善的可靠性。
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公开(公告)号:CN101303984B
公开(公告)日:2012-02-15
申请号:CN200810109439.2
申请日:2002-04-05
Applicant: 瑞萨电子株式会社
CPC classification number: H01L24/14 , H01L23/28 , H01L23/3128 , H01L23/50 , H01L23/5386 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L24/97 , H01L25/0652 , H01L25/18 , H01L2224/1134 , H01L2224/13144 , H01L2224/16 , H01L2224/16225 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/45015 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48465 , H01L2224/49171 , H01L2224/73204 , H01L2224/73253 , H01L2224/73265 , H01L2224/97 , H01L2225/06558 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01014 , H01L2924/01015 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/0105 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/01322 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2924/14 , H01L2924/1433 , H01L2924/15173 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/20752 , H01L2924/30105 , H01L2924/00014 , H01L2224/85 , H01L2224/81 , H01L2224/83 , H01L2224/92247 , H01L2224/13099 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2924/00011
Abstract: 提供一种半导体装置的制造方法,包括下列工序:(a)制备布线衬底,所述布线衬底具有多个封装衬底形成区域、在多个封装衬底形成区域之间形成的分切区域、与多个封装衬底形成区域和分切区域连续地形成的多个布线、以及分别与多个布线电连接的多个键合焊盘;(b)在工序(a)之后,去除形成在分切区域中的多个布线;(c)在工序(b)之后,在多个封装衬底形成区域上方分别安装多个半导体芯片,该多个半导体芯片的每个具有主面和形成在该主面上的多个电极;(d)在工序(c)之后,将多个电极分别与多个键合焊盘电连接;(e)在工序(d)之后,用树脂密封多个半导体芯片;以及(f)在工序(e)之后,使用分切刀片来切割分切区域。
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公开(公告)号:CN101887874B
公开(公告)日:2012-01-25
申请号:CN200910159286.7
申请日:2009-08-06
Applicant: 日月光半导体制造股份有限公司
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L21/486 , H01L21/6835 , H01L23/3121 , H01L23/498 , H01L24/12 , H01L24/16 , H01L24/28 , H01L24/32 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L2221/68345 , H01L2224/13099 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/16225 , H01L2224/29111 , H01L2224/2919 , H01L2224/32057 , H01L2224/32225 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/484 , H01L2224/48599 , H01L2224/48699 , H01L2224/73265 , H01L2224/83385 , H01L2224/85439 , H01L2224/85444 , H01L2224/85455 , H01L2224/85664 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01027 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01059 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/157 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/0665 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
Abstract: 一种单层金属层的基板结构,应用于一封装件,基板结构包括一基底材、数个通孔、一图案化金属层、一图案化介电层和一第一表面处理层(Surface finish layer)。其中图案化金属层配置于基底材的上表面上方,且至少部份图案化金属层覆盖于通孔上,以形成下方对外电性连接的数个第一接点。图案化介电层形成于图案化金属层上方,且图案化介电层至少暴露出部分图案化金属层,以形成上方对外电性连接的数个第二接点。第一表面处理层则至少覆盖于该些第二接点的任一或多者的表面及侧壁。而封装件结构则是包括至少一晶粒(die)与上述基板的该些第二接点电性连接,和形成于基底材上表面处的胶体(Molding Compound),胶体并覆盖图案化金属层、图案化介电层和晶粒。
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